Nettoyeur de plaquettes TEL CELLESTA™ -i MD

Le TEL CELLESTA™ -i MD est le système de nettoyage de plaquettes uniques de 300 mm phare de Tokyo Electron (TEL) pour les nœuds de processus de 10 nm et plus avancés. Il est spécifiquement conçu pour répondre aux principaux défis des procédés, tels que la sensibilité des structures microstructurées aux dommages lors du nettoyage et du séchage dans les procédés avancés, et constitue un élément clé pour l'amélioration des rendements des puces haut de gamme.

Performances principales : Analyse technologique et support des données

Pour une compréhension plus intuitive, ses principales caractéristiques techniques sont résumées ci-dessous :

Caractéristiques principales, indicateurs de performance et détails techniques

Positionnement des procédés : Ciblage des nœuds de processus de 10 nm et plus avancés, spécialisé dans le nettoyage non destructif et l'élimination des particules des surfaces de plaquettes structurées.

Technologies clés : Nettoyage et séchage Permet un séchage sans affaissement du motif grâce au contrôle de l’atmosphère de la chambre et à l’optimisation des performances de la buse IPA (alcool isopropylique) ; peut utiliser des solutions chimiques telles que SC-1 et DHF pour la gravure humide ; et peut intégrer des fonctions de nettoyage physique telles que le brossage et la pulvérisation à double fluide.

Rendement et modularité à haut rendement : configurable avec jusqu'à 20 chambres de nettoyage, atteignant une capacité de 1000 plaquettes par heure (WPH) et prenant en charge l'extension flexible des unités de nettoyage des biseaux.

Fonctionnement à faible coût : le système de recyclage chimique intégré réduit considérablement les coûts d'exploitation (CoO) et permet de réaliser des économies efficaces sur la consommation d'acide sulfurique.

Fiabilité : Son système de transport a subi 750 millions de cycles de manipulation de plaquettes sans aucune erreur de vérification, garantissant une stabilité de production en série extrêmement élevée.

Applications : Grâce à sa technologie de pointe et à ses performances stables, CELLESTA™ -i MD est largement utilisée dans la production de dispositifs semi-conducteurs avancés, jouant un rôle indispensable dans les domaines suivants :

Puces logiques : Fournit des surfaces de plaquettes propres pour la fabrication de puces logiques hautes performances telles que les CPU, les GPU et les processeurs d’IA.

Puces mémoire : Utilisées dans la production de puces mémoire telles que la DRAM et la mémoire flash 3D NAND, elles garantissent la précision et la fiabilité des cellules mémoire.

Conditionnement avancé : largement utilisé dans les étapes de nettoyage des processus de conditionnement avancés tels que BSI (rétroéclairé), l’empilement 3D, l’alimentation arrière et SoIC (système sur puce).

Évaluation du secteur et position sur le marché

Modèle haut de gamme de la série CELLESTA, le -i MD représente le summum de la technologie TEL en matière de nettoyage de plaquettes individuelles. Grâce à ses performances de nettoyage supérieures et à sa fiabilité reconnue, cette série de plateformes, associée à SCREEN, occupe une position de leader sur le marché mondial des équipements de nettoyage de semi-conducteurs, devenant ainsi un élément indispensable à la production en série de puces de pointe.