دستگاه ASM AFC Plus یک دستگاه اتصالدهنده فلیپ چیپ با فناوری پیشرفته و دقت فوقالعاده بالا است. در عمل، این دستگاه به عنوان یک سیستم دو منظوره همه کاره - که قادر به اتصال قالب استاندارد و اتصال فلیپ چیپ است - عمل میکند و به دلیل دقت پایدار ±1.0 میکرومتر و سازگاری قوی با فرآیند، مشهور است. این دستگاه انتخابی بسیار محبوب برای کاربردهای تحقیق و توسعه و تولید کم حجم محصولات رده بالا است.
مشخصات هسته: دقت بالا و چند منظوره
ویژگی | شرح مفصل
نوع دستگاه | دستگاه اتصال دهنده قالبی / اتصال دهنده چیپ چرخشی تمام اتوماتیک
دقت هسته | دقت ترازبندی/جایگذاری: ±1.0 میکرومتر @ 3σ
زمان چرخه (به ازای هر قالب) | تقریباً <15 ثانیه
اندازه قالب | پشتیبانی از طیف بسیار گسترده: از 0.1 میلیمتر تا 20 میلیمتر
اندازه زیرلایه/ویفر | قابلیت کار با زیرلایهها یا ویفرها تا ابعاد 300 در 300 میلیمتر
محدوده نیروی چسبندگی | کاملاً قابل کنترل، از 10 گرم تا 2 کیلوگرم
فرآیندهای سازگار | - پیوند یوتکتیک
- توزیع اپوکسی
- پخت با اشعه ماوراء بنفش
- باندینگ لیزری
روش همترازی | پیکربندی استاندارد دارای همترازی غیرفعال است؛ بنا به درخواست قابل ارتقا به همترازی فعال است.
انعطافپذیری آن چگونه نشان داده میشود؟
کلید AFC Plus در طراحی ماژولار آن نهفته است: این دستگاه میتواند به عنوان یک دستگاه اتصال قالبی استاندارد عمل کند، اما میتوان آن را طوری پیکربندی کرد که به عنوان یک دستگاه اتصال تراشهای فلیپچیپ نیز عمل کند.
ادغام کلید: مؤلفه اصلی که قابلیت تراشه چرخان را فراهم میکند، ماژول "گزینه تراشه چرخان" است. این ماژول به سیستم اجازه میدهد تا تراشه را بچرخاند و آن را با سمت فعال خود رو به پایین قرار دهد.
سازگاری با مواد: از طیف گستردهای از فرآیندهای اتصال - از جمله یوتکتیک، تزریق اپوکسی، پخت UV و اتصال لیزری - پشتیبانی میکند و مواد مختلف فلیپ چیپ را در خود جای میدهد.
تطبیقپذیری بالا: درجه بالای مدولار بودن و انعطافپذیری آن، آن را به یکی از تطبیقپذیرترین دستگاههای اتصال قالب موجود در بازار تبدیل کرده است که قادر به پوشش طیف گستردهای از سناریوهای مونتاژ، از اتصال قالب به ویفر گرفته تا اتصال قالب به زیرلایه است. حوزههای کاربرد اصلی
AFC Plus با بهرهگیری از دقت فوقالعاده بالا و انعطافپذیری فرآیندی خود، در درجه اول به کاربردهای با ارزش بالا با الزامات سختگیرانه برای کیفیت اتصال خدمات ارائه میدهد:
سیلیکون فوتونیک: دارای سابقه درخشان در زمینههای پیشرفتهای مانند فرستنده-گیرندههای ارتباط نوری و موتورهای نوری است.
بستهبندی پیشرفته: مناسب برای کاربردهای بستهبندی نیمههادیهای رده بالا، از جمله ادغام سهبعدی و چیدمان قالب.
MEMS (سیستمهای میکروالکترومکانیکی): مونتاژ دقیق حسگرهایی مانند شتابسنجها و ژیروسکوپها را امکانپذیر میکند.
دستگاههای نوری: شامل دستگاههای LiDAR، VCSEL، WDM (مالتیپلکسینگ تقسیم طول موج)، میکرولنزها و موارد دیگر میشود.
تحقیق و توسعه و نمونهسازی: به دلیل انعطافپذیری و دقت استثنایی، به طور گسترده در مراکز تحقیقاتی پیشرفته و آزمایشگاههای دانشگاهی متعدد مورد استفاده قرار میگیرد.
به طور خلاصه، سناریوهای کاربردی AFC Plus به طور قابل توجهی با سناریوهای کاربردی SHIBAURA TFC-9000 که قبلاً مورد بحث قرار گرفت، متفاوت است: در حالی که TFC-9000 برای تولید انبوه در مقیاس بزرگ مناسب است، AFC Plus در تولید با دقت بسیار بالا، ترکیب بالا و انعطافپذیر تخصص دارد - که آن را به ابزاری ایدهآل برای تحقیق و توسعه و تولید بستهبندی پیشرفته و دستگاههای اپتوالکترونیکی پیشرفته تبدیل میکند.





