ACM ரிசர்ச்சின் ULTRA ECP ap-p என்பது ஒரு புரட்சிகரமான பேனல்-நிலை கிடைமட்ட முலாம் பூசும் அமைப்பாகும். இது, ஃபேன்-அவுட் பேனல்-லெவல் பேக்கேஜிங் (FOPLP) தொழில்மயமாக்கலில் உள்ள ஒரு முக்கிய செயல்முறை இடைவெளியை நிரப்புவதே அதன் மைய மதிப்பாகத் தனித்து விளங்குகிறது.
பெரிய பேனல் சந்தைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட, வணிகமயமாக்கப்பட்ட முதல் பெருமளவு உற்பத்தி செப்புப் படிவு அமைப்பாக, இது மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்கை 300 மிமீ வேஃபர் மட்டத்திலிருந்து அதிக செலவு குறைந்த பேனல் மட்டத்திற்கு தடையின்றி மாற்றுவதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது. அதன் காப்புரிமை பெற்ற கிடைமட்ட முலாம் பூசும் தொழில்நுட்பம், விதிவிலக்கான சீரான தன்மை மற்றும் வளைந்த பேனல்களின் திறமையான மேலாண்மை ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தி, இந்த அமைப்பு வட்ட வடிவ வேஃபர் செயல்முறைகளுக்கு இணையான செயலாக்க செயல்திறனை அடைகிறது. இதன் மூலம், AI GPU-கள் மற்றும் உயர் அடர்த்தி HBM-கள் போன்ற அடுத்த தலைமுறை சாதனங்களின் கடுமையான உற்பத்தித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
பொதுவில் கிடைக்கப்பெறும் தகவல்களின் அடிப்படையில் தொகுக்கப்பட்ட, ULTRA ECP செயலி குறித்த ஒரு விரிவான கண்ணோட்டம் பின்வருமாறு:
**உபகரண நிலைப்படுத்தல்**
**தயாரிப்பு வரிசை:** அல்ட்ரா ஈசிபி (மின்னியல் வேதியியல் முலாம் பூசுதல்) தளத்தின் கீழ் வரும் பேனல்-நிலை (ஏபி-பி) மாடல்.
**தொழில் துறை அங்கீகாரம்:** 2025 ஆம் ஆண்டுக்கான "3D InCites தொழில்நுட்ப மேம்பாட்டு விருதைப்" பெற்றவர்.
**முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் அம்சங்கள்**
ULTRA ECP செயலியின் தொழில்நுட்ப சிறப்பம்சங்கள் பின்வருமாறு:
**கிடைமட்ட முலாம் பூசும் வடிவமைப்பு:** இது, பாரம்பரிய செங்குத்து முலாம் பூசும் முறையிலிருந்து மாறுபட்டு, ACM-இன் காப்புரிமை பெற்ற கிடைமட்ட முலாம் பூசும் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. இது, சக்கின் ஒத்திசைவான சுழற்சி மற்றும் சுழலும் செவ்வக மின்புலம் ஆகியவற்றின் மூலம், முழு பேனல் முழுவதும் முலாம் பூசும் தடிமனில் மிகச்சிறந்த சீரான தன்மையை உறுதி செய்கிறது. மேலும், இந்த அணுகுமுறை செயல்முறை அறைகளுக்கு இடையில் இரசாயனக் குறுக்கு-மாசுபடுதலைத் திறம்படக் குறைக்கிறது; அதுமட்டுமின்றி, கிடைமட்ட அறை வடிவமைப்பு தனிப்பட்ட அறைகளின் எளிதான பராமரிப்பிற்கு வழிவகுக்கிறது, இதன் மூலம் ஒட்டுமொத்த உபகரணத் திறனை மேம்படுத்துகிறது.
**மேம்படுத்தப்பட்ட துல்லியமான வன்பொருள்:** இது நான்கு பக்கமும் மூடப்பட்ட உலர்-தொடர்பு சக்கைக் கொண்டுள்ளது, இது வேஃபர்/பேனல் கையாளுதலின் நம்பகத்தன்மையையும் தூய்மையையும் மேம்படுத்துகிறது. தாமிர முலாம் பூசும் அறையானது, அதிக மேடு பள்ளங்கள் உள்ள பயன்பாடுகளுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட அதிவேக முலாம் பூசும் துடுப்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது 300 மைக்ரானுக்கும் அதிகமான உயரமுள்ள மேடு பள்ளங்களை உருவாக்க உதவுகிறது.
**பல்வகை உலோக ஆதரவு மற்றும் குறுக்கு-மாசு கட்டுப்பாடு:** வெவ்வேறு உலோக முலாம் பூசும் தொட்டிகளுக்கு இடையில் ஏற்படும் குறுக்கு-மாசுபாட்டைக் குறைப்பதற்காக, அறைக்குள்ளேயே உள்ள சுத்தப்படுத்தும் செயல்பாடுகளைப் பயன்படுத்தும் அதே வேளையில், தாமிரம், நிக்கல், தகரம்-வெள்ளி மற்றும் தங்கம் உள்ளிட்ட பல்வேறு உலோகப் பொருட்களைப் பதப்படுத்தும் நெகிழ்வுத்தன்மையையும் இது வழங்குகிறது.
