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La station de sonde ACCRETECH UF3000EX est un dispositif de détection de signal électrique pour chaque puce sur chaque plaquette, conçu pour garantir la qualité des produits semi-conducteurs. L'appareil utilise une technologie de nouvelle génération, qui améliore considérablement la capacité de production grâce à de nouveaux algorithmes et à une nouvelle technologie de manipulation des plaquettes. Ses plates-formes d'axes X et Y à grande vitesse et à faible bruit bénéficient du nouveau système d'entraînement, tandis que l'axe Z garantit une capacité de charge de classe mondiale et une haute précision. La structure de conception de l'appareil élimine de manière fiable la force sur le plan grâce à la bonne combinaison d'une conception structurelle et d'une topologie optimales. De plus, le système avancé de traitement de position OTS et le système d'alignement d'images de plaquettes couleur, ainsi que la petite fonction de grossissement maximal équipée, font de l'UF3000EX un appareil de haute précision et utilisable dans l'industrie.
Caractéristiques principales
Haute vitesse et faible bruit : le nouveau système d'entraînement permet aux plates-formes des axes X et Y de fonctionner de manière efficace et silencieuse.
Haute précision : l'axe Z garantit une capacité de charge de classe mondiale et une haute précision.
Optimisation structurelle : La force sur le plan est éliminée grâce à la bonne combinaison d'une conception structurelle et d'une topologie optimales.
Système de positionnement avancé : équipé d'un système de traitement de position OTS avancé et d'un système d'alignement d'image de plaquette couleur, avec une fonction de grossissement à faible grossissement maximal.
Compatibilité : Convient aux plaquettes de grand diamètre (φ300 mm, jusqu'à 12 pouces), avec système d'exploitation automatique, détection de haute précision, débit élevé, faibles vibrations, etc. .
Champ d'application
La station de sonde UF3000EX est largement utilisée dans les tests de plaquettes dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans les lignes de production de LSI et VLSI, qui peuvent fournir une détection de signal électrique efficace et précise pour garantir la qualité du produit et l'efficacité de la production
