เครื่องเชื่อมฟลิปชิป ASM AMICRA NANO

AMICRA NANO ของ ASM เป็นเครื่องเชื่อมชิปแบบฟลิปชิปที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษและเป็นผลิตภัณฑ์ระดับแนวหน้า ที่จริงแล้ว มันไม่ใช่แค่เครื่องเชื่อมชิปแบบธรรมดา แต่เป็นอุปกรณ์ที่รวมฟังก์ชันการเชื่อมชิปแบบไดและการเชื่อมชิปแบบฟลิปชิปเข้าไว้ด้วยกัน ทำให้สามารถรองรับกระบวนการเชื่อมที่หลากหลายได้อย่างยืดหยุ่น

คุณสมบัติหลักและข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคของ AMICRA NANO

คำอธิบายคุณสมบัติโดยละเอียด

ประเภทอุปกรณ์: เครื่องเชื่อมชิปความแม่นยำสูงพิเศษ / เครื่องเชื่อมฟลิปชิป

ความแม่นยำหลัก: ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง/การจัดแนว: ±0.2 µm @ 3σ

วิธีการยึดติด: การยึดติดแบบไฮบริด, การยึดติดแบบยูเทคติก, การยึดติดด้วยเลเซอร์, การยึดติดแบบเทอร์โมสแตติก (TCB), การบ่มด้วยรังสียูวี

ช่วงแรงยึดติด: 0.1 นิวตัน ถึง 20 นิวตัน (ประมาณ 10 กรัม ถึง 2 กิโลกรัม)

ขนาดชิป: รองรับชิปขนาดเล็กมาก เช่น 0.1 มม. x 0.1 มม.

ขนาดวัสดุรองรับ: รองรับวัสดุรองรับขนาดสูงสุด 300 มม. x 300 มม.

อัตราการผลิต (UPH): ประมาณ 200-400 ชิ้นต่อชั่วโมง

ระบบปฏิบัติการ: Windows อินเทอร์เฟซ

ขนาดของอุปกรณ์: พื้นที่ติดตั้งเพียง 2.23 x 1.0 เมตร (ประมาณ 7.3 x 3.3 ฟุต)

สภาพแวดล้อมในกระบวนการผลิต ติดตั้งตัวกรอง HEPA และเครื่องกำเนิดไอออน เพื่อให้มั่นใจได้ว่าสภาพแวดล้อมในห้องปลอดเชื้อมีความบริสุทธิ์สูง

รายละเอียดทางเทคนิคเพิ่มเติมและการเปรียบเทียบกับรุ่นที่คล้ายกัน

หลักการ

ความแม่นยำสูงของ AMICRA NANO เกิดจากการออกแบบที่เป็นเอกลักษณ์: ระบบถ่ายภาพความละเอียดสูงสี่ระบบถูกยึดติดกับฐานหินแกรนิตธรรมชาติ ในขณะที่ระบบควบคุมการเคลื่อนไหวอื่นๆ จะเคลื่อนที่ไปรอบๆ กล้องที่ติดตั้งอยู่กับที่เหล่านี้ เมื่อรวมกับการลดแรงสั่นสะเทือนแบบแอคทีฟและระบบจัดตำแหน่งแบบไดนามิก จึงมั่นใจได้ว่าการวางตำแหน่งจะแม่นยำ

ขอบเขตการใช้งาน

ได้รับการออกแบบมาเพื่อการใช้งานด้านