Lepicí stroj ASM Flip Chip AMICRA NANO

AMICRA NANO od společnosti ASM je špičkový, ultra přesný spojovací stroj typu „flip-chip“. Ve skutečnosti se nejedná jen o jednoduchý spojovací stroj typu „flip-chip“, ale o zařízení, které kombinuje funkce spojování matricemi i „flip-chip“ a flexibilně zvládá různé procesy spojování.

Základní vlastnosti a technické specifikace AMICRA NANO

Podrobný popis funkcí

Typ zařízení: Ultrapřesný stroj na lepení matrice / stroj na lepení třísek

Přesnost jádra: Přesnost umístění/zarovnání: ±0,2 µm při 3σ

Metody lepení: Hybridní lepení, Eutektické lepení, Laserové lepení, Termostatické lepení (TCB), UV vytvrzování

Rozsah lepícího tlaku: 0,1 N až 20 N (přibližně 10 g až 2 kg)

Velikost třísky: Zpracovává extrémně malé třísky, např. 0,1 mm x 0,1 mm

Velikost substrátu: Zvládne substráty do rozměrů 300 mm x 300 mm

Produktivita (UPH): Přibližně 200–400 třísek za hodinu

Operační systém: Rozhraní Windows

Rozměry zařízení: Pouze půdorys 2,23 x 1,0 m (cca 7,3 x 3,3 stopy)

Procesní prostředí Vybaveno HEPA filtry a generátorem iontů, což zajišťuje vysoce čisté prostředí čistého prostoru.

Více technických detailů a srovnání s podobnými modely

Princip

Extrémní přesnost kamery AMICRA NANO pramení z její unikátní konstrukce: čtyři systémy pro zobrazování s vysokým rozlišením jsou upevněny k základně z přírodní žuly, zatímco další systémy řízení pohybu se pohybují kolem těchto pevných kamer. V kombinaci s aktivním tlumením vibrací a systémem dynamického zarovnání to zajišťuje přesné umístění.

Oblasti použití

Je navržen pro pokročilé aplikace v oblasti balení s extrémně vysokými požadavky na přesnost, zejména pro křemíkovou fotoniku, balení optických součástek, technologii čip-wafer a integraci integrovaných obvodů 2,5D/3D.

Výhody procesu

Kromě extrémně vysoké přesnosti umístění podporuje AMICRA NANO také vysokorychlostní eutektické spojování AuSn a má schopnosti eutektického spojování in situ, což efektivně zlepšuje propustnost a kvalitu spojení.

Další derivační modely

Kromě NANO zahrnuje řada ASMPT AMICRA také:

NOVA Pro: Podporuje také flip-chip bonding s přesností ±1,0 µm, čímž dosahuje rovnováhy mezi rychlostí a přesností.

AFC Plus: Jedná se o univerzální spojovací stroj s přesností ±1,5 µm, navržený jako doplněk k špičkové řadě NANO.

Stručně řečeno, ASM AMICRA NANO je navržena tak, aby splňovala nejnáročnější požadavky na balení. Na rozdíl od zařízení, která upřednostňují efektivitu, se zaměřuje na dosažení extrémní přesnosti ±0,2 µm a slouží výzkumu a vývoji a pokročilé výrobě s vysokým složením a nízkým objemem v nejmodernějších oblastech, jako je křemíková fotonika a výpočetní technika s využitím umělé inteligence.