ASM машина за свързване с обратна стружка AMICRA NANO

AMICRA NANO на ASM е първокласен, ултрависокопрецизен flip-chip bonder. Всъщност, това не е просто flip-chip bonder, а устройство, което комбинира функциите както за свързване чрез матрици, така и за flip-chip bonder, като гъвкаво се справя с разнообразни процеси на свързване.

Основни характеристики и технически спецификации на AMICRA NANO

Подробно описание на характеристиките

Тип оборудване: Ултрапрецизен щанцов апарат / апарат за сглобяване с обратна стружка

Точност на ядрото: Точност на поставяне/подравняване: ±0,2 µm @ 3σ

Методи на свързване: Хибридно свързване, Евтектично свързване, Лазерно свързване, Термостатично свързване (TCB), UV втвърдяване

Диапазон на налягане на залепване: от 0,1 N до 20 N (приблизително от 10 g до 2 kg)

Размер на чипа: Работи с изключително малки чипове, например 0,1 мм x 0,1 мм

Размер на основата: Подходящ за основи с размери до 300 мм x 300 мм

Производителност (UPH): Приблизително 200-400 чипа на час

Операционна система: Windows интерфейс

Размери на оборудването: Само основа 2,23 x 1,0 м (приблизително 7,3 x 3,3 фута)

Процесна среда Оборудвана с HEPA филтри и йонен генератор, осигуряваща чиста среда с висока чистота.

Повече технически подробности и сравнение с подобни модели

Принцип

Изключителната прецизност на AMICRA NANO произтича от уникалния ѝ дизайн: четири системи за изображения с висока резолюция са фиксирани към основа от естествен гранит, докато други системи за контрол на движението се движат около тези фиксирани камери. В комбинация с активно амортизиране на вибрациите и система за динамично подравняване, това осигурява точно позициониране.

Области на приложение

Той е проектиран за усъвършенствани приложения за опаковане с изключително високи изисквания за прецизност, като се отличава особено в силициевата фотоника, опаковането на оптични устройства, чип-към-пластмаса и 2.5D/3D интеграция на интегрални схеми.

Предимства на процеса

В допълнение към изключително високата точност на поставяне, AMICRA NANO поддържа и високоскоростни процеси на евтектично свързване AuSn и има възможности за евтектично свързване in situ, като ефективно подобрява пропускателната способност и качеството на връзката.

Други производни модели

Освен NANO, серията ASMPT AMICRA включва също:

NOVA Pro: Поддържа и свързване чрез обръщане на чипове с точност от ±1,0 µm, постигайки баланс между скорост и точност.

AFC Plus: Това е универсална машина за свързване на матрици с точност от ±1,5 µm, предназначена да допълни високия клас серия NANO.

В обобщение, ASM AMICRA NANO е проектирана да отговори на най-взискателните изисквания за опаковане. За разлика от оборудването, което дава приоритет на ефективността, тя се фокусира върху постигането на изключителна точност от ±0,2 µm, обслужвайки научноизследователска и развойна дейност и високопроизводително, нискообемно производство в авангардни области като силициева фотоника и изчисления с изкуствен интелект.