ウェハーダイシングの要件と装置の選定

道路幅、金型の形状、および位置合わせマークによって、切断時に利用できる位置誤差の範囲が決まります。

薄い、脆い、または応力に敏感なウェハーは、切断経路が正しく配置されていても、表面の欠け、裏面の欠け、または微細な亀裂が発生する可能性がある。

全切削、半切削、溝加工、段付き切削では、切削深さの制御、スピンドル配置、ワークピースの支持方法にそれぞれ異なる要求が課せられます。

切断後の破片、残留水分、テープの状態、および金型の動きは、検査、膨張、ピックアップ、および金型接着に影響を与える。