ASM AMICRA AFC Plus — гэта модульная платформа для дакладнага злучэння, якая асацыюецца з мацаваннем крышталяў і зборкай крышталяў метадам «пераварочвання». Яна ўваходзіць у партфель звышвысокадакладных крышталяў ASMPT AMICRA і падыходзіць для такіх прымяненняў, як мікраоптыка, MEMS, зборка святлодыёдаў, оптаэлектроніка і перадавыя паўправадніковыя ўпакоўкі.
Называць яго проста апаратам для злучэння штампаў або проста апаратам для злучэння перавернутых чыпаў значна спрашчае яго ролю. Злучэнне штампаў апісвае больш шырокую задачу зборкі, у той час як злучэнне перавернутых чыпаў змяняе арыентацыю штампа і ўводзіць іншыя патрабаванні да апрацоўкі, выраўноўвання і інструментаў.
Платформа можа падтрымліваць некалькі напрамкаў працэсу, але карысныя магчымасці асобнай машыны вызначаюцца ўсталяваным абсталяваннем, праграмным забеспячэннем, інструментамі і кваліфікаванай наладай працэсу. У гэтым артыкуле тлумачыцца, як гэтыя функцыі ўзаемазвязаны да пачатку падбору канфігурацыі для канкрэтнага праекта.

Што такое ASM AMICRA AFC Plus
Прылада AFC Plus прызначана для апрацоўкі, выраўноўвання і злучэння паўправадніковага крышталя або дакладнага кампанента з паверхняй мішэні ў кантраляваных умовах працэсу. У залежнасці ад прымянення, мішэнню можа быць падкладка, структура прылады або іншая паверхня зборкі.
Яго модульная канструкцыя дазваляе будаваць маршрут злучэння з рознай арыентацыяй штампаў, матэрыяльнымі сістэмамі, метадамі апрацоўкі, інструментамі для злучэння і дапаможнымі функцыямі працэсу. Гістарычны матэрыял ASM AMICRA апісвае AFC Plus як цалкам аўтаматычную платформу для штампаў і злучэння метадам перавароту, у той час як сучасны матэрыял ASMPT працягвае размяшчаць яго ў партфелі дакладнага злучэння кампаніі і адносіцца да модульнай канцэпцыі машыны з опцыяй перавароту.
Гэтыя апісанні вызначаюць тэхнічны кірунак платформы. Яны не вызначаюць дакладныя галоўкі, інструменты, функцыі візуалізацыі, модулі нанясення матэрыялаў або праграмнае забеспячэнне, усталяванае на канкрэтнай машыне.
Злучэнне штампаў і злучэнне перавернутай стружкай абслугоўваюць розныя маршруты зборкі
Злучэнне штампа — гэта больш шырокі працэс пазіцыянавання і злучэння штампа або дакладнага кампанента з мэтай. Пры маршруце «адзінка ўверх» штамп застаецца ў арыентацыі, неабходнай для наступнага працэсу злучэння або зборкі.
Злучэнне фліп-чыпам змяняе гэтыя суадносіны. Актыўны або злучальны бок крышталя звернуты да спалучанай паверхні, таму працэс павінен кантраляваць, як крышталь падымаецца, паварочваецца, падтрымліваецца, выраўноўваецца і прыводзіцца ў кантакт з мішэнню.
