ម៉ាស៊ីនសម្គាល់ឡាស៊ែរ ThinkLaser HM300 wafer

ម៉ាស៊ីនសម្គាល់ឡាស៊ែរ ThinkLaser HM300 គឺជាម៉ាស៊ីនសម្គាល់ឡាស៊ែរ "Hard Marking" ស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការសម្គាល់ជ្រៅយ៉ាងម៉ត់ចត់ — ដែលគេស្គាល់ថាជា "hard marking" — ដែលមាននៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វី semiconductor។ តម្លៃស្នូលរបស់វាស្ថិតនៅក្នុងសមត្ថភាពរបស់វាក្នុងការឆ្លាក់លេខកូដកំណត់អត្តសញ្ញាណអចិន្ត្រៃយ៍លើបន្ទះសៀគ្វីតាមរយៈមុខងារគ្រប់គ្រងជម្រៅដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន។ លេខកូដទាំងនេះមានភាពរឹងមាំគ្រប់គ្រាន់ដើម្បីទប់ទល់នឹងភាពតានតឹងសំណឹកដែលបង្កើតឡើងដោយដំណើរការផលិតដែលមានអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ជាបន្តបន្ទាប់ ដោយហេតុនេះធានាបាននូវភាពអាចតាមដានផលិតផលបានពេញលេញពេញមួយវដ្តជីវិតរបស់វា — ចាប់ពីការផលិតបន្ទះឈីប និងការវេចខ្ចប់រហូតដល់ការធ្វើតេស្តចុងក្រោយ។

**បច្ចេកវិទ្យាស្នូល និងលក្ខណៈបច្ចេកទេសសំខាន់ៗ**

ស្នូលបច្ចេកវិទ្យារបស់ HM300 វិលជុំវិញធាតុជាមូលដ្ឋានចំនួនបីគឺ ជម្រៅ ភាពជាក់លាក់ និងស្វ័យប្រវត្តិកម្ម។ លក្ខណៈបច្ចេកទេសជាក់លាក់របស់វាមានដូចខាងក្រោម៖

**ទំនិញ** | **លក្ខណៈបច្ចេកទេស / ការពណ៌នា**

**ប្រភេទឧបករណ៍** | ប្រព័ន្ធសម្គាល់ឡាស៊ែររឹងស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ

**កម្មវិធីគោលដៅ** | រចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការសម្គាល់រឹងរបស់បន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច ដោយអនុលោមតាមតម្រូវការពាក់ព័ន្ធនៃស្តង់ដារ SEMI

**មុខងារស្នូល** | ការគ្រប់គ្រងជម្រៅដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន៖ ជម្រៅសម្គាល់ដែលអាចលៃតម្រូវបាន ឈានដល់ជម្រៅអតិបរមា 110 មីក្រូន (µm) ជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃជម្រៅ ±10%

**បច្ចេកវិទ្យាស្នូល** | អុបទិកចំណុចពីរ™៖ ប្រើប្រាស់ការរចនាអុបទិកធ្នឹមពីរ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការប្តូរដែលគ្រប់គ្រងដោយកម្មវិធីរវាងទំហំចំណុចឡាស៊ែរពីរផ្សេងគ្នា (ចាប់ពី 50 µm ដល់ 110 µm) ក្នុងប្រព័ន្ធតែមួយ។

**ការត្រួតពិនិត្យប្រព័ន្ធ** | ការត្រួតពិនិត្យប្រព័ន្ធដ៏ទូលំទូលាយ៖ កត់ត្រាទិន្នន័យដំណើរការឡាស៊ែរទាំងអស់បានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ

**ចំណុចប្រទាក់ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម** | គាំទ្រចំណុចប្រទាក់ SECS II/GEM ដើម្បីសម្រួលដល់ការគ្រប់គ្រងស្វ័យប្រវត្តិកម្មរោងចក្រ

**ភាពឆបគ្នាជាមួយបន្ទះ Wafer** | គាំទ្រទំហំបន្ទះ Wafer ពី 100mm ដល់ 200mm (ការគាំទ្រជាជម្រើសសម្រាប់បន្ទះ 300mm/310mm អាចរកបាន; លទ្ធភាពត្រូវបានបញ្ជាក់តាមរយៈទិន្នន័យដែលមានស្រាប់)

**មុខងារ គុណសម្បត្តិ និងលក្ខណៈពិសេស**

ដោយប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាទំនើបៗជាច្រើន ម៉ាស៊ីន HM300 ដោះស្រាយបញ្ហាស្នូលនៃវិស័យសម្គាល់បន្ទះសៀគ្វីបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព៖

