Az ACCRETECH UF200R egy teljesen automatizált, költséghatékony félvezető mérőfej az ACCRETECH-től (Japán), 120–200 mm-es (5–8 hüvelykes) waferekhez. A wafer szintű chipek elektromos vizsgálatára (CP vizsgálat) használják a darabolás előtt.
Mit csinál?
Egyszerűen fogalmazva: Mielőtt a lapkát különálló chipekre darabolnák, a szondák érintkeznek a chipfelületekkel, hogy elektromos/funkcionális vizsgálatot végezzenek, elkülönítve a jó és a hibás chipeket. Szakasz: Lapkavizsgálat (CP)
Cél: Elsősorban 200 mm (8 hüvelyk), de 5/6 hüvelykes ostyákhoz is alkalmas
Tipikus chipek: Logikai, analóg, teljesítményeszközök, diszkrét eszközök, MEMS
II. Alapvető specifikációk (áttekintés)
Ostyaméret: 120/150/200 mm (5–8 hüvelyk)
Pozicionálási pontosság: ±1,5 μm (XY)
Mozgási sebesség:
XY: Akár 300 mm/s
Z: Akár 30 mm/s
Hőmérséklet-tartomány: -40℃ ~ +150℃ (opcionális hőmérséklet-szabályozás)
Színpad: Nagy merevségű Z/θ platform, kompatibilis az ultravékony/vetemedett waferekkel
Működés: Teljesen automatizált be- és kirakodás, automatikus beállítás, szondavizsgálat
III. Fő funkciók
Teljesen automatizált tesztelési folyamat
Automatikus ostyaadagolás → Képillesztés → Szondaérintkezés → Elektromos tesztelés → Szegmentálás és rögzítés → Automatikus kirakodás
Több kategóriás kompatibilitás
Standard logika, analóg, teljesítmény, MOSFET, dióda, tranzisztor, MEMS. Mindegyik mérhető. Széles hőmérséklet-tartomány és speciális tesztek. Teljes körű opciók alacsony/magas hőmérsékletű, mikroáramú, nagyfeszültségű teszteléshez stb. Ultravékony/vetemült wafer feldolgozás. Hátoldali adszorpció + speciális kezelési mechanizmus, amely támogatja az ultravékony (≤50μm) és erősen vetemedett wafereket.
IV. Előnyök (hasonló termékekhez képest)
Magas ár-érték arány: A csúcskategóriás UF2000 pontosságához és platformjához közelít (ugyanaz, mint az MMI), de megfizethetőbb áron.
Nagy áteresztőképesség: XY nagysebességű + gyors tűcserélő kártya, alkalmas nagy volumenű 8 hüvelykes gyártósorokhoz.
Stabil és megbízható: Kiforrott ACCRETECH platform, alacsony karbantartási igény, hosszú élettartam.
Rugalmas bővíthetőség: Moduláris kialakítás, később hozzáadható hőmérséklet-szabályozással, nagyfeszültséggel, mikroárammal, kétrekeszes rendszerrel stb.
V. Gyakori összehasonlítások (segítenek gyorsan megtalálni a megfelelő terméket)
UF200R: Általános 8 hüvelykes tömeggyártás, logika/teljesítmény/diszkrét, költséghatékonysági prioritás.
UF190R: Kompaktabb, belépő szintű, a különálló eszközök/kis tételek felé elfogult.
UF2000: Csúcskategóriás, 8 hüvelykes, nagyobb pontosságú, szélesebb hőmérséklet-szabályozású, MEMS/fejlett technológia
Röviden: az UF200R a „legfontosabb költséghatékony mérőállomás” a 8 hüvelykes középkategóriás tesztberendezések piacán – megfelelő pontosságot, nagy sebességet, stabilitást, tartósságot és bővíthetőséget kínál, így alkalmassá teszi nagy volumenű, többféle változatot gyártó 8 hüvelykes gyártósorokhoz.


