CCRETECH UF200R 半導体プローバーステーション

ACCRETECH UF200Rは、ACCRETECH（日本）製の完全自動化されたコスト効率の高い半導体プローバーで、120～200mm（5～8インチ）ウェハに対応しています。ダイシング前のウェハレベルチップの電気的テスト（CPテスト）に使用されます。

それは何をするものですか？

簡単に言うと、ウェハーを個々のチップにダイシングする前に、プローブがチップパッドに接触して電気的／機能的なテストを行い、良品チップと不良品チップを選別します。段階：ウェハーテスト（CP）

対象：主に200mm（8インチ）ウェハー、5/6インチウェハーにも対応可能

代表的なチップ：ロジック、アナログ、パワーデバイス、ディスクリートデバイス、MEMS

II．主要仕様（概要）

ウェハーサイズ：120/150/200mm（5～8インチ）

位置決め精度：±1.5μm（XY）

移動速度:

XY: 最大300 mm/s

Z軸：最大30mm/秒

温度範囲：-40℃～+150℃（オプションで温度制御機能あり）

ステージ：高剛性Z/θプラットフォーム、超薄型/反りのあるウェハーに対応

操作：完全自動の積み下ろし、自動位置合わせ、プローブ検査

III．主な機能

完全自動化されたテストプロセス

ウェハー自動ロード → 画像アライメント → プローブ接触 → 電気テスト → セグメンテーションと記録 → 自動アンロード

複数カテゴリ対応

標準ロジック、アナログ、パワー、MOSFET、ダイオード、トランジスタ、MEMSなど、あらゆるタイプの測定が可能です。広い温度範囲と特殊試験に対応。低温/高温、微弱電流、高電圧試験など、あらゆる試験オプションをご用意しています。超薄型/反りウェーハの処理にも対応。裏面吸着＋特殊搬送機構により、超薄型（≤50μm）および高反りウェーハをサポートします。

IV．利点（類似製品との比較）

高いコストパフォーマンス：ハイエンドモデルのUF2000（MMIと同等）に匹敵する精度とプラットフォームを備えながら、より手頃な価格を実現。

高スループット：XY高速動作とクイックピンチェンジカードにより、大量生産の8インチ生産ラインに適しています。

安定性と信頼性：成熟したACCRETECHプラットフォーム、低メンテナンス、長寿命。

柔軟な拡張性：モジュール設計により、温度制御、高電圧、微弱電流、デュアルビンなどを後から追加できます。

V. 一般的な比較（適切な製品を素早く見つけるのに役立ちます）

UF200R：一般的な8インチ量産向け、ロジック／パワー／ディスクリート部​​品、コスト効率を最優先。

UF190R：よりコンパクトでエントリーレベルの製品であり、個別デバイスや小ロット生産に適しています。

UF2000：ハイエンド8インチ、高精度、広い温度制御範囲、MEMS/先進技術

要するに、UF200Rは8インチ中型テスト市場における「コスト効率に優れた主力プローブステーション」であり、十分な精度、高速性、安定性、耐久性、拡張性を備えているため、大量生産・多品種生産の8インチ製品ラインに適しています。