| Працэсны аспект | Кірунак злучэння штампам | Кірунак перавароту чыпа |
|---|---|---|
| Арыентацыя штампа | Штамп размяшчаецца ў арыентацыі, неабходнай для зборкі, размешчанай тварам уверх. | Актыўны або злучальны бок звернуты да спалучанай паверхні |
| Мэтавыя адносіны | Крышка размяшчаецца на падкладцы або мішэні для зборкі | Асаблівасці штампа павінны непасрэдна супадаць з адпаведнымі мэтавымі асаблівасцямі |
| Попыт на выраўноўванне | Вызначаецца штампам, мэтавымі спасылкамі і допускам працэсу | Часта патрабуецца строгі кантроль адноснага выраўноўвання ўзаемасувяз |
| Інструментальная інструкцыя | Інструменты для захопу і злучэння павінны падыходзіць для паверхні штампа і працэсу | Апрацоўка можа таксама запатрабаваць перагортвання штампа і абароны адкрытых паверхняў |
| Канфігурацыя машыны | Выкарыстоўвае ўсталяваную сістэму злучэння і апрацоўкі | Патрабуе адпаведнага абсталявання, праграмнага забеспячэння, інструментаў і рэцэптаў для арыентацыі |
Ні адзін з гэтых шляхоў не з'яўляецца найбольш прасунутым. Яны вырашаюць розныя праблемы зборкі і павінны выбірацца ў залежнасці ад арыентацыі штампа, структуры мішэні, злучнага матэрыялу і неабходнага злучэння.
Для апрацоўкі перавернутай чып-стружкі станку патрэбны адпаведны шлях апрацоўкі штампаў, асяроддзе выраўноўвання, інструменты, праграмнае забеспячэнне і прадэманстраваная налада працэсу. Адно толькі апісанне мадэлі не пацвярджае наяўнасць гэтых элементаў.
Як апрацоўка, выраўноўванне і склейванне працуюць разам
Працэс дакладнага злучэння ствараецца некалькімі ўзаемазвязанымі функцыямі. Спачатку штамп павінен быць прадстаўлены ў форме, якая дазваляе бяспечнае ўзяць яго. Затым машына транспартуе яго і, калі патрабуецца ў працэсе, змяняе яго арыентацыю перад тым, як выраўнаваць яго з падкладкай або мішэнню.
На канцэптуальным узроўні паслядоўнасць наступная:
Паднесці штамп → Падабраць і арыентаваць → Выраўнаваць → Нанесці матэрыял або нагрэць там, дзе неабходна → Злучыць → Праверыць або запісаць месца ўстаноўкі
Гэта не фіксаваная праграма AFC Plus. Працэс мацавання штампаў тварам уверх можа адрознівацца ад працэсу зборкі з перавернутай чып-стружкай. У эпаксідным працэсе можа выкарыстоўвацца штампоўка або дазаванне, у той час як у эўтэктычным працэсе большы акцэнт робіцца на сістэме матэрыялаў, цеплавым кантролі і ўмовах злучэння.
Падкладка таксама павінна быць стабільнай. Для ўтрымання яе ў паўтаральным становішчы і забеспячэння доступу клеючай галоўкі да патрэбнага месца можна выкарыстоўваць патроны, прыстасаванні або іншыя апоры.
Зрок злучае штамп і мішэнь у гэтым працэсе. Камеры, оптыка і асвятленне вызначаюць эталонныя прыкметы, а метад выраўноўвання ўстанаўлівае іх адноснае становішча перад злучэннем. На якасць распазнавання могуць уплываць кантраснасць прыкмет, стан паверхні, каліброўка, стабільнасць інструмента і цеплавыя зрухі.
Сцвярджэнне дакладнасці на ўзроўні мадэлі не можа апісаць кожны вынік праекта, паколькі эфектыўнасць выраўноўвання забяспечваецца поўным асяроддзем працэсу. Мэтавыя элементы, усталяваная оптыка, інструменты, каліброўка і ўмовы злучэння павінны працаваць разам.
Праграмныя рэцэпты каардынуюць гэтыя фізічныя функцыі. Яны могуць кантраляваць пазіцыі апрацоўкі, спасылкі на выраўноўванне, этапы нанясення матэрыялу, паслядоўнасць рухаў і іншыя параметры працэсу. Такім чынам, выкарыстоўваны маршрут злучэння фарміруецца абсталяваннем, інструментамі, праграмным забеспячэннем і каліброўкай, якія дзейнічаюць як адна сістэма.