**សមត្ថភាព "សម្គាល់រឹង" សម្រាប់ដំណើរការដ៏ម៉ត់ចត់៖** មិនដូច "សម្គាល់ទន់" ទេ សមត្ថភាព "សម្គាល់រឹង" របស់ HM300 បង្កើតស្នាមដែលមានជម្រៅគ្រប់គ្រាន់។ នេះធានាថាស្នាមនៅតែដដែល - ដោយគ្មានការរិចរិល ឬការកកិត - ពេញមួយដំណើរការដែលមានអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ជាបន្តបន្ទាប់ (ដូចជាការព្យាបាលដោយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ការសម្អាតគីមី និងការកិនមេកានិច) ដោយហេតុនេះរក្សាបាននូវភាពអាចតាមដានដំណើរការបានពេញលេញ។ **ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងភាពបត់បែន៖**

**ជម្រៅដែលអាចគ្រប់គ្រងបាន៖** មុខងារគ្រប់គ្រងជម្រៅដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន (ផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវរហូតដល់ ±10% និងជួរជម្រៅដល់ 110 µm) ផ្តល់អំណាចដល់អតិថិជនក្នុងការលៃតម្រូវជម្រៅសម្គាល់យ៉ាងច្បាស់លាស់ ដោយធានាបាននូវការផ្គូផ្គងដ៏ល្អឥតខ្ចោះជាមួយនឹងតម្រូវការដំណើរការជាក់លាក់។ **ទំហំចំណុចដែលអាចលៃតម្រូវបាន៖** បច្ចេកវិទ្យា Dual-Spot Optics™ ដែលមានប៉ាតង់របស់វាអនុញ្ញាតឱ្យមានការប្តូរដោយកម្មវិធីរវាងទំហំចំណុចឡាស៊ែរពីរ (50 µm និង 110 µm) ដោយមិនចាំបាច់កែប្រែផ្នែករឹងណាមួយឡើយ ដោយហេតុនេះអាចសម្របទៅនឹងសម្ភារៈសម្គាល់ជាច្រើនប្រភេទ និងតម្រូវការសោភ័ណភាពជាក់លាក់។

**ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម និងការគ្រប់គ្រងឆ្លាតវៃ៖**

**ប្រតិបត្តិការស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ៖** ផ្តល់ជូននូវសមត្ថភាពប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ស្វ័យប្រវត្តិពេញលេញ ដោយកាត់បន្ថយអន្តរាគមន៍របស់មនុស្ស និងកាត់បន្ថយសក្តានុពលនៃកំហុស។

**ការគាំទ្រពិធីការ SECS/GEM៖** គាំទ្រពិធីការស្វ័យប្រវត្តិកម្មស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម (SECS II/GEM) ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការរួមបញ្ចូលយ៉ាងរលូនទៅក្នុងប្រព័ន្ធប្រតិបត្តិផលិតកម្ម (MES) នៃរោងចក្រផលិតបន្ទះឈីបទំនើបៗ ដើម្បីឱ្យអាចត្រួតពិនិត្យស្ថានភាពឧបករណ៍តាមពេលវេលាជាក់ស្តែង និងការគ្រប់គ្រងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការពីចម្ងាយ។

**ការកត់ត្រាទិន្នន័យដ៏ទូលំទូលាយ៖** ប្រព័ន្ធនេះកត់ត្រាទិន្នន័យដំណើរការឡាស៊ែរទាំងអស់បានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ ដែលផ្តល់នូវមូលដ្ឋានគ្រឹះរឹងមាំសម្រាប់ការវិភាគដំណើរការ និងការតាមដានគុណភាព។

**ភាពឆបគ្នានៃសម្ភារៈ និងដំណើរការទូលំទូលាយ៖**

ត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់អតិថិជនដែលធ្វើការក្នុងវិស័យឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសមាសធាតុ ឧបករណ៍ដំណើរការកម្រិតខ្ពស់ និងការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់ ប្រព័ន្ធនេះដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមនៃការសម្គាល់ដែលទាក់ទងនឹងសម្ភារៈឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកជំនាន់ក្រោយដូចជា SiC, GaN និង GaAs ប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។

