ASMPT MS100 ウェハマッピングダイソーター：その機能と購入前に確認すべき点

ASMPT MS100は、従来型のASM MS100という名称でも一般的に記載されており、中古機器の公開情報では、ウェハーマッピングダイソーターまたはマップソーターとして識別されることが多い。その役割は、マップ情報、設定されたプロセス、および装置に搭載されたハンドリングハードウェアに基づいて、ダイを選別してルーティングすることである。

このモデル名は一般的な機器カテゴリーを示すものですが、中古のMS100の実際の性能は個々のユニットによって判断する必要があります。ピックアップハードウェア、ウェハーまたはフレームのハンドリング、ビジョンシステム、ソフトウェア、ツール、出力構成、および以前の用途は、機械によって異なる場合があります。

正確性に関する注記：現時点では、信頼できるMS100の包括的な仕様セットは入手できません。スループット、精度、対応ダイまたはウェーハフォーマット、ソフトウェア機能、その他の装置固有の仕様については、銘板、オリジナルドキュメント、搭載モジュール、および実機の動作状況から確認する必要があります。

ASM MS100はどのようなタイプの機械ですか？

ASM MS100は、ウェハマップベースのダイ選別に使用される旧型のASM半導体装置と表現するのが最も適切です。古い銘板や記録ではASMという名称が使われている場合がありますが、現在の検索ではASMPT MS100という名称が使われている可能性があります。個々の装置については、装置本体に表示されている製造元情報を参照情報として使用してください。

一般的な選別アプリケーションでは、マップ情報またはレシピ情報によって、必要な金型の位置と分類が特定されます。設置されたハンドリングシステムは、金型をピックアップし、指定されたキャリア、フレーム、グレード、または出力位置に搬送します。正確な手順は、提供されるハードウェア、ソフトウェア、およびプロセス構成によって異なります。

MS100, MS100プラス, MS100 Plus IIそしてMS90これらは別々のモデルターゲットとして扱う必要があります。MS100 Plus向けに公開されている仕様や機能は、元の文書で適用が明記されていない限り、MS100に転用してはなりません。

ウェハマップソーター、テストハンドラー、ダイボンダーはそれぞれ異なる役割を担う。

半導体製造装置の専門用語は、中古品リストにおいて必ずしも一貫して使用されているとは限りません。購入者はまず、その装置が担う主要なプロセスを特定する必要があります。

電気テストハンドラーは通常、互換性のあるテストサイト、ソケットまたはコンタクタ、および自動テスト装置と連携して動作します。ダイボンダーは、ボンディングプロセスによってダイを別の表面に接着します。一方、ウェーハマッピングダイソーターは、プロセスデータを使用してダイのピックアップと出力経路を制御します。

したがって、MS100は、元の機械のドキュメントと設置された構成によって別の検証済みのプロセス能力が確立されない限り、主にウェハマッピングダイソーターとして評価されるべきである。

ウェハマップに基づくダイ選別ルートの一般的な仕組み

一般的なウェハマップの選別手順は、以下の順序で行われる可能性があります。

1. 対応しているウェハーまたはフィルムフレームのフォーマットを装置に提示してください。

2. 関連するマップと処理レシピを読み込むか選択してください。

3. プロセスデータによって特定された金型位置を特定します。

4. 取り付けられたピックアップおよびエジェクタ機構を使用して、ダイをピックアップします。

5. システムがそのように構成されている場合は、金型の位置合わせまたは検査を行います。

6. 金型を、指定されたキャリア、フレーム、グレード、または出力場所に配置します。

7. 処理記録を更新し、ソート処理を続行します。

これは一般的なプロセス概念であり、すべてのMS100の正確な機械的説明ではありません。位置合わせ、検査、出力ルーティング、記録機能は、個々の機械に付属するハードウェアとソフトウェアによって異なります。

ウェハーマップが選別プロセスで果たす役割

ウェハマップには、ダイの位置データ、分類またはグレード情報、および設定された選別ワークフローで使用されるプロセスステータスが含まれる場合があります。装置はこの情報を使用して、どのダイを選択し、どこに搬送するかを判断できます。

分類データは、上流の電気テストまたは検査プロセスから取得され、下流の選別工程で使用される場合があります。したがって、ウェハマップ処理機能の存在は、選別ワークフローを示すものであり、必ずしもMS100自体に電気テスト機能が搭載されていることを示すものではありません。

