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Equipamentos para Processamento Úmido em Nível de Wafer

Sistema de eletrodeposição de semicondutores

Equipamentos confiáveis ​​de galvanoplastia para bumping de wafers, camadas de redistribuição, revestimento de cobre, revestimento de níquel, revestimento de ouro, MEMS, semicondutores compostos e produção de embalagens avançadas.

Semiconductor Electroplating System
GalvanoplastiaAdequado para processos de revestimento de cobre, níquel, ouro, estanho, solda e semicondutores relacionados.
Embalagem de wafersUtilizado em processos como bumping de wafers, camadas de redistribuição, MEMS e produção de embalagens avançadas.
Processo estávelProjetado para deposição uniforme, controle químico, filtração e produção repetível.
Fornecimento flexívelEstão disponíveis opções de equipamentos novos, usados ​​e recondicionados, de acordo com as necessidades do projeto.
Visão geral do equipamento

Deposição de metal de precisão para fabricação de semicondutores

Este equipamento foi projetado para processamento úmido controlado, onde a espessura do metal, a adesão, a qualidade da superfície e a repetibilidade do processo são importantes para os resultados finais da produção.

01

Deposição controlada de metal

O sistema deposita camadas metálicas em wafers, substratos ou microestruturas por meio de revestimento eletroquímico. Ele é compatível com processos que exigem espessura controlada, superfície limpa e deposição estável.

02

Controle estável de processos úmidos

A qualidade do revestimento depende da composição química do banho, da filtração, da temperatura, da distribuição da corrente, do contato com o wafer e da segurança no manuseio. Um sistema adequado ajuda a manter condições de processo estáveis ​​durante a produção.

03

Opções flexíveis de equipamentos

Oferecemos opções de equipamentos disponíveis com base no tamanho do seu wafer, metal de revestimento, aplicação do processo, capacidade de produção, prazo de entrega e condição ideal da máquina.

Equipamentos disponíveis

Sistemas de eletrodeposição de semicondutores disponíveis

Explore os equipamentos disponíveis para encapsulamento em nível de wafer, revestimento de cobre, revestimento de níquel, revestimento de ouro, MEMS, semicondutores compostos e aplicações de encapsulamento avançado.

ACM Research trim and form system ULTRA ECP ap-p

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Desafios de Produção

Melhorar a estabilidade do revestimento e reduzir o risco do processo.

Na produção em nível de wafer, a qualidade da galvanoplastia afeta diretamente a embalagem subsequente, o desempenho elétrico, os resultados da inspeção e o rendimento da produção.

Um sistema confiável ajuda a reduzir resultados instáveis ​​de galvanoplastia e proporciona uma produção mais limpa e repetível.

Espessura de revestimento irregular em wafers ou substratos
Partículas, cavidades, vazios, nódulos ou superfícies metálicas ásperas.
Temperatura instável do banho ou circulação química fraca
Resultados inconsistentes entre lotes de produção
Danos ou contaminação do wafer durante o manuseio em ambiente úmido
O longo prazo de entrega dos equipamentos afeta os cronogramas de produção.
Fluxograma do processo

Processo típico de eletrodeposição de semicondutores

O processo combina preparação do wafer, condições controladas de banho, deposição elétrica, enxágue, secagem e preparação para inspeção.

PASSO 01

Preparação do wafer

O wafer é limpo, padronizado, semeado e preparado antes de entrar na etapa de revestimento.

PASSO 02

Carregamento de wafers

O wafer é carregado em uma célula de processamento com sistema de fixação, contato e manuseio adequados.

PASSO 03

Controle de banho

Para garantir a estabilidade do processo, são controlados os parâmetros químicos, a circulação, a filtração, os aditivos e a temperatura.

PASSO 04

Deposição de metal

A corrente elétrica impulsiona a deposição de íons metálicos de acordo com a receita e o objetivo do processo.

PASSO 05

Enxaguar e secar

Após a galvanização, os wafers são enxaguados, secos e preparados para inspeção ou para a próxima etapa de produção.

Aplicações

Áreas de aplicação

Os sistemas de eletrodeposição de semicondutores são utilizados em múltiplos processos de produção relacionados ao nível do wafer e à embalagem.