Злучальныя матэрыялы і дапаможныя працэсныя функцыі
Штампаванне і дазаванне эпаксіднай смалы
Штампаванне эпаксіднай смалой пераносіць злучны матэрыял з дапамогай спецыяльнага штампа або інструмента. Гэта можа быць карысна, калі працэс патрабуе пэўнай формы нанясення або паўтаральнай колькасці ў пэўным месцы.
Дазавання матэрыялу ажыццяўляецца праз усталяваную дазавальную сістэму і можа падтрымліваць розныя пазіцыі, схемы або аб'ёмы нанясення. Нягледзячы на тое, што абодва метады ўжываюць працэсны матэрыял, яны ствараюць розныя патрабаванні да інструментаў, кіравання і праграмнага забеспячэння.
Для штампоўкі патрабуецца адпаведнае абсталяванне для штампаў і геаметрыя інструмента. Для дазавання патрабуецца сумяшчальная сістэма дазавання, шлях падачы матэрыялу і кантроль працэсу. Іх выкарыстанне залежыць ад меркаванага шляху злучэння, а не толькі ад назвы AFC Plus.
Эўтэктычнае і награвальнае злучэнне
Эўтэктычнае злучэнне выкарыстоўвае кантраляваны матэрыял і тэрмічны працэс для фарміравання злучэння. Цяпло, сіла, стан паверхні і спецыфічныя для працэсу інструменты могуць паўплываць на вынік.
У афіцыйных гістарычных матэрыялах AFC Plus звязваецца з інструкцыямі па эўтэктычным і эпаксідным злучэнні, а сярод даступных варыянтаў пералічваюцца награвальныя інструменты. Гэта пацвярджае сувязь паміж працэсам, але не адну універсальную тэмпературу, сілу або паслядоўнасць злучэння. Гэтыя значэнні вызначаюцца абранай сістэмай матэрыялаў, цеплавымі прыстасаваннямі, злучальнай галоўкай, інструментамі і кваліфікаваным рэцэптам.
Картаграфаванне пласцін, УФ-зацвярдзенне і кантроль пасля злучэння
Картаграфаванне пласцін можа спрыяць ідэнтыфікацыі крышталяў, выбару пазіцыі або іншым дадзеным, якія выкарыстоўваюцца ў працэсе апрацоўкі. Яго выкарыстанне залежыць ад адпаведнага праграмнага забеспячэння, інтэрфейсаў і падтрымоўванай структуры дадзеных.
Ультрафіялетавае зацвярдзенне можна выкарыстоўваць, калі пасля нанясення або размяшчэння злучнага матэрыялу патрабуецца ўздзеянне ультрафіялетавага выпраменьвання. Для гэтага неабходна сумяшчальнае абсталяванне для зацвярдзення і распрацаваная для абранага матэрыялу паслядоўнасць працэсаў.
Пасля злучэння можна праверыць наяўнасць штампа, яго становішча або іншыя вызначаныя вынікі. У афіцыйных гістарычных матэрыялах гэта пазначана як дадатковая функцыя AFC Plus, у той час як фактычны аб'ём праверкі вызначаецца ўсталяванай оптыкай, праграмным забеспячэннем, каліброўкай і крытэрыямі прыёмкі.
Магчымасці платформы і ўсталяваная канфігурацыя не аднолькавыя
У дакументацыі па платформе апісаны тэхналагічныя напрамкі, якія можа падтрымліваць сямейства машын. Яна не абавязкова апісвае канфігурацыю асобнага AFC Plus.
У гістарычнай брашуры ў якасці варыянтаў могуць быць пералічаны апрацоўка перавернутых крышталяў, картаграфаванне пласцін, награвальныя інструменты або кантроль пасля злучэння. На бягучай старонцы партфоліо замест гэтага можа быць зроблены акцэнт на дакладнасці пазіцыянавання і мэтавых галінах прымянення. Абедзве крыніцы карысныя, але іх не варта аб'ядноўваць у адзін меркаваны стандартны станок.
