ASM flip chip bonder AMICRA NANO

ASM:s AMICRA NANO är en förstklassig flip-chip-bonder med ultrahög precision. Det är faktiskt inte bara en enkel flip-chip-bonder, utan en enhet som kombinerar både die-bonding och flip-chip-bonding, och flexibelt hanterar olika bindningsprocesser.

AMICRA NANO Kärnfunktioner och tekniska specifikationer

Funktioner Detaljerad beskrivning

Utrustningstyp: Ultraprecisionsformbindare / Flip Chip Bonder

Kärnnoggrannhet: Placerings-/justeringsnoggrannhet: ±0,2 µm @ 3σ

Bindningsmetoder: Hybridbindning, eutektisk bindning, laserbindning, termostatisk bindning (TCB), UV-härdning

Bindningstryckområde: 0,1 N till 20 N (ca 10 g till 2 kg)

Chipstorlek: Hanterar extremt små chips, t.ex. 0,1 mm x 0,1 mm

Substratstorlek: Hanterar substrat upp till 300 mm x 300 mm

Produktionshastighet (UPH): Cirka 200–400 flisor per timme

Operativsystem: Windows-gränssnitt

Utrustningsmått: Endast fotavtryck 2,23 x 1,0 m (ca 7,3 x 3,3 fot)

Processmiljö Utrustad med HEPA-filter och en jongenerator, vilket säkerställer en renrumsmiljö med hög renhet.

Mer tekniska detaljer och jämförelse med liknande modeller

Princip

AMICRA NANOs extrema precision kommer från dess unika design: fyra högupplösta bildsystem är fästa vid en naturlig granitbas, medan andra rörelsekontrollsystem rör sig runt dessa fasta kameror. Kombinerat med aktiv vibrationsdämpning och ett dynamiskt justeringssystem säkerställer detta exakt placering.

Användningsområden

Den är utformad för avancerade förpackningsapplikationer med extremt höga precisionskrav, särskilt inom kiselfotonik, kapsling av optiska enheter, chip-till-wafer och 2,5D/3D IC-integration.

Processfördelar

Förutom extremt hög placeringsnoggrannhet stöder AMICRA NANO även höghastighets eutektiska bindningsprocesser för AuSn och har in situ eutektisk bindning, vilket effektivt förbättrar genomströmning och anslutningskvalitet.

Andra derivatmodeller

Förutom NANO inkluderar ASMPT AMICRA-serien även:

NOVA Pro: Stöder även flip-chip-bonding med en noggrannhet på ±1,0 µm, vilket uppnår en balans mellan hastighet och noggrannhet.

AFC Plus: Detta är en universallimningsmaskin med en noggrannhet på ±1,5 µm, utformad för att komplettera den avancerade NANO-serien.

Sammanfattningsvis är ASM AMICRA NANO utformad för att möta de mest krävande förpackningskraven. Till skillnad från utrustning som prioriterar effektivitet fokuserar den på att uppnå en extrem noggrannhet på ±0,2 µm, och används för forskning och utveckling samt avancerad produktion i låg volym och hög mix inom banbrytande områden som kiselfotonik och AI-beräkning.