サポートされているファイル形式、ソフトウェアインターフェース、レシピ構造、および通信方法は、実際のシステムで確認する必要があります。一般的な再販説明はモデルの識別には適していますが、特定のマップやソフトウェアの機能を示す証拠として扱うべきではありません。

MS100というモデル名だけでは不十分な理由

同じMS100という型番を持つ2台の装置でも、処理能力が異なる場合があります。違いとしては、ピックアップヘッド、エジェクタ機構、コレットまたはノズル、ウェハテーブル、フレームハンドリングシステム、カメラ、照明、出力キャリア、ビンニングレイアウトなどが挙げられます。

ソフトウェアのバージョン、レシピ、ライセンス、校正条件、変換ツール、および過去のアプリケーションも適合性に影響を与える可能性があります。あるダイ、ウェーハフレーム、または出力ルート用に構成された装置でも、別のプロジェクトでは異なるハードウェアとプロセス準備が必要になる場合があります。

この構成依存性は、半導体ピックアンドプレースハンドラープラットフォーム名は機器のファミリーを識別し、インストールされているモジュールとツールによってシステムの使用方法が決まります。

購入者は、入手可能なASMPT MS100装置の写真、銘板、設置済みのハードウェア、ソフトウェアの状態、工具、および納品範囲を確認してから、それが意図するプロセスに適合するかどうかを決定する必要があります。

貴社のプロセスにMS100を導入するかどうかを判断するために必要な情報

有用なMS100照会では、モデルが利用可能かどうかを尋ねるだけでなく、対象となるプロセスを説明する必要があります。

ターゲットダイ

金型の寸法と厚さ、材質またはデバイスの種類、表面状態、必要な向き、および破損しやすい箇所や制限のあるピックアップ領域をお知らせください。これらの要素は、必要となるピックアップツール、エジェクタの配置、および取り扱い方法に影響を与えます。

入力メディア

ウェーハまたはフィルムフレームのフォーマット、フレーム寸法、ウェーハの状態、ローディング方法、および利用可能なマップまたはレシピ情報を特定します。これらの要件は、装置に搭載されているウェーハテーブルおよびフレームハンドリング構成と比較する必要があります。

出力ルート

選別された金型が搬送装置、フレーム、トレイ、ビン、または等級分け位置のいずれに移動する必要があるかを説明してください。必要な向き、不良品の処理方法、および出力グループ化についても定義する必要があります。

プロセス要件

選別ロジック、アライメントまたは検査の必要性、トレーサビリティ要件、生産目標、および予想される段取り替え頻度について説明してください。これらの情報は、設備レビュー中に実証しなければならない内容を明確にするものです。

この情報を提供することは、MS100が記載されているすべてのフォーマットをサポートしていることを前提とするものではありません。これは、サプライヤーがプロジェクトと実際のマシン構成を比較するのに十分な情報を提供するものです。

中古のASM MS100でチェックすべきこと

中古機械の点検では、何が搭載されているか、何が正常に動作するか、そして納品時に何が同梱されるかを明確にする必要があります。電源が入っているかどうかだけでは、その証拠のごく一部しか得られません。

電源投入時の動画は、機械が起動し、一部のシステムが応答することを確認できます。しかし、購入者の金型との互換性、完全な工具の有無、または生産準備が整っていることを証明するものではありません。

動作実証は、可能な限り意図された用途を忠実に反映するべきである。適切な工具を用いた制御されたピックアップ、配置、出力ルーティングのシーケンスは、一般的な軸移動のデモンストレーションよりも有用な情報を提供する。

標的死亡試験がより強力な証拠を提供する理由

可能な限り、代表的なプロセス試験は、モデル名、再販時の説明、または基本的な電源投入ビデオよりも強力な互換性の証拠となる。

有用な試験には、対象となるダイまたは代表的なダイ、想定されるウェハまたはフレームのフォーマット、関連するツール、互換性のあるマップまたはレシピ、および必要な出力キャリアを含めることができます。その結果、設置されたピックアップ、アライメント、およびルーティング構成がプロジェクトに適しているかどうかを確認できます。

