ASM flip-chip bonder AMICRA NANO

ASM:n AMICRA NANO on huippuluokan, erittäin tarkka flip-chip-bonder. Itse asiassa se ei ole vain yksinkertainen flip-chip-bonder, vaan laite, joka yhdistää sekä sirujen että flip-chip-bondingin, joten se pystyy joustavasti käsittelemään erilaisia ​​liimausprosesseja.

AMICRA NANO:n ydinominaisuudet ja tekniset tiedot

Ominaisuuksien yksityiskohtainen kuvaus

Laitetyyppi: Erittäin tarkka muottiliimauslaite / Flip Chip -liimauslaite

Ytimen tarkkuus: Sijoitus-/kohdistustarkkuus: ±0,2 µm @ 3σ

Liimausmenetelmät: Hybridiliimaus, eutektinen liimaus, laserliimaus, termostaattinen liimaus (TCB), UV-kovetus

Liimauspainealue: 0,1 N - 20 N (noin 10 g - 2 kg)

Sirun koko: Käsittelee erittäin pieniä siruja, esim. 0,1 mm x 0,1 mm

Alustan koko: Käsittelee jopa 300 mm x 300 mm:n kokoisia alustoja

Tuotantonopeus (UPH): Noin 200–400 sirua tunnissa

Käyttöjärjestelmä: Windows-käyttöliittymä

Laitteen mitat: Vain pohjapinta-ala 2,23 x 1,0 m (noin 7,3 x 3,3 jalkaa)

Prosessiympäristö Varustettu HEPA-suodattimilla ja ionigeneraattorilla, jotka takaavat erittäin puhtaan puhdastilan.

Lisää teknisiä tietoja ja vertailua vastaaviin malleihin

Periaate

AMICRA NANO:n äärimmäinen tarkkuus johtuu sen ainutlaatuisesta suunnittelusta: neljä korkean resoluution kuvantamisjärjestelmää on kiinnitetty luonnongraniittijalustaan, kun taas muut liikkeenohjausjärjestelmät liikkuvat näiden kiinteiden kameroiden ympärillä. Yhdessä aktiivisen tärinänvaimennuksen ja dynaamisen kohdistusjärjestelmän kanssa tämä varmistaa tarkan sijoittelun.

Sovellusalueet

Se on suunniteltu edistyneisiin pakkaussovelluksiin, joissa vaaditaan erittäin korkeita tarkkuusvaatimuksia, ja se soveltuu erityisesti piifotoniikkaan, optisten laitteiden pakkaamiseen, sirusta kiekkoon -teknologiaan ja 2,5D/3D-IC-integraatioon.

Prosessin edut

Erittäin korkean sijoitustarkkuuden lisäksi AMICRA NANO tukee myös nopeita AuSn-eutektisia liimausprosesseja ja sillä on in-situ-eutektisen liimauksen ominaisuudet, mikä parantaa tehokkaasti läpivirtausta ja liitoksen laatua.

Muut johdannaismallit

NANO-mallin lisäksi ASMPT AMICRA -sarjaan kuuluvat myös:

NOVA Pro: Tukee myös flip-chip-liitosta ±1,0 µm:n tarkkuudella, mikä takaa tasapainon nopeuden ja tarkkuuden välillä.

AFC Plus: Tämä on yleiskäyttöinen muottiliimauslaite, jonka tarkkuus on ±1,5 µm ja joka on suunniteltu täydentämään huippuluokan NANO-sarjaa.

Yhteenvetona voidaan todeta, että ASM AMICRA NANO on suunniteltu täyttämään vaativimmatkin pakkausvaatimukset. Toisin kuin tehokkuutta priorisoivat laitteet, se keskittyy äärimmäisen ±0,2 µm:n tarkkuuden saavuttamiseen ja palvelee tutkimus- ja kehitystyötä sekä laajamittaista, pienimuotoista edistynyttä tuotantoa huippualoilla, kuten piifotoniikassa ja tekoälylaskennassa.