ASM flip chip bonder AMICRA NANO

AMICRA NANO od spoločnosti ASM je špičkové, ultra presné zariadenie na spájanie čipov metódou flip-chip. V skutočnosti to nie je len jednoduché zariadenie na spájanie čipov metódou flip-chip, ale zariadenie, ktoré kombinuje funkcie spájania matrice aj flip-chip, čím flexibilne zvláda rôzne procesy spájania.

Základné vlastnosti a technické špecifikácie AMICRA NANO

Podrobný popis funkcií

Typ zariadenia: Ultrapresný stroj na lepenie matricou / stroj na lepenie flip-chips

Presnosť jadra: Presnosť umiestnenia/zarovnania: ±0,2 µm pri 3σ

Metódy lepenia: Hybridné lepenie, Eutektické lepenie, Laserové lepenie, Termostatické lepenie (TCB), UV vytvrdzovanie

Rozsah lepiaceho tlaku: 0,1 N až 20 N (približne 10 g až 2 kg)

Veľkosť triesky: Spracováva extrémne malé triesky, napr. 0,1 mm x 0,1 mm

Veľkosť substrátu: Zvládne substráty do rozmerov 300 mm x 300 mm

Produktivita (UPH): Približne 200 – 400 triesok za hodinu

Operačný systém: Rozhranie Windows

Rozmery zariadenia: Iba pôdorys 2,23 x 1,0 m (približne 7,3 x 3,3 stopy)

Procesné prostredie Vybavené HEPA filtrami a generátorom iónov, ktoré zabezpečujú vysoko čisté prostredie čistej miestnosti.

Viac technických detailov a porovnanie s podobnými modelmi

Princíp

Extrémna presnosť kamery AMICRA NANO pramení z jej jedinečného dizajnu: štyri systémy na zobrazovanie s vysokým rozlíšením sú upevnené na základni z prírodného žulu, zatiaľ čo ďalšie systémy riadenia pohybu sa pohybujú okolo týchto pevných kamier. V kombinácii s aktívnym tlmením vibrácií a systémom dynamického zarovnávania to zaisťuje presné umiestnenie.

Oblasti použitia

Je navrhnutý pre pokročilé aplikácie balenia s extrémne vysokými požiadavkami na presnosť, pričom vyniká najmä v kremíkovej fotonike, balení optických zariadení, prepojení čip-doštička a integrácii 2,5D/3D integrovaných obvodov.

Výhody procesu

Okrem extrémne vysokej presnosti umiestnenia podporuje AMICRA NANO aj vysokorýchlostné eutektické spájacie procesy AuSn a má možnosti eutektického spájania in situ, čím efektívne zlepšuje priepustnosť a kvalitu pripojenia.

Iné derivačné modely

Okrem NANO obsahuje séria ASMPT AMICRA aj:

NOVA Pro: Podporuje tiež flip-chip bonding s presnosťou ±1,0 µm, čím dosahuje rovnováhu medzi rýchlosťou a presnosťou.

AFC Plus: Ide o univerzálny stroj na lepenie matríc s presnosťou ±1,5 µm, navrhnutý ako doplnok k špičkovej sérii NANO.

Stručne povedané, ASM AMICRA NANO je navrhnutý tak, aby spĺňal najnáročnejšie požiadavky na balenie. Na rozdiel od zariadení, ktoré uprednostňujú efektívnosť, sa zameriava na dosiahnutie extrémnej presnosti ±0,2 µm, čo slúži výskumu a vývoju a pokročilej výrobe s vysokým počtom zmiešaných materiálov a nízkym objemom v špičkových oblastiach, ako je kremíková fotonika a výpočtová technika s využitím umelej inteligencie.