ទស្សនវិជ្ជារចនារបស់វាលាតសន្ធឹងហួសពីភារកិច្ចសម្គាល់ជាមូលដ្ឋាន។ វាត្រូវបានដាក់ជា "ដំណោះស្រាយសម្គាល់បន្ទះសៀគ្វីដ៏ទូលំទូលាយ" ដែលមានសមត្ថភាពឆ្លងកាត់ការវាយតម្លៃ និងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងតាមតម្រូវការ — ត្រូវបានរៀបចំតាមសម្ភារៈ និងវិមាត្របន្ទះសៀគ្វីតែមួយគត់ — ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការជាក់លាក់។

**តំបន់ដាក់ពាក្យ**

HM300 គឺជាឧបករណ៍ដ៏សំខាន់មួយនៅក្នុងវិស័យផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់ ដែលភាគច្រើនត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងវិស័យដូចខាងក្រោម៖

**ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក (ផ្នែកខាងមុខ និងផ្នែកខាងក្រោយ):** ផ្តល់នូវលេខសម្គាល់អចិន្ត្រៃយ៍ដែលមានសុចរិតភាពខ្ពស់សម្រាប់បន្ទះស្រទាប់ខាងក្រោម — រួមទាំងស៊ីលីកុន SiC និង GaN — ដោយហេតុនេះគាំទ្រដល់ការគ្រប់គ្រងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មដោយស្វ័យប្រវត្តិ និងការតាមដានគុណភាពនៅក្នុងរោងចក្រផលិត (Fabs) និងកន្លែងផ្គុំ/សាកល្បង។

**ការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់៖** ផ្តល់នូវការសម្គាល់ដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់បន្ទះស្តើង ឬបន្ទះដែលបានសាងសង់ឡើងវិញនៅក្នុងដំណើរការវេចខ្ចប់កម្រិតបន្ទះ (WLP) និងកញ្ចប់កម្រិតបន្ទះ (PLP)។

**ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាជាមួយផលិតផល ThinkLaser ផ្សេងទៀត**

ThinkLaser ផ្តល់ជូននូវដំណោះស្រាយសម្គាល់បន្ទះសៀគ្វីដ៏ទូលំទូលាយ ដែលក្នុងនោះ HM300 ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់៖

**ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នាជាមួយឧបករណ៍សម្គាល់ទន់៖** នៅលើខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មដូចគ្នា ម៉ាស៊ីន HM300 អាចដំណើរការរួមគ្នាជាមួយ SC300 របស់ ThinkLaser (ប្រព័ន្ធសម្គាល់ទន់សម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 300 មីលីម៉ែត្រ) ឬ SigmaClean (ប្រព័ន្ធសម្គាល់ទន់សម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 100–200 មីលីម៉ែត្រ)។ ក្រុមហ៊ុនផលិតអាចជ្រើសរើសបច្ចេកវិទ្យាសម្គាល់ដែលសមស្របបំផុតដោយបត់បែនដោយផ្អែកលើចំណុចដំណើរការជាក់លាក់ ឬតម្រូវការរបស់អតិថិជន។

**សេចក្តីសង្ខេប**

សរុបមក ម៉ាស៊ីន ThinkLaser HM300 គឺជាប្រព័ន្ធឯកទេសកម្រិតឧស្សាហកម្ម ដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាមូលដ្ឋាន ដើម្បីផ្តល់នូវការសម្គាល់បន្ទះសៀគ្វីអចិន្ត្រៃយ៍ និងគ្រប់គ្រងជម្រៅ ដែលបំពេញតាមស្តង់ដារឧស្សាហកម្មដ៏តឹងរ៉ឹងបំផុត។ តាមរយៈការគ្រប់គ្រងជម្រៅដែលអាចសរសេរកម្មវិធីបាន បច្ចេកវិទ្យាធ្នឹមពីរ និងសមត្ថភាពស្វ័យប្រវត្តិកម្មកម្រិតខ្ពស់ វាដោះស្រាយបញ្ហាប្រឈមដ៏សំខាន់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រ ក្នុងការរក្សាការតាមដានផលិតផលនៅទូទាំងខ្សែសង្វាក់ដំណើរការដែលមានអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់។ វាឈរជាឧបករណ៍សំខាន់មួយនៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ផលិតបន្ទះសៀគ្វី និងវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់។ អ្នកអភិវឌ្ឍន៍របស់វាគឺ ThinkLaser មានបទពិសោធន៍ក្រុមសមូហភាពជាង 80 ឆ្នាំនៅក្នុងវិស័យនេះ និងកាន់កាប់ចំណែកទីផ្សារប្រហែល 80% នៅក្នុងសហរដ្ឋអាមេរិក។