実施可能なテスト範囲は、機械の状態、工具、サンプル材料、ソフトウェアへのアクセス、販売者の能力、およびプロジェクトのスケジュールによって異なります。すべての機械を、購入者の実際の生産材料でテストできるわけではありません。

機械が適合すると判断される前に、試験要件について合意しておく必要がある。完全なプロセス試験が不可能な場合は、残りの適合性リスクを明確に特定し、後日確認できるようにしておくべきである。

MS100が適切な出発点ではない場合

主な作業がウェハマップに基づくダイ選別ではなく、ATE、ソケット、またはコンタクタを用いた電気テストである場合は、別の装置指示が必要になる場合があります。

MS100は、必要なウェハ、フレーム、ダイ、または出力フォーマットがサポートされていない場合、マップまたはソフトウェアの互換性が確立できない場合、変換ハードウェアが利用できない場合、または必要な検査ステーションや処理ステーションが設置されていない場合にも適さない可能性があります。

場合によっては、より新しいプラットフォームや異なる処理アーキテクチャの方が適切な場合もあるが、交換の方向性はモデル名だけではなく、ダイ、入力メディア、プロセス、および出力の要件に従うべきである。

使用可能なASM MS100の構成を確認する

機器レビューを依頼する前に、以下の情報を準備してください。

• 金型の寸法と厚さ

• ウェハーまたはフレーム形式

• 地図またはレシピの要件

• ピックアップとアライメントの要件

• 意図された出力キャリアまたは仕分けルート

• 既存の工具

• 生産目標

• 目的地および施設情報

• 必要な操作または検査の証拠

WhatsAppを通じてご連絡いただければ、現在入手可能なASM MS100マシンの構成（最新の写真、銘板情報、設置済みハードウェア、稼働状況を示す証拠、付属工具、検査状況、納品範囲など）をご確認いただけます。

回答は、対象となる機械の種類に基づいて行う必要があります。互換性、価格、納期、修理状況、期待される性能については、入手可能な機器とプロジェクト要件を確認した後にのみ確定すべきです。

ASMPT MS100に関するよくある質問

ASM MS100はどのようなタイプの機械ですか？

公開されている中古機器記録では、一般的にウェハーマッピングダイソーター、マップソーター、またはデバイスマッパーソーターとして記載されています。個々の装置の機能は、搭載されているハードウェア、ソフトウェア、およびツールによって異なります。

ASM MS100は電気試験ハンドラーですか？

自動的にはできません。電気テストには、互換性のあるテストサイト、接点ハードウェア、テスター通信、およびソフトウェアが必要です。ウェハマップベースの選別では、上流の電気テスト自体を実行せずに、分類データを利用できます。

MS100はウェハーマッピングを実行できますか？

このプラットフォームは一般的にウェハーマッピングダイソーターと呼ばれています。ただし、サポートされているマップフォーマット、ソフトウェアワークフロー、データインターフェースについては、実際の装置とそのドキュメントで確認する必要があります。

MS100はどのサイズのウェハーとダイに対応できますか？

汎用的な対応範囲をすべての装置に適用すべきではありません。互換性は、搭載されているウェハテーブル、フレームハンドリング、エジェクタ、ピックアップツール、ビジョンシステム、ソフトウェア、および変換ハードウェアによって異なります。

中古のASM MS100を購入する前に確認すべきことは何ですか？

機械の識別情報、設置構成、機械的および視覚的な状態、ソフトウェアへのアクセス、マップ処理、工具、出力経路、動作証拠、および正確な納品範囲を確認してください。

ASM MS100とMS100 Plusは同じ機種ですか？

いいえ。これらは別々のモデルです。MS100 PlusまたはMS100 Plus II向けに公開されている仕様や機能は、オリジナルの裏付け資料がない限り、MS100に適用すべきではありません。

結論：ASMPTまたはASM MS100は一般的にウェハーマッピングダイソーターとして知られていますが、実際の互換性は個々の装置によって異なります。ウェハーマップソーティング、電気テスト、ダイボンディングはそれぞれ異なるプロセスであり、ピックアップハードウェア、ビジョン、ソフトウェア、ツール、出力構成は中古装置によって異なる場合があります。購入者は、適合性を確認したり最終見積もりを依頼したりする前に、正確な装置履歴を要求し、関連する動作データを確認し、可能であれば代表的なプロセス試験を実施する必要があります。