これASMPT MS100 プラスASM MS100 Plusとも呼ばれるこの装置は、ウェハマップに基づいたダイまたはチップの選別と一般的に関連付けられている、従来型の半導体プラットフォームです。構成済みのプロセスでは、マップ情報とレシピ情報に加え、設置済みのピックアップ、アライメント、出力ハードウェアを使用して、ダイを識別し、配線することができます。
プラットフォームの識別情報だけでは、特定の中古機械の性能を保証するものではありません。ウェハーの搬送方法、ピックアップツール、カメラ、ソフトウェア、仕分け先、付属アクセサリなどは機種によって異なる場合があるため、購入者はモデル名だけに頼るのではなく、実際に設置されている構成を評価する必要があります。
正確性に関する注記:このガイドは、MS100 Plusの仕様を網羅的に記載したものではありません。速度、精度、ウェハー範囲、ヘッド数、その他の技術仕様に関する公表値は十分に検証されておらず、銘板、オリジナル文書、および個々の装置からの証拠に基づいて確認する必要があります。

ASM MS100 Plusはどのようなタイプの機械ですか?
MS100 Plusは、現在主に二次加工機器市場で使用される、従来型のASM半導体選別プラットフォームとして捉えるのが最適である。一般的には、ウェハーまたは互換性のあるフレームからダイを選別し、利用可能なマップ、レシピ、または分類情報に基づいて指定された出力場所にルーティングするプロセスと連携して使用される。
旧型機器にはASMブランドが付いている場合がありますが、購入者はASMPT MS100 Plusで検索することがよくあります。特定の機器については、銘板に記載されているメーカー名と型番が正式な情報となります。
MS100 Plusは、MS100, MS100 Plus IIそしてMS90以前のモデルに関する背景情報をお求めの方は、ASM MS100プラットフォームガイドをご参照ください。ただし、仕様や写真はモデル間で転用しないでください。
選別、電気試験、ダイボンディングはそれぞれ異なる工程上の役割を担う。
ウェハマップソーターは、プロセス情報または分類情報を使用してダイを選別し、定義された出力に振り分けます。分類は、以前の検査またはテストプロセス中に作成されたものである場合があります。
電気テストハンドラは、異なる役割を果たします。デバイスを互換性のあるテストサイトに提示し、通常は適切なソケット、コンタクタ、テストインターフェース、ATE通信、およびサポートソフトウェアを必要とします。ダイボンダーもまた、ダイを基板、パッケージ、またはその他のターゲットに配置して接合するという、別の目的を持っています。
したがって、設置された装置とそのプロセス文書にそれらの機能が明確に示されている場合を除き、MS100 Plusを電気テストハンドラーまたはダイボンダーとして説明すべきではありません。
「MS100 Plus」が完全な仕様ではない理由
「Plus」という名称はプラットフォームを識別するものであり、インストールされている構成全体を示すものではありません。ピックアップヘッドの数や種類、イジェクタの配置、ウェハテーブルの設定、対応フレーム、カメラシステム、出力メディア、ソフトウェアのリリース、ライセンス、利用可能な変換ツールなどは明示されていません。
また、この情報だけでは、当該装置が他の機種よりも高速であること、より大きなウェハーフォーマットに対応していること、デュアルヘッドを搭載していること、あるいは統合型画像検査機能を備えていることを証明するものではありません。これらの詳細は、オリジナルの文書または実際の機器記録から確認する必要があります。
以前は1つのダイ、ウェハフレーム、出力キャリアで使用されていた装置でも、別のプロセスではピックアップツール、エジェクタ部品、レシピ、変換ハードウェアなどが異なる場合があります。したがって、実際の購入における重要な質問は、「これはMS100 Plusですか?」ではなく、「このMS100 Plusは、当社の製品に必要な構成を備えていますか?」となります。
機械をレビューする前に、対象プロセスを定義する
効果的な設備レビューは、金型とプロセス要件から始まります。購入者は、金型の寸法と厚さ、デバイスまたは材料の種類、表面感度、許容ピックアップ領域、および必要な向きを提供する必要があります。
