دستگاه AMICRA NANO ساخت شرکت ASM یک دستگاه اتصالدهندهی تراشهایِ پیشرفته و فوقالعاده دقیق است. در واقع، این دستگاه فقط یک دستگاه اتصالدهندهی تراشهایِ ساده نیست، بلکه دستگاهی است که هر دو عملکرد اتصال قالبی و اتصال تراشهایِ تاشو را با هم ترکیب میکند و به طور انعطافپذیری فرآیندهای اتصال متنوع را مدیریت میکند.
ویژگیها و مشخصات فنی هسته AMICRA NANO
ویژگیها شرح مفصل
نوع تجهیزات: دستگاه اتصال دهنده قالبی/تراشه ای فوق دقیق
دقت هسته: دقت جایگذاری/همترازی: ±۰.۲ میکرومتر @ ۳σ
روشهای اتصال: اتصال هیبریدی، اتصال یوتکتیک، اتصال لیزری، اتصال ترموستاتیک (TCB)، پخت با اشعه ماوراء بنفش
محدوده فشار اتصال: 0.1 نیوتن تا 20 نیوتن (تقریباً 10 گرم تا 2 کیلوگرم)
اندازه تراشه: تراشههای بسیار کوچک، مثلاً 0.1 میلیمتر در 0.1 میلیمتر را مدیریت میکند
اندازه سطح: سطوحی تا ابعاد 300 میلیمتر در 300 میلیمتر را پوشش میدهد.
نرخ تولید (UPH): تقریباً 200-400 چیپس در ساعت
سیستم عامل: رابط کاربری ویندوز
ابعاد تجهیزات: فقط فضای اشغالی ۲.۲۳ در ۱.۰ متر (تقریباً ۷.۳ در ۳.۳ فوت)
محیط فرآیند مجهز به فیلترهای HEPA و ژنراتور یون، محیطی با خلوص بالا در اتاق تمیز را تضمین میکند.
جزئیات فنی بیشتر و مقایسه با مدلهای مشابه
اصل
دقت فوقالعادهی AMICRA NANO از طراحی منحصر به فرد آن ناشی میشود: چهار سیستم تصویربرداری با وضوح بالا به یک پایه گرانیتی طبیعی ثابت شدهاند، در حالی که سایر سیستمهای کنترل حرکت در اطراف این دوربینهای ثابت حرکت میکنند. این سیستم در ترکیب با میرایی فعال ارتعاش و یک سیستم تراز پویا، قرارگیری دقیق را تضمین میکند.
زمینههای کاربرد
این دستگاه برای کاربردهای بستهبندی پیشرفته با الزامات دقت بسیار بالا، به ویژه در فوتونیک سیلیکونی، بستهبندی دستگاههای نوری، تراشه به ویفر و ادغام مدار مجتمع 2.5D/3D، طراحی شده است.
مزایای فرآیند
علاوه بر دقت بسیار بالای قرارگیری، AMICRA NANO از فرآیندهای اتصال یوتکتیک AuSn با سرعت بالا نیز پشتیبانی میکند و دارای قابلیتهای اتصال یوتکتیک درجا است که به طور مؤثر باعث بهبود توان عملیاتی و کیفیت اتصال میشود.
سایر مدلهای مشتق
علاوه بر NANO، سری ASMPT AMICRA شامل موارد زیر نیز میشود:
NOVA Pro: همچنین از اتصال تراشه فلیپ با دقت ±1.0 میکرومتر پشتیبانی میکند و تعادلی بین سرعت و دقت ایجاد میکند.
AFC Plus: این یک دستگاه اتصال قالبی همه منظوره با دقت ±1.5 میکرومتر است که برای تکمیل سری پیشرفته NANO طراحی شده است.
به طور خلاصه، ASM AMICRA NANO برای برآورده کردن سختترین الزامات بستهبندی طراحی شده است. برخلاف تجهیزاتی که اولویت را به کارایی میدهند، این دستگاه بر دستیابی به دقت بسیار بالای ±0.2 میکرومتر تمرکز دارد و به تحقیق و توسعه و تولید پیشرفته با ترکیب بالا و حجم کم در زمینههای پیشرفتهای مانند فوتونیک سیلیکونی و محاسبات هوش مصنوعی خدمت میکند.