**இணக்கத்தன்மை மற்றும் தானியக்கம்:** கரிம மற்றும் கண்ணாடி அடி மூலக்கூறுகள் இரண்டையும் ஆதரிக்கிறது. இதன் தானியக்க அமைப்பு, பேனல் புரட்டுதல் போன்ற முக்கியமான செயல்பாடுகள் உட்பட, பெரிய பேனல்களுக்காக குறிப்பாக உகந்ததாக்கப்பட்டுள்ளது. இது வேஃபர்-நிலை செயலாக்கத்தில் நிறுவப்பட்ட தரநிலைகளுக்கு இணையான திறமையான செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டை அடைகிறது. விரிவான விவரக்குறிப்புகள்
பொதுவில் கிடைக்கப்பெற்ற தகவல்களின் அடிப்படையில், முக்கிய விவரக்குறிப்புகள் பின்வருமாறு:
பேனல் அளவு: 510மிமீ x 515மிமீ என்ற நிலையான அளவை ஆதரிக்கிறது, மேலும் விருப்பத்தின் பேரில் 600மிமீ x 600மிமீ வரை விரிவாக்கும் வசதியும் உள்ளது.
செயல்முறை இணக்கத்தன்மை: பில்லர், பம்ப் மற்றும் மறுவிநியோக அடுக்கு (RDL) உருவாக்கம் உள்ளிட்ட பல்வேறு செயல்முறைகளில் உள்ள மின்முலாம் பூசும் படிநிலைகளை ஆதரிக்கிறது.
கொள்ளளவு கட்டமைப்பு: உகந்த செயல் திறனை உறுதி செய்வதற்காக, 16 முலாம் பூசும் அறைகள் வரையிலும், கூடுதலாக 2 முன்-ஈரமாக்கும் அறைகள் மற்றும் 2 சுத்தப்படுத்தும் அறைகள் எனவும் கட்டமைக்கக்கூடியது.
வளைவு மேலாண்மை: 7 மிமீ (சுமார் 10 மிமீ) வரையிலான வளைவு அளவுகளைக் கொண்ட பேனல்களைத் திறம்படச் செயலாக்கும் திறன் கொண்டது; இது மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளுக்கு ஒரு முக்கியமான திறனாகும்.
செயல்திறன் அளவீடுகள்:
பேனலுக்குள் சீரான தன்மை (WIWU): < 5% ((அதிகபட்சம்-குறைபட்சம்)/2சராசரி)
அச்சுக்குள்ளான சீரான தன்மை (WIDU): < 5% ((அதிகபட்சம்-குறைபட்சம்)/2சராசரி)
மீண்டும் நிகழும் தன்மை: < 3%
முக்கிய பயன்பாட்டுப் பகுதிகள்
முதன்மையாக, பின்வருவன உள்ளிட்ட ஆனால் இவை மட்டுமே அல்லாத மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் பயன்பாடுகளை இலக்காகக் கொண்டுள்ளது:
விசிறி-வெளி பேனல்-நிலை பேக்கேஜிங் (FOPLP)
தூண் மற்றும் மேடு உருவாக்கம், அத்துடன் மறுவிநியோக அடுக்கு (RDL) உருவாக்கம்
சிலிக்கான் வழிப்பாதை (TSV) மற்றும் கண்ணாடி வழிப்பாதை (TGV) நிரப்புதல்
அதிக அடர்த்தி விசிறி-வெளியீடு (HDFO) தயாரிப்புகள்
சந்தை நிலை மற்றும் போட்டி
பேனல்-லெவல் எலக்ட்ரோபிளேட்டிங்கிற்கான வளர்ந்து வரும் சந்தையில் அல்ட்ரா ECP செயலி ஒரு குறிப்பிடத்தக்க முன்னணி இடத்தைப் பிடித்துள்ளது. அதன் முதன்மைப் போட்டியாளர்கள், அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ் மற்றும் லாம் ரிசர்ச் போன்ற முக்கிய சர்வதேச குறைக்கடத்தி உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் ஆவர்; அவர்களும் பேனல்-லெவல் பேக்கேஜிங் (PLP) எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் தீர்வுகளை உருவாக்கி வருகின்றனர். இந்தத் துறையில் வணிகமயமாக்கப்பட்ட உபகரணங்களை வெற்றிகரமாக வழங்கிய முதல் நிறுவனம் என்ற வகையில், ஒரு முன்னோடியாகத் திகழ்வதே ACM-இன் முக்கிய அனுகூலமாகும்.
சுருக்கம்
சுருக்கமாக, ACM ரிசர்ச்சின் ULTRA ECP செயலியானது ஒரு தொலைநோக்கு தொழில்நுட்பத் தளமாக விளங்குகிறது. இது, மேம்பட்ட பேக்கேஜிங் துறையில் "வட்ட வடிவ வேஃபர்களில்" இருந்து "செவ்வக வடிவ பேனல்களுக்கு" மாறும் முக்கியமான மாற்றத்தில் ஒரு முக்கிய உந்துசக்தியாகச் செயல்படுவது மட்டுமல்லாமல், AI சிப்கள் போன்ற உயர்தர குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் உற்பத்தித் திறனையும் செலவுத் திறனையும் மேம்படுத்துவதற்கான புதுமையான தீர்வுகளையும் வழங்குகிறது.

