ລະບົບການຕົບແຕ່ງ ແລະ ແບບຟອມຂອງ ACM Research ULTRA ECP app-p

ULTRA ECP app-p ຂອງ ACM Research ແມ່ນລະບົບການຊຸບແປ້ງລະດັບແຜງທີ່ທັນສະໄໝ, ໂດດເດັ່ນດ້ວຍຄຸນຄ່າຫຼັກຂອງມັນ: ການຕື່ມຊ່ອງຫວ່າງຂະບວນການທີ່ສຳຄັນໃນການອຸດສາຫະກຳຂອງການຫຸ້ມຫໍ່ລະດັບແຜງແບບ Fan-Out (FOLPP).

ໃນຖານະທີ່ເປັນລະບົບການຜະລິດທອງແດງຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍທີ່ເປັນການຄ້າທຳອິດທີ່ອອກແບບມາສຳລັບຕະຫຼາດແຜງຂະໜາດໃຫຍ່, ມັນມີຈຸດປະສົງເພື່ອອຳນວຍຄວາມສະດວກໃຫ້ແກ່ການຫັນປ່ຽນທີ່ລຽບງ່າຍສຳລັບການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງຈາກລະດັບເວເຟີ 300 ມມ ໄປສູ່ລະດັບແຜງທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນຫຼາຍຂຶ້ນ. ໂດຍນຳໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການຊຸບແບບນອນທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດ, ຄວາມສະເໝີພາບທີ່ໂດດເດັ່ນ, ແລະ ການຈັດການແຜງທີ່ບິດເບືອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ລະບົບດັ່ງກ່າວບັນລຸປະສິດທິພາບການປະມວນຜົນທີ່ທຽບເທົ່າກັບຂະບວນການເວເຟີວົງມົນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງອຸປະກອນລຸ້ນຕໍ່ໄປເຊັ່ນ: AI GPUs ແລະ HBMs ທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ.

ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນພາບລວມທີ່ຄົບຖ້ວນຂອງແອັບ ULTRA ECP ເຊິ່ງລວບລວມໂດຍອີງໃສ່ຂໍ້ມູນທີ່ມີຢູ່ສາທາລະນະ:

**ການວາງຕຳແໜ່ງອຸປະກອນ**

**ຊຸດຜະລິດຕະພັນ:** ຮູບແບບລະດັບແຜງ (ap-p) ພາຍໃນແພລດຟອມ ULTRA ECP (Electrochemical Plating).

**ການຮັບຮູ້ຂອງອຸດສາຫະກໍາ:** ໄດ້ຮັບລາງວັນ "3D InCites Technology Enabling Award 2025."

**ເຕັກໂນໂລຊີຫຼັກ ແລະ ຄຸນສົມບັດຕ່າງໆ**

ຈຸດເດັ່ນດ້ານເຕັກນິກຂອງ ULTRA ECP app-p ມີດັ່ງນີ້:

**ການອອກແບບການຊຸບແບບນອນ:** ນຳໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີການຊຸບແບບນອນທີ່ໄດ້ຮັບສິດທິບັດຂອງ ACM—ແຕກຕ່າງຈາກການຊຸບແບບຕັ້ງແບບດັ້ງເດີມ—ເຊິ່ງຮັບປະກັນຄວາມສະເໝີພາບທີ່ໂດດເດັ່ນໃນຄວາມໜາຂອງການຊຸບໃນທົ່ວແຜງຜ່ານການໝຸນທີ່ກົງກັນຂອງຫົວຈູດ ແລະ ສະໜາມໄຟຟ້າຮູບສີ່ແຈສາກທີ່ໝຸນ. ວິທີການນີ້ຍັງຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນທາງເຄມີລະຫວ່າງຫ້ອງຂະບວນການໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ; ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ການອອກແບບຫ້ອງແນວນອນຊ່ວຍໃຫ້ການບຳລຸງຮັກສາຫ້ອງແຕ່ລະຫ້ອງງ່າຍຂຶ້ນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນໂດຍລວມ.

**ຮາດແວທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສຸດ:** ມີຫົວຈັບແບບແຫ້ງທີ່ປິດສະໜິດສີ່ດ້ານ, ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ຄວາມສະອາດຂອງການຈັດການແຜ່ນເວເຟີ/ແຜງ. ຫ້ອງຊຸບທອງແດງມີແຜ່ນຮອງຊຸບຄວາມໄວສູງທີ່ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບການນຳໃຊ້ທີ່ມີການກະທົບກະເທືອນສູງ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດສ້າງການກະທົບກະເທືອນທີ່ມີຄວາມສູງເກີນ 300 ໄມຄຣອນ.

**ການຮອງຮັບໂລຫະຫຼາຍຊະນິດ ແລະ ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນຂ້າມ:** ສະເໜີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນໃນການປະມວນຜົນວັດສະດຸໂລຫະຫຼາກຫຼາຍຊະນິດ - ລວມທັງທອງແດງ, ນິກເກີນ, ກົ່ວ-ເງິນ, ແລະ ຄຳ - ໃນຂະນະທີ່ນຳໃຊ້ໜ້າທີ່ທຳຄວາມສະອາດພາຍໃນຫ້ອງເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂ້າມລະຫວ່າງອ່າງຊຸບໂລຫະທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.

**ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ ແລະ ອັດຕະໂນມັດ:** ຮອງຮັບທັງຊັ້ນຮອງພື້ນອິນຊີ ແລະ ແກ້ວ. ລະບົບອັດຕະໂນມັດຂອງມັນຖືກປັບປຸງໃຫ້ດີທີ່ສຸດໂດຍສະເພາະສຳລັບແຜງຂະໜາດໃຫຍ່ - ລວມທັງການດຳເນີນງານທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ: ການພິກແຜງ - ເຊິ່ງບັນລຸລະດັບການຄວບຄຸມຂະບວນການທີ່ມີປະສິດທິພາບທຽບເທົ່າກັບມາດຕະຖານທີ່ໄດ້ກຳນົດໄວ້ໃນການປະມວນຜົນລະດັບເວເຟີ. ສະເປັກລະອຽດ

ອີງຕາມຂໍ້ມູນທີ່ມີຢູ່ສາທາລະນະ, ລາຍລະອຽດຫຼັກໆມີດັ່ງນີ້:

ຂະໜາດແຜງ: ຮອງຮັບຂະໜາດມາດຕະຖານ 510 ມມ x 515 ມມ, ພ້ອມຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍທີ່ເປັນທາງເລືອກໄດ້ເຖິງ 600 ມມ x 600 ມມ.

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງຂະບວນການ: ຮອງຮັບຂັ້ນຕອນການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າພາຍໃນຂະບວນການຕ່າງໆ, ລວມທັງການສ້າງ Pillar, Bump, ແລະ Redistribution Layer (RDL).

ການຕັ້ງຄ່າຄວາມອາດສາມາດ: ສາມາດຕັ້ງຄ່າໄດ້ດ້ວຍຫ້ອງຊຸບໄດ້ສູງສຸດ 16 ຫ້ອງ, ພ້ອມດ້ວຍຫ້ອງທີ່ປຽກກ່ອນ 2 ຫ້ອງ ແລະ ຫ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດ 2 ຫ້ອງ ເພື່ອຮັບປະກັນຜົນຜະລິດທີ່ດີທີ່ສຸດ.

ການຈັດການຄວາມບິດເບືອນ: ມີຄວາມສາມາດໃນການປະມວນຜົນແຜງທີ່ມີລະດັບຄວາມບິດເບືອນສູງເຖິງ 7 ມມ (ປະມານ 10 ມມ), ເຊິ່ງເປັນຄວາມສາມາດທີ່ສຳຄັນສຳລັບຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ຂັ້ນສູງ.

ຕົວຊີ້ວັດປະສິດທິພາບ:

ຄວາມສະເໝີພາບພາຍໃນແຜງ (WIWU): < 5% ((ສູງສຸດ-ຕໍ່າສຸດ)/2Ave.)

ຄວາມເປັນເອກະພາບພາຍໃນແມ່ພິມ (WIDU): < 5% ((ສູງສຸດ-ຕໍ່າສຸດ)/2Ave.)

ການເຮັດຊ້ຳໄດ້: <3%

ຂົງເຂດການນຳໃຊ້ຫຼັກ

ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນແນໃສ່ແອັບພລິເຄຊັນການຫຸ້ມຫໍ່ເຄິ່ງຕົວນຳຂັ້ນສູງ, ລວມທັງແຕ່ບໍ່ຈຳກັດພຽງແຕ່:

ການຫຸ້ມຫໍ່ລະດັບແຜງແບບພັດລົມອອກ (FOLPP)

ການຜະລິດເສົາ ແລະ ກ້ອນ, ພ້ອມທັງການສ້າງຊັ້ນແຈກຢາຍຄືນ (RDL)

ການຕື່ມດ້ວຍຊິລິໂຄນຜ່ານ (TSV) ແລະ ຜ່ານແກ້ວຜ່ານ (TGV)

ຜະລິດຕະພັນພັດລົມຄວາມໜາແໜ້ນສູງ (HDFO)

ຕຳແໜ່ງຕະຫຼາດ ແລະ ການແຂ່ງຂັນ

ULTRA ECP app-p ດຳລົງຕຳແໜ່ງຜູ້ນຳທີ່ສຳຄັນໃນຕະຫຼາດທີ່ພົ້ນເດັ່ນຂຶ້ນມາສຳລັບການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າລະດັບແຜງ. ຄູ່ແຂ່ງຫຼັກຂອງມັນແມ່ນຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳລະດັບສາກົນທີ່ສຳຄັນເຊັ່ນ Applied Materials ແລະ Lam Research ເຊິ່ງກຳລັງພັດທະນາວິທີແກ້ໄຂການຊຸບດ້ວຍໄຟຟ້າລະດັບແຜງ (PLP). ຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສຳຄັນຂອງ ACM ແມ່ນຢູ່ໃນສະຖານະພາບຂອງຕົນໃນຖານະເປັນຜູ້ບຸກເບີກ, ໂດຍເປັນຜູ້ທຳອິດທີ່ປະສົບຜົນສຳເລັດໃນການສົ່ງມອບອຸປະກອນການຄ້າໃນຂົງເຂດນີ້.

ສະຫຼຸບ

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ULTRA ECP app-p ຂອງ ACM Research ເປັນຕົວແທນຂອງແພລດຟອມເຕັກໂນໂລຊີທີ່ມອງໄປຂ້າງໜ້າ. ມັນບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຕົວກະຕຸ້ນທີ່ສຳຄັນໃນການຫັນປ່ຽນທີ່ສຳຄັນຂອງອຸດສາຫະກຳການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ກ້າວໜ້າຈາກ "ແຜ່ນຮູບວົງມົນ" ໄປສູ່ "ແຜ່ນຮູບສີ່ແຈສາກ" ເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງໃຫ້ວິທີແກ້ໄຂທີ່ມີນະວັດຕະກຳເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດ ແລະ ປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳລະດັບສູງ, ເຊັ່ນ: ຊິບ AI.