SINTAIKE STK-7080 ಅನ್ನು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಸಂಯುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕ ಮಾರುಕಟ್ಟೆಗಳಿಗಾಗಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ "ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ" ನಿರ್ವಾತ ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ಯಂತ್ರವಾಗಿ ಇರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಮೌಲ್ಯವು ವೇಫರ್ ಒಡೆಯುವಿಕೆಯ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸವಾಲನ್ನು ಪರಿಹರಿಸುವಲ್ಲಿದೆ - ದುರ್ಬಲವಾದ ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯ ಸಮಸ್ಯೆ - ನವೀನ, ರೋಲರ್-ಮುಕ್ತ ನಿರ್ವಾತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅನ್ವಯದ ಮೂಲಕ.
**ಮುಖ್ಯ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತತ್ವಗಳು**
STK-7080 ನ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಿರುಳನ್ನು ಮೂರು ಪ್ರಮುಖ ಪರಿಕಲ್ಪನೆಗಳಿಂದ ಸಂಕ್ಷೇಪಿಸಬಹುದು: "ರೋಲರ್-ಮುಕ್ತ," "ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ," ಮತ್ತು "ನಿರ್ವಾತ ಲ್ಯಾಮಿನೇಷನ್." ಇಡೀ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಹೆಚ್ಚು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿದೆ:
**ಲೋಡ್ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಸ್ಥಾನೀಕರಣ:** ನಿರ್ವಾಹಕರು ವೇಫರ್ ಅಥವಾ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ರಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಮೀಸಲಾದ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ಹಂತದ ಮೇಲೆ ಹಸ್ತಚಾಲಿತವಾಗಿ ಇರಿಸುತ್ತಾರೆ, ಅಲ್ಲಿ ಅದನ್ನು ಯಂತ್ರವು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಇರಿಸುತ್ತದೆ.
**ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ತಯಾರಿ:** ಯಂತ್ರವು ಫಿಲ್ಮ್ ಫೀಡಿಂಗ್, ವಿಭಜಕ ಕಾಗದ ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಮತ್ತು ತ್ಯಾಜ್ಯ ಫಿಲ್ಮ್ ಮರುಪಡೆಯುವಿಕೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಪೂರ್ವ-ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
**ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಲ್ಯಾಮಿನೇಷನ್:** ಇದು ಅತ್ಯಂತ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಹಂತವಾಗಿದೆ. ಯಂತ್ರವು ನಿರ್ವಾತ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ, ವಿಭಿನ್ನ ಗಾಳಿಯ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ "ಒತ್ತುತ್ತದೆ". ಇಡೀ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ರೋಲರ್ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುವುದಿಲ್ಲವಾದ್ದರಿಂದ, ಇದು ಭೌತಿಕ ಒತ್ತಡದ ಹಾನಿ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಗೀರುಗಳ ಅಪಾಯವನ್ನು ಮೂಲಭೂತವಾಗಿ ನಿವಾರಿಸುತ್ತದೆ.
**ಕತ್ತರಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವುದು:** ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ಪೂರ್ಣಗೊಂಡ ನಂತರ, ಯಂತ್ರವು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಟ್ರಿಮ್ ಮಾಡಲು ವೃತ್ತಾಕಾರದ ಕಟ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಬಿಡುಗಡೆ ಲೈನರ್ ಅನ್ನು ಸಿಪ್ಪೆ ತೆಗೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತ್ಯಾಜ್ಯ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸುತ್ತದೆ; ಅಂತಿಮವಾಗಿ, ಆಪರೇಟರ್ ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಿದ ಉತ್ಪನ್ನವನ್ನು ಹಿಂಪಡೆಯುತ್ತದೆ.
**ಕಾರ್ಯಗಳು, ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಮುಖ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು**
STK-7080 ನ ವಿಶಿಷ್ಟ ವಿನ್ಯಾಸವು ಬಹು ಅಂಶಗಳಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ:
**ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯ** | **ವಿವರಣೆ**
**ಅಸಾಧಾರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ** | ವೇಫರ್ ಇಳುವರಿ ≥99.9% ತಲುಪುತ್ತದೆ; ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ಗುಣಮಟ್ಟವು ಗುಳ್ಳೆ-ಮುಕ್ತವಾಗಿದೆ (ಧೂಳಿನ ಕಣಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಗುಳ್ಳೆಗಳನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ); ಮತ್ತು ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ನಿಖರತೆ ±0.5 ಮಿಮೀ. ಥ್ರೋಪುಟ್ ಗಂಟೆಗೆ ≥60 ವೇಫರ್ಗಳು.
**ವಿಶಿಷ್ಟ ಅನ್ವಯಿಕ ಸೂಕ್ತತೆ** | "ಅಂಚಿಗೆ ಮಾತ್ರ ಸಂಪರ್ಕ" ಅಗತ್ಯವಿರುವ ದುರ್ಬಲವಾದ ವೇಫರ್ಗಳಿಗಾಗಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಇದರ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ನಿರ್ವಾತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಹಾಗೂ ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ಆರ್ಸೆನೈಡ್ (GaAs) ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (GaN) ನಂತಹ ಸಂಯುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
**ಅನುಕೂಲಕರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣೆ** | **ಉನ್ನತ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಳಿಸುವಿಕೆ:** ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್, ಫೀಡಿಂಗ್, ಕತ್ತರಿಸುವುದು, ಫಿಲ್ಮ್ ಸಿಪ್ಪೆ ತೆಗೆಯುವುದು ಮತ್ತು ತ್ಯಾಜ್ಯ ಸಂಗ್ರಹಣೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಸಂಪೂರ್ಣ ಅನುಕ್ರಮವನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಕಾರ್ಯಗತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ - ನಿರ್ವಾಹಕರು ಆರಂಭಿಕ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮ ಇಳಿಸುವಿಕೆಯನ್ನು ಮಾತ್ರ ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.
**ಸರಳ ನಿರ್ವಹಣೆ:** ದುರಸ್ತಿಗೆ ಸರಾಸರಿ ಸಮಯ (MTTR) 1 ಗಂಟೆಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ, ಮತ್ತು ಡೌನ್ಟೈಮ್ 3% ಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಇರುತ್ತದೆ. ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಮತ್ತು ಬಹುಮುಖ ಸಂರಚನೆ: 4 ರಿಂದ 8-ಇಂಚಿನ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ; ನೀಲಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಅಥವಾ UV ಫಿಲ್ಮ್ನೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ (230–300 ಮಿಮೀ ಅಗಲ, 100 ಮೀ ಉದ್ದ); 6-ಇಂಚಿನ ಮತ್ತು 8-ಇಂಚಿನ DISCO-ಪ್ರಮಾಣಿತ ವಾಹಕ ಉಂಗುರಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛತೆ: ಬೆಳಕಿನ ಪರದೆ ರಕ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ ಬಟನ್ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ; ಸ್ಥಿರ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ ಅಯಾನೀಕೃತ ಗಾಳಿ ಫ್ಯಾನ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸ್ಥಿರ-ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಸಾಧನಗಳೊಂದಿಗೆ ಬಳಸಲು ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ; ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ULVAC (ಜಪಾನ್) ನಿಂದ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ವಿವರವಾದ ವಿಶೇಷಣಗಳು
ಸಾರ್ವಜನಿಕವಾಗಿ ಲಭ್ಯವಿರುವ ಮಾಹಿತಿಯ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಈ ಕೆಳಗಿನ ವಿವರವಾದ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗಿದೆ:
ನಿಯತಾಂಕ ವರ್ಗ | ವಿವರವಾದ ವಿಶೇಷಣಗಳು
ಸಲಕರಣೆ ಪ್ರಕಾರ | ನೆಲ-ನಿಂತಿರುವ, ಅರೆ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ, ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ನಿರ್ವಾತ ವೇಫರ್ ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ಯಂತ್ರ
ಅನ್ವಯವಾಗುವ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳು | 4 ರಿಂದ 8 ಇಂಚುಗಳು (100mm / 200mm)
ವೇಫರ್ ದಪ್ಪ ಶ್ರೇಣಿ | 100 ರಿಂದ 750 ಮೈಕ್ರಾನ್ಗಳು (µm)
ವೇಫರ್ ವಿಧಗಳು | ಸಿಲಿಕಾನ್ (Si), ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC), ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ಆರ್ಸೆನೈಡ್ (GaAs)
ಫಿಲ್ಮ್ ಪ್ರಕಾರ | ಬ್ಲೂ ಫಿಲ್ಮ್ ಅಥವಾ ಯುವಿ ಫಿಲ್ಮ್
ಫಿಲ್ಮ್ ಅಗಲ | 230 ರಿಂದ 300 ಮಿ.ಮೀ.
ಪದರದ ದಪ್ಪ | 0.05 ರಿಂದ 0.2 ಮಿ.ಮೀ.
ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ನಿಖರತೆ | ± 0.5 ಮಿಮೀ
ಬೆಂಬಲ ಉಂಗುರ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ | 6-ಇಂಚು / 8-ಇಂಚು (ಡಿಸ್ಕೋ ಸ್ಟ್ಯಾಂಡರ್ಡ್)
ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ತತ್ವ | ರೋಲರ್-ರಹಿತ, ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ನಿರ್ವಾತ ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ
ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಹಂತಗಳು | ಆಟೋ-ಫೀಡ್, ಲ್ಯಾಮಿನೇಷನ್, ರಿಲೀಸ್ ಲೈನರ್ ಟೇಕ್-ಅಪ್, ಸರ್ಕ್ಯುಲರ್ ಕಟ್ಟರ್ ಡೈಸಿಂಗ್, ಫಿಲ್ಮ್ ಪೀಲಿಂಗ್, ವೇಸ್ಟ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಟೇಕ್-ಅಪ್
ಮಾನವ-ಯಂತ್ರ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ (HMI) | PLC ನಿಯಂತ್ರಣ, 10-ಇಂಚಿನ ಟಚ್ಸ್ಕ್ರೀನ್ನೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ.
ಸುರಕ್ಷತಾ ರಕ್ಷಣೆ | ಬೆಳಕಿನ ಪರದೆ ರಕ್ಷಣೆ, ತುರ್ತು ನಿಲುಗಡೆ ಬಟನ್
ಆಂಟಿ-ಸ್ಟ್ಯಾಟಿಕ್ ಕಂಟ್ರೋಲ್ | ಅಯಾನೀಕರಿಸುವ ಫ್ಯಾನ್ (ಅಯಾನೀಕರಣ)
ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್ | ULVAC
ವಿದ್ಯುತ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು | ಏಕ-ಹಂತದ AC 220V, 16A
ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ | 0.45 ~ 0.6 MPa, ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ: 70 L/ನಿಮಿಷ
ಆಯಾಮಗಳು (ಅಗಲxಅಗಲxಅಗಲ) | 950 × 1300 × 1800 ಮಿಮೀ
ಸಲಕರಣೆಗಳ ನಿವ್ವಳ ತೂಕ | 480 ಕೆಜಿ
ವೈಫಲ್ಯಗಳ ನಡುವಿನ ಸರಾಸರಿ ಸಮಯ (MTBF) | > 500 ಗಂಟೆಗಳು
ದುರಸ್ತಿ ಮಾಡಲು ಸರಾಸರಿ ಸಮಯ (MTTR) | < 1 ಗಂಟೆ
ಡೌನ್ಟೈಮ್ | < 3%
ಪ್ರಮುಖ ಅನ್ವಯಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳು
STK-7080 ಅನ್ನು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:
ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಪೂರ್ವ-ಡೈಸಿಂಗ್ ಲ್ಯಾಮಿನೇಷನ್: ಅತಿ-ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ಗಳ ರಕ್ಷಣೆಗಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಡೈಸಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಒಡೆಯುವಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ.
ಸಂಯುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ: ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ಆರ್ಸೆನೈಡ್ (GaAs), ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (GaN), ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಫಿಲ್ಮ್ ಲ್ಯಾಮಿನೇಶನ್ಗಾಗಿ ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. MEMS ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕ ತಯಾರಿಕೆ: ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ರಚನೆಗಳು ಅಥವಾ ಒತ್ತಡಕ್ಕೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮವಾಗಿರುವ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು.
**ಪೂರಕ ಸಲಕರಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಖರೀದಿ ಮಾಹಿತಿ**
**ಪೂರಕ ಉಪಕರಣಗಳು:** "ಅರೆ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ" ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿ, STK-7080 ಗೆ ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಅನ್ಲೋಡಿಂಗ್ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ; ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ, ಇದನ್ನು ಆಗಾಗ್ಗೆ ಅಪ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ವೇಫರ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಡೌನ್ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಗ್ರೈಂಡರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಡೈಸಿಂಗ್ ಯಂತ್ರಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
**ಸಾರಾಂಶ**
ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ, SINTAIKE STK-7080 ತಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಮುಂದುವರಿದ, ಅರೆ-ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ವೇಫರ್ ಲ್ಯಾಮಿನೇಟರ್ ಆಗಿದೆ. ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕ ಪ್ರಯೋಜನವೆಂದರೆ ಅದರ ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ಸಂಪರ್ಕವಿಲ್ಲದ ನಿರ್ವಾತ ಲ್ಯಾಮಿನೇಷನ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ, ಇದು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಯುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕಗಳಿಗೆ ಲ್ಯಾಮಿನೇಷನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಆಗಾಗ್ಗೆ ಸಂಭವಿಸುವ ವಸ್ತು ಒಡೆಯುವಿಕೆಯ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸವಾಲನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಪರಿಹರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಯಶಸ್ವಿಯಾಗಿ ಪರಿಹರಿಸುತ್ತದೆ. ನಿಮ್ಮ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಈ ರೀತಿಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೌಲ್ಯದ, ದುರ್ಬಲವಾದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದ್ದರೆ, STK-7080 ನಿಮ್ಮ ಪರಿಗಣನೆಗೆ ಯೋಗ್ಯವಾದ ಪ್ರಬುದ್ಧ, ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ಪರಿಹಾರವನ್ನು ಪ್ರತಿನಿಧಿಸುತ್ತದೆ.