入力側では、ウェーハまたはフィルムフレームのフォーマット、フレーム寸法、ウェーハの状態、ローディング方法、および利用可能なマップまたはレシピソースを記述する必要があります。出力要件では、ダイがトレイ、キャリア、フレーム、ビン、またはグレードの目的地に移動する必要があるかどうか、また、不良品や再加工の経路も指定する必要があります。
位置合わせ、検査、トレーサビリティ、生産用途、および想定される切り替え頻度についても記載する必要があります。これらの詳細は、MS100 Plusが記載されているすべてのフォーマットに対応していることを意味するものではなく、実際の機械と比較すべき事項を定義するものです。
ウェハおよびフレーム処理構成を確認してください
入力配置は、最初に確認すべき互換性ポイントの1つです。購入者は、使用予定のウェーハまたはフィルムフレームを、設置済みのウェーハテーブル、ローディング方法、サポート配置、およびエジェクタ構成と比較する必要があります。
フレームの寸法、識別要件、および入荷材料の状態は、装置がダイを正しく供給できるかどうかに影響します。部分的なウェーハ、損傷したウェーハ、または特別なサポート条件の場合、標準的な中古装置には備わっていない機能が必要になる場合があります。
再販リストに記載されているウェハーの対応範囲だけでは、互換性を判断するには不十分です。物理的なテーブル、フレームの取り扱い、イジェクタの位置、および使用可能なローディングハードウェアが、使用予定のメディアと一致している必要があります。
金型ピックアップ、ツーリング、および段取り替えのニーズを確認する
金型への製品のピックアップは、製品と取り付けられた工具との関係に依存します。コレット、ノズル、またはその他のピックアップツールは、金型の寸法、厚さ、材質、許容接触面積、および表面感度に適合している必要があります。
エジェクタ機構、真空状態、および向きの要件も、搬送プロセスに影響を与えます。金型が広く公表されているサイズ範囲内に収まっているように見えても、ピックアップツール、エジェクタ部品、またはプロセス設定が異なる場合があります。
購入者は、どの工具が既に設置されているか、どの変換部品が含まれているか、そして適切な代替品が入手可能かどうかを確認する必要があります。工具が不足していると、変換コストが増加し、プロセス試作や生産開始が遅れる可能性があります。
ビジョン、アライメント、およびソフトウェア機能を確認する
視覚能力は、設置されたカメラ、光学系、照明、および認識結果に基づいて評価する必要があります。視線方向、キャリブレーション状態、使用可能なレシピ、およびターゲットダイの外観はすべて、アライメントと方向制御に影響を与える可能性があります。
カメラが搭載されているからといって、機械が購入者の金型を認識できる、あるいは特定の検査作業を実行できるとは限りません。機械に視覚機能があるという一般的な主張よりも、代表的な認識結果の方がはるかに有用です。
ソフトウェアに関する証拠も同様に重要です。マシンが正常に起動すること、正規のユーザーアクセスが可能であること、必要なライセンス、パスワード、プログラムのバックアップが含まれていることを確認してください。購入者は、レシピの入手可能性、マップの読み込み、データ転送方法、アラーム記録、および利用可能な校正ドキュメントも確認する必要があります。
機械は正しく電源が入ったとしても、必要なマップをロードできなかったり、必要なレシピにアクセスできなかったり、意図したプロセスデータと通信できなかったりする場合は、不適切であると言える。
出力とソート経路を確認する
中古のMS100 Plusは、出力構成が大きく異なる場合があります。購入者は、搭載されているキャリア、トレイ、フレーム、またはビンの形状、および出力先がどのように配置されているかを確認する必要があります。
必要なグレードロジック、良品選別ルート、不良品処理、再加工ルート、および出力方向を、設置済みのハードウェアおよびソフトウェアと比較する必要があります。トレーサビリティ要件も、既存の構成が適切かどうかに影響を与える可能性があります。
以前の用途向けに設計された出力システムは、別の仕分けプランに対応するために変換が必要になる場合があります。利用可能な配送先数は、モデル名や一般的な製品説明から推測すべきではありません。
