Urządzenie do łączenia chipów typu flip chip firmy ASM AMICRA NANO

AMICRA NANO firmy ASM to najwyższej klasy, ultraprecyzyjna spawarka flip-chip. W rzeczywistości nie jest to zwykła spawarka flip-chip, ale urządzenie łączące funkcje klejenia matryc i flip-chip, elastycznie obsługujące różnorodne procesy klejenia.

Główne cechy i specyfikacje techniczne AMICRA NANO

Szczegółowy opis funkcji

Typ urządzenia: Ultraprecyzyjna maszyna do klejenia matryc / maszyna do klejenia chipów typu Flip Chip

Dokładność rdzenia: Dokładność umiejscowienia/wyrównania: ±0,2 µm @ 3σ

Metody łączenia: łączenie hybrydowe, łączenie eutektyczne, łączenie laserowe, łączenie termostatyczne (TCB), utwardzanie UV

Zakres nacisku wiązania: od 0,1 N do 20 N (ok. 10 g do 2 kg)

Rozmiar chipa: Obsługuje wyjątkowo małe chipy, np. 0,1 mm x 0,1 mm

Rozmiar podłoża: Obsługuje podłoża o wymiarach do 300 mm x 300 mm

Szybkość produkcji (UPH): ok. 200–400 wiórów na godzinę

System operacyjny: Interfejs Windows

Wymiary sprzętu: tylko powierzchnia podstawy 2,23 x 1,0 m (ok. 7,3 x 3,3 stopy)

Środowisko procesowe Wyposażone w filtry HEPA i generator jonów, co zapewnia wysoką czystość środowiska pomieszczenia czystego.

Więcej szczegółów technicznych i porównanie z podobnymi modelami

Zasada

Niezwykła precyzja kamery AMICRA NANO wynika z jej unikalnej konstrukcji: cztery systemy obrazowania o wysokiej rozdzielczości są zamocowane na naturalnej granitowej podstawie, a pozostałe systemy sterowania ruchem poruszają się wokół tych kamer. W połączeniu z aktywnym tłumieniem drgań i dynamicznym systemem regulacji, zapewnia to precyzyjne ustawienie.

Obszary zastosowań

Jest on przeznaczony do zaawansowanych zastosowań w obudowach, w których wymagane są niezwykle wysokie wymagania dotyczące precyzji. W szczególności sprawdza się w fotonice krzemowej, obudowach urządzeń optycznych, integracji układów scalonych z płytkami oraz integracji układów scalonych 2,5D/3D.

Zalety procesu

Oprócz wyjątkowo wysokiej dokładności rozmieszczania, AMICRA NANO obsługuje również szybkie procesy łączenia eutektycznego AuSn i posiada możliwości łączenia eutektycznego in-situ, co skutecznie zwiększa przepustowość i jakość połączenia.

Inne modele pochodne

Oprócz NANO seria ASMPT AMICRA obejmuje również:

NOVA Pro: Obsługuje także łączenie układów typu flip-chip z dokładnością ±1,0 µm, zapewniając równowagę między szybkością i dokładnością.

AFC Plus: Uniwersalne urządzenie do łączenia matryc o dokładności ±1,5 µm, zaprojektowane jako uzupełnienie najwyższej klasy serii NANO.

Podsumowując, ASM AMICRA NANO został zaprojektowany, aby sprostać najbardziej wymagającym wymaganiom w zakresie pakowania. W przeciwieństwie do urządzeń, które stawiają na wydajność, koncentruje się na osiągnięciu ekstremalnej dokładności ±0,2 µm, obsługując badania i rozwój oraz zaawansowaną produkcję niskoseryjną i o dużym zróżnicowaniu w najnowocześniejszych dziedzinach, takich jak fotonika krzemowa i obliczenia AI.