Wafer Bumping Electroplating

Wafer Bumping

Utilizado para formar esferas de solda, pilares de cobre, barreiras de níquel e estruturas de esferas relacionadas para flip chip e encapsulamento em nível de wafer.

  • Borda de solda
  • Pilar de cobre
  • Barreira de níquel
  • Processo flip chip
RDL Electroplating

Revestimento da camada de redistribuição

Suporta processos de camada de redistribuição de cobre para encapsulamento fan-out, roteamento em nível de wafer e estruturas de interconexão de alta densidade.

  • Cobre RDL
  • Embalagem em leque
  • Roteamento em nível de wafer
  • Características de linhas finas
MEMS Electroplating

MEMS e Microestruturas

Utilizado na construção de microestruturas metálicas, componentes de sensores, camadas de contato, atuadores e outras estruturas funcionais para dispositivos MEMS.

  • Microestruturas
  • Características do sensor
  • Camadas espessas de metal
  • Deposição funcional
Compound Semiconductor Electroplating

Dispositivos semicondutores compostos

Suporta processos de metalização e revestimento relacionados à embalagem para dispositivos semicondutores de GaN, GaAs, SiC e de potência.

  • dispositivos GaN
  • Dispositivos GaAs
  • dispositivos SiC
  • semicondutor de potência
Capacidades do sistema

Capacidades essenciais para uma produção estável

Um sistema de eletrodeposição de semicondutores deve suportar qualidade de deposição controlada, manuseio seguro de wafers e condições estáveis ​​de processo úmido.

Uniformidade da espessura

Ajuda a manter a deposição consistente em superfícies de wafers e áreas padronizadas.

Distribuição atual

O controle estável da corrente permite a deposição repetível de camadas metálicas e padrões de wafers diferentes.

Filtração química

A filtração e a circulação ajudam a reduzir partículas, poros, nódulos e superfícies de revestimento ásperas.

Estabilidade térmica

O controle da temperatura do banho ajuda a manter a taxa de deposição, o comportamento dos aditivos e a consistência do processo.

Segurança no manuseio de wafers

O carregamento, a fixação e a transferência adequados ajudam a reduzir os danos aos wafers e o risco de contaminação.

Flexibilidade do processo

Suporta diferentes metais de revestimento, tamanhos de wafer, necessidades de produção e níveis de automação.

Melhoria da Produção

Desenvolver um processo de revestimento mais confiável

Um melhor controle dos equipamentos ajuda a melhorar a consistência do revestimento e contribui para uma produção subsequente mais eficiente.

Sem controle de processo estável

  • Espessura instável da camada de revestimento e baixa uniformidade do wafer.
  • Partículas, vazios, cavidades e superfícies metálicas ásperas.
  • Desvio das condições do banho e circulação química fraca
  • Baixa repetibilidade entre lotes de produção
  • Maior risco durante o manuseio de wafers úmidos

Com equipamento adequado

  • Deposição de metal mais consistente em toda a superfície dos wafers.
  • Superfície de revestimento mais limpa e menor risco de defeitos
  • Melhor controle de temperatura, filtragem e banho
  • Receitas estáveis ​​para produção repetível
  • Maior confiança na produção e confiabilidade do processo.
Por que nos escolher?

Fornecimento confiável de equipamentos com suporte prático.

A compra de equipamentos semicondutores exige mais do que um orçamento. É necessário selecionar as máquinas adequadas, ter uma comunicação clara, verificar o estado dos equipamentos, contar com suporte na entrega e garantir eficiência na aquisição de fornecedores.

Ajudamos os clientes a encontrar o equipamento adequado com base nas suas reais necessidades de produção, orçamento e cronograma.

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Recursos de equipamentos disponíveis

Ajudamos você a verificar a disponibilidade de sistemas de galvanoplastia de semicondutores novos, usados ​​e recondicionados, de acordo com as necessidades do seu projeto.

Correspondência baseada em processos

Selecionamos o equipamento de acordo com o tamanho do wafer, o metal de revestimento, a espessura desejada, a capacidade de produção e a aplicação do processo.

Verificação das condições da máquina

As máquinas disponíveis podem ser verificadas antes do envio para ajudar a reduzir o risco da compra.

Resposta rápida

Respondemos rapidamente a consultas sobre máquinas e ajudamos você a verificar as opções de equipamentos adequados de forma eficiente.

