ASM uređaj za lijepljenje isječaka AMICRA NANO

ASM-ov AMICRA NANO je vrhunski, ultra-visokoprecizni uređaj za spajanje čipova. Zapravo, to nije samo jednostavan uređaj za spajanje čipova, već uređaj koji kombinira funkcije spajanja matrica i spajanja čipova, fleksibilno rukujući različitim procesima spajanja.

Osnovne značajke i tehničke specifikacije AMICRA NANO-a

Detaljan opis značajki

Vrsta opreme: Ultraprecizni stroj za lijepljenje kalupa / stroj za lijepljenje s preklopnim strugotinama

Točnost jezgre: Točnost postavljanja/poravnanja: ±0,2 µm @ 3σ

Metode lijepljenja: Hibridno lijepljenje, Eutektičko lijepljenje, Lasersko lijepljenje, Termostatsko lijepljenje (TCB), UV stvrdnjavanje

Raspon tlaka lijepljenja: 0,1 N do 20 N (otprilike 10 g do 2 kg)

Veličina čipa: Obrađuje izuzetno male čipove, npr. 0,1 mm x 0,1 mm

Veličina podloge: Podnosi podloge do 300 mm x 300 mm

Brzina proizvodnje (UPH): cca. 200-400 čipova na sat

Operativni sustav: Windows sučelje

Dimenzije opreme: Samo tlocrt 2,23 x 1,0 m (cca. 7,3 x 3,3 ft)

Procesno okruženje Opremljeno HEPA filterima i generatorom iona, osigurava visokočisto okruženje čiste sobe.

Više tehničkih detalja i usporedba sa sličnim modelima

Načelo

Iznimna preciznost AMICRA NANO kamere proizlazi iz njezinog jedinstvenog dizajna: četiri sustava za snimanje visoke rezolucije pričvršćena su na prirodnu granitnu podlogu, dok se drugi sustavi za kontrolu kretanja kreću oko ovih fiksnih kamera. U kombinaciji s aktivnim prigušenjem vibracija i sustavom dinamičkog poravnanja, to osigurava precizno postavljanje.

Područja primjene

Dizajniran je za napredne primjene pakiranja s izuzetno visokim zahtjevima za preciznost, a posebno se ističe u silicijskoj fotonici, pakiranju optičkih uređaja, integraciji čipova i pločica te 2.5D/3D IC integraciji.

Prednosti procesa

Osim iznimno visoke točnosti postavljanja, AMICRA NANO također podržava brze procese eutektičkog spajanja AuSn i ima mogućnosti eutektičkog spajanja in situ, učinkovito poboljšavajući protok i kvalitetu veze.

Drugi derivativni modeli

Osim NANO-a, serija ASMPT AMICRA također uključuje:

NOVA Pro: Također podržava spajanje flip-chipova s ​​točnošću od ±1,0 µm, postižući ravnotežu između brzine i točnosti.

AFC Plus: Ovo je univerzalni stroj za lijepljenje kalupa s točnošću od ±1,5 µm, dizajniran kao nadopuna vrhunskoj NANO seriji.

Ukratko, ASM AMICRA NANO dizajniran je kako bi zadovoljio najzahtjevnije zahtjeve pakiranja. Za razliku od opreme koja daje prioritet učinkovitosti, on se fokusira na postizanje ekstremne točnosti od ±0,2 µm, služeći istraživanju i razvoju te naprednoj proizvodnji visokog miješanja i malog obima u najsuvremenijim područjima kao što su silicijska fotonika i umjetna inteligencija.