Кожная функцыя працэсу патрабуе правільнага спалучэння апаратнага забеспячэння, праграмнага забеспячэння і інструментаў. Для працы з перавернутым чыпам можа спатрэбіцца спецыяльны механізм арыентацыі і адпаведныя інструменты. Картаграфаванне пласцін залежыць ад адпаведнага праграмнага забеспячэння і інтэрфейсу перадачы дадзеных. Кантроль абапіраецца на ўсталяванае асяроддзе відэаназірання, у той час як для награвальнай злучэння патрабуецца адпаведнае цеплавое абсталяванне і кіраванне.
Вось чаму дзве машыны AFC Plus могуць выконваць вельмі розныя задачы. Сістэма, сканфігураваная для мікраоптыкі, можа мець розныя галоўкі, прыстасаванні, оптыку і праграмы, чым сістэма, падрыхтаваная для MEMS, зборкі святлодыёдаў або паўправадніковай упакоўкі.
Апублікаваныя паказчыкі дакладнасці і часу цыклу таксама патрабуюць кантэксту. Гістарычныя значэнні могуць тычыцца састарэлай канфігурацыі машыны, вызначанага працэсу або канкрэтнага эксплуатацыйнага стану, у той час як больш новыя зводкі партфеля могуць апісваць больш шырокае пазіцыянаванне платформы.
Арыентацыя штампа, інструменты, метад выраўноўвання, апрацоўка матэрыялаў, тэрмічныя этапы і ўсталяваныя опцыі могуць змяніць эфектыўны цыкл працэсу і вынік. Малюнкі з розных крыніц павінны захоўваць свае першапачатковыя даты і ўмовы, а не аб'ядноўвацца ў адну універсальную спецыфікацыю.
Сферы прымянення не ўстанаўліваюць сумяшчальнасць праекта
ASMPT асацыюе AFC Plus з мікраоптыкай, зборкай святлодыёдаў і MEMS, перадавымі паўправадніковымі ўпакоўкамі і іншымі сферамі серыйнай вытворчасці. Гэтыя маркіроўкі паказваюць на рынкі, дзе функцыі дакладнага злучэння могуць быць актуальнымі.
Яны не даказваюць, што кожны прадукт на гэтых рынках можа працаваць на кожным AFC Plus. Два праекты фатонікі або MEMS могуць выкарыстоўваць розныя памеры крышталяў, матэрыялы падкладак, злучальныя носьбіты, арыентацыі, аптычныя апорныя элементы і цеплавыя ўмовы.
Замест гэтага тэхнічную значнасць варта ацэньваць па штампу, паверхні цэлі, злучнаму матэрыялу і неабходнаму тэхналагічнаму маршруту. Затым, зыходзячы з уваходнай і выходнай апрацоўкі, інструментаў, праграмнага забеспячэння, кантролю, нагрэву і патрабаванняў да сілы, вызначаюцца функцыі машыны, якія патрабуюць больш уважлівага разгляду.
Пасля таго, як гэтыя дэталі праекта вызначаны, наступным крокам будзе ацэнка канфігурацыі канкрэтнага праекта, а не больш шырокае параўнанне апісанняў мадэляў.
Пераход ад даследавання платформы да падбору канфігурацыі
Даследаванне платформы выканала сваю працу, калі меркаваную зборку можна выразна апісаць. Карысны агляд пачынаецца з памераў і матэрыялу крышталя, падкладкі або мішэні, арыентацыі крышталя, метаду злучэння і злучнага матэрыялу.
Варта таксама ўлічваць спасылкі на выраўноўванне, патрабаванні да нагрэву або сілы, нанясенне матэрыялу, апрацоўку ўваходных і выхадных дадзеных, існуючую аснастку і любы этап праверкі або зацвярдзення. Гэтыя дэталі вызначаюць, якую галоўку для злучэння, прыладу для апрацоўкі, оптыку і апорныя модулі неабходна даследаваць.
ВыкарыстоўвайцеКанфігурацыя ASM AMICRA AFC Plusстаронку, каб параўнаць гэтыя патрабаванні з адпаведнымі функцыямі машыны, або звяжыцеся з тэхнічнай камандай па электроннай пошце або WhatsApp, каб пачаць агляд праекта. Чарцяжы штампаў, выявы падкладак, фатаграфіі інструментаў і тэхналагічную дакументацыю можна далучыць пасля адкрыцця размовы.
Сумяшчальнасць, усталяваныя опцыі, прадукцыйнасць, цана і дастаўка павінны абмяркоўвацца толькі пасля параўнання патрабаванняў праекта і адпаведнай канфігурацыі машыны.
Часта задаваныя пытанні аб ASM AMICRA AFC Plus
Ці з'яўляецца ASM AMICRA AFC Plus штампавым ці пераломным?
Гэта звязана як з напрамкамі працэсу злучэння крышталяў, так і з працэсам перавароту чыпа. Злучэнне крышталяў — гэта больш шырокая задача зборкі, у той час як для выкарыстання магчымасці перавароту чыпа патрабуецца адпаведная арыентацыя, выраўноўванне, інструменты, праграмнае забеспячэнне і канфігурацыя працэсу.
У чым розніца паміж злучэннем крышталяў і злучэннем перавернутых крышталяў у AFC Plus?
Асноўнае адрозненне заключаецца ў арыентацыі крышталя і яго сувязі з мэтай. Пры злучэнні тыпу «фліп-чып» актыўны бок або бок злучэння размяшчаецца да паверхні, якая спалучаецца, змяняючы паслядоўнасць апрацоўкі, выраўноўвання, інструментаў і злучэння.
Ці ўключае кожны AFC Plus тэхналогію фліп-чып-бондынгу?
Не. У афіцыйных гістарычных матэрыялах тэхналогія фліп-чып-склейвання вызначаецца як варыянт. Адпаведнае абсталяванне, праграмнае забеспячэнне, інструменты і налады працэсу павінны быць наяўныя на кожнай машыне.
Што робяць штампаванне і дазаванне эпаксіднай смалой?
Абодва спосабы пераносу матэрыялу, але выкарыстоўваюць розныя метады. Штампоўка наносіць матэрыял з дапамогай спецыяльнага інструмента, а дазатар падае яго праз усталяваную дазатарную сістэму.
Што такое эўтэктычная сувязь у AFC Plus?
Гэта кірунак склейвання, у якім кантраляваная сістэма матэрыялаў, тэрмічны працэс і спецыфічныя для працэсу інструменты спрыяюць утварэнню злучэння. Тэмпература, сіла і паслядоўнасць вызначаюцца прымяненнем і ўсталяванай сістэмай.
Ці можа AFC Plus падтрымліваць фатоніку, MEMS або праекты па ўдасканаленай упакоўцы?
Гэта прызнаныя інструкцыі па ўжыванні для платформы, але яны не гарантуюць сумяшчальнасць з кожным прадуктам. Для праекта неабходна прагледзець штамп, падкладку, сістэму матэрыялаў, арыентацыю, інструменты, выраўноўванне і неабходныя модулі.
Выснова:ASM AMICRA AFC Plus — гэта модульная платформа для дакладнага злучэння крышталяў і фліп-чыпаў, але два напрамкі злучэння прадугледжваюць розную арыентацыю крышталяў, патрабаванні да выраўноўвання і патрабаванні да інструментаў. Зрок, нанясенне матэрыялу, нагрэў, картаграфаванне пласцін, зацвярдзенне і кантроль падтрымліваюць розныя часткі працэсу і могуць патрабаваць усталяваных модуляў. Апісанні платформы могуць вызначыць тэхнічную актуальнасць, у той час як сумяшчальнасць праекта патрабуе агляду канфігурацыі на аснове фактычнага крышталя, падкладкі, метаду злучэння і ўмоў працэсу.