Suporte de entrega global

Oferecemos suporte com embalagem, documentação de exportação e envio internacional para compradores no exterior.

Fornecimento de equipamentos completo em um só lugar

Equipamentos relacionados ao processamento de wafers, embalagem, colagem, inspeção e processos úmidos também podem ser adquiridos em conjunto.

Guia de Seleção

Como escolher um sistema adequado

O sistema de galvanoplastia adequado depende do tamanho do wafer, do metal a ser revestido, da finalidade do processo, da uniformidade desejada, dos requisitos químicos, do nível de automação e da capacidade de produção.

Envie-nos os detalhes do seu processo e nós o ajudaremos a verificar as opções de equipamentos mais adequadas.

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Tamanho do waferConfirme o tamanho de wafer suportado, o design do suporte, o método de fixação e os requisitos de transferência úmida.
Revestimento metálicoCobre, níquel, ouro, estanho, solda e metais especiais requerem composição química e compatibilidade de hardware diferentes.
AplicaçãoOs processos de bumping de wafers, RDL, MEMS, dispositivos de potência e semicondutores compostos exigem configurações de equipamentos diferentes.
Meta de uniformidadeOs processos avançados de embalagem e em nível de wafer geralmente exigem um controle de espessura mais rigoroso e melhor repetibilidade.
Sistema QuímicoAnalise os sistemas de circulação, filtração, controle de temperatura, dosagem, exaustão, drenagem e segurança química do banho.
Nível de automaçãoSelecione sistemas manuais, semiautomáticos ou automáticos de acordo com a capacidade de produção e o fluxo de produção.
Perguntas frequentes

Perguntas frequentes

O que é um sistema de eletrodeposição de semicondutores?

Trata-se de um equipamento de processo úmido utilizado para depositar camadas metálicas controladas em wafers, substratos ou microestruturas por meio de revestimento eletroquímico.

Que aplicações este equipamento suporta?

Pode ser utilizado para bumping de wafers, camadas de redistribuição, revestimento de cobre, revestimento de níquel, revestimento de ouro, MEMS, dispositivos semicondutores compostos e embalagens avançadas.

Quais metais podem ser revestidos?

Os metais de revestimento mais comuns incluem cobre, níquel, ouro, estanho, materiais de solda e outros metais especiais, dependendo dos requisitos do processo.

Que informações devo fornecer antes de solicitar um orçamento?

Por favor, informe o tamanho do wafer, o metal de revestimento, a espessura desejada, a aplicação do processo, a capacidade necessária, as condições preferenciais da máquina e os requisitos das instalações, se disponíveis.

Vocês fornecem sistemas de galvanoplastia usados ​​ou recondicionados?

Sim. Podemos ajudar a verificar as opções de equipamentos novos, usados ​​e recondicionados disponíveis, com base no seu orçamento e cronograma do projeto.

Você pode me ajudar a verificar se uma máquina é adequada ao meu processo?

Sim. Podemos ajudar a analisar os requisitos básicos, como tamanho do wafer, tipo de metal, aplicação, nível de automação e condição do equipamento, antes de recomendar opções.

Vocês oferecem serviço de entrega internacional?

Sim. Oferecemos suporte com embalagem, documentação de exportação e envio internacional para compradores de equipamentos no exterior.

Qual o custo de um sistema de galvanoplastia de semicondutores?

O preço depende da configuração do sistema, tamanho do wafer, capacidade do processo, nível de automação, condição da máquina, marca e disponibilidade.

Por que tantas pessoas escolhem trabalhar com a GeekValue?

Nossa marca está se espalhando de cidade em cidade, e inúmeras pessoas me perguntam: "O que é GeekValue?". Ela surge de uma visão simples: potencializar a inovação chinesa com tecnologia de ponta. Este é o espírito da marca de melhoria contínua, oculto em nossa busca incansável por detalhes e no prazer de superar expectativas a cada entrega. Esse trabalho artesanal e dedicação quase obsessivos não são apenas a persistência de nossos fundadores, mas também a essência e o calor da nossa marca. Esperamos que você comece aqui e nos dê a oportunidade de criar a perfeição. Vamos trabalhar juntos para criar o próximo milagre "zero defeitos".

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