入力、ピックアップ、ビジョン、ソフトウェア、出力に関する要件が定義された後、購入者は利用可能なASM MS100 Plus機器を確認し、現在のユニットに実際に何がインストールされているかを判断することができます。
中古のASM MS100 Plusでチェックすべきこと
中古機械の評価では、以下の4つの事項を明確にする必要があります。すなわち、機器の正確な識別情報、インストールされているハードウェアとソフトウェア、現在動作しているもの、そして販売に含まれるもの、です。
| レビューエリア | 確認のための証拠 |
|---|---|
| マシン識別子 | 銘板、正確なモデル、シリアル番号、入手可能な製造情報、および以前のプロセス |
| 機械的状態 | 動作部、ウェハテーブル、ピックアップ部および排出部、ケーブル、空気圧部、真空ライン、ガードおよびインターロック |
| 視覚状態 | 設置されたカメラ、照明、認識結果、キャリブレーション、および実用上可能な代表金型の再現性 |
| ソフトウェアの状態 | 起動ステータス、アラーム、ユーザーアクセス、レシピ、マップ読み込み、バックアップ、パスワード、ライセンス |
| 工具と出力 | ピックアップツール、エジェクター部品、フレーム、キャリア、変換キット、治具、および付属のスペアパーツ |
| 納品範囲 | 機械、付属品、コンピュータ、マニュアル、ソフトウェアバックアップ、検査、修理、サポート品目が実際に含まれています |
外観検査は、損傷、腐食、汚染の有無を確認するのに役立ちますが、処理能力を確定することはできません。状態評価は、意図する用途に関連する運転データに基づいて行う必要があります。
FATとサンプル証拠は電源オン状態だけにとどまるべきではない
有用な工場受入試験または動作デモンストレーションでは、電源投入シーケンスの成功以上のものを示す必要があります。使用可能な装置と合意された試験範囲に応じて、軸の原点復帰、ウェハテーブルの移動、ピックアップヘッドの移動、真空応答、カメラ画像、認識結果、マップまたはレシピのロードなどの証拠を含めることができます。
構成が許す場合、デモンストレーションには、ピックアップと配置のサイクル、設置された出力先へのルーティング、アラームの復旧、および繰り返し動作が含まれる場合があります。緊急停止およびインターロックの応答は、承認された試験手順に従って確認できます。
範囲は現実的なものでなければなりません。適切な工具、サンプル材料、またはソフトウェアへのアクセスがない機械では、基本的な機能デモンストレーションしか実行できません。それを完全な量産FATとして提示すべきではありません。
代表者による死亡試験が、より優れた適合性証拠を提供する理由
一般的な動作テストでは、主要システムが動くことは確認できますが、機械が購入者の金型を処理できることを証明するものではありません。
可能な限り、代表的な試験では、対象物または同等のダイ、想定されるウェハまたはフレームフォーマット、適切なピックアップツール、互換性のあるマップまたはレシピ、および必要な出力キャリアを使用する必要があります。関連する場合には、視覚および方向に関する要件も含める必要があります。
この種の試験では、ピックアップの接触、排出装置の適合性、認識精度、方向制御、出力経路など、モデルの説明からは分からない問題点を明らかにすることができる。
ターゲット金型の試作は必ずしも提供できるとは限りません。試作の範囲は、サンプルの入手可能性、工具、ソフトウェアへのアクセス、機械の状態、販売者の能力、プロジェクトのスケジュールによって異なります。テストされていない互換性のポイントは、購入前に明確に特定しておく必要があります。
見積もり前に変換範囲と納品範囲を確認してください
中古機械のオファーには、含まれるものを正確に記載する必要があります。既存の設備には、機械本体、コンピュータ、モニター、取り付け済みの工具、フレーム、キャリア、マニュアル、ソフトウェアのバックアップ、および入手可能なスペアパーツが含まれる場合があります。
必要な作業は別途記載してください。検査、校正、製品改造、改修、輸出梱包、その他の準備作業は、基本機械の見積もりに含まれるものとはみなさないでください。
設置、トレーニング、現地サポート、輸送手配、保証またはサービス条件についても、該当する場合は確認する必要があります。技術的に問題なさそうな機械でも、生産開始前に大幅な改造やサポート計画が必要となる場合があります。
MS100 Plusが最適なマシンではない場合
ウェハマップによる選別よりも、電気試験やATE通信が主な要件となる場合は、別の装置設計が必要になる場合があります。
また、対象となる入力メディアがサポートされていない場合、適切なピックアップツールが利用できない場合、必要なマップ互換性が実証できない場合、または必要なビジョン機能が搭載されていない場合にも、この機械は不適切となる可能性があります。
出力ルーティング、ソフトウェアへのアクセスの不完全性、非現実的な変換要件、または有意義な運用実績の欠如といった要因によって、別のプラットフォームの方が適している場合もあります。プロセス要件全体が明確になるまでは、代替モデルを選択すべきではありません。
入手可能なASM MS100 Plusの正確な構成を確認してください
機械レビューを依頼する前に、以下のプロジェクト情報を準備してください。
金型の寸法と厚さ
ウェハーまたはフレーム形式
地図とレシピの要件
ピックアップ制限
視覚またはアライメントの要件
必要な出力キャリアとソートロジック
既存の工具
対象生産用途
必要なFATまたは運用証拠
配送先
特定の機械に関する最新の写真、銘板とシリアル番号の情報、インストール済みの構成、ソフトウェアとマップの証拠、利用可能なFAT記録、付属のツール、納品範囲、および見積もりをご希望の場合は、WhatsAppまたはメールでAll-SMTチームまでお問い合わせください。
金型情報、参考画像、プロセス文書は、WhatsAppまたはメールでのやり取りを開始した後に共有できます。互換性、入手可能性、再生、性能、価格、納期については、実際のユニットとプロジェクトの要件を確認した後にのみ確定してください。
ASMPT MS100 Plusに関するよくある質問
ASM MS100 Plusはどのようなタイプの機械ですか?
これは、ウェハマップに基づいたダイまたはチップの選別と一般的に関連付けられる、従来型のASM半導体プラットフォームです。その正確な機能は、個々のマシンにインストールされているハードウェア、ソフトウェア、およびツールによって異なります。
ASM MS100 Plusは電気試験ハンドラーですか?
自動的には動作しません。電気試験には通常、互換性のある試験インターフェース、接点ハードウェア、ATE通信、およびサポートソフトウェアが必要です。マップベースのソートだけでは、これらの機能を証明することはできません。
MS100 PlusはMS100と同じですか?
いいえ。これらは別々のモデルターゲットです。仕様、写真、性能に関する主張は、オリジナルの文書または機械固有の証拠がない限り、両者間で転用してはなりません。
MS100 Plusは、どのようなサイズのウェハーとダイに対応できますか?
すべての装置に共通する範囲は存在しません。互換性は、設置されているウェハテーブル、フレーム構成、エジェクタ、ピックアップツール、ビジョンシステム、ソフトウェア、および変換ハードウェアによって異なります。
中古のMS100 Plusを購入する前に確認すべきことは何ですか?
銘板と正確なモデル、ウェハーの取り扱い、ピックアップツール、画像処理、ソフトウェアへのアクセス、マップのロード、出力経路、機械的状態、FATの証拠、および納品範囲全体を確認してください。
電源投入時の動画だけで、その機械を評価するのに十分でしょうか?
いいえ。これは機械の状態を限定的にしか確認できません。より詳細な評価では、ホーミング、移動、ソフトウェアへのアクセス、マップまたはレシピの読み込み、認識、ピックアップと配置、および可能な場合は必要な出力経路も含まれます。
結論:ASMPT MS100 Plusは、プラットフォーム名が個々の使用済み機械の構成を定義するものではない、独立したモデルターゲットです。購入者は、互換性を判断する前に、入力配置、ピックアップツール、ビジョン、ソフトウェア、マップ処理、および出力経路を確認する必要があります。電源投入状態だけでは不十分であり、FAT(工場受入試験)の証拠または代表的なプロセス試験がより強力な裏付けとなります。また、最終的な見積もりを受け入れる前に、改造作業と納品範囲全体を確認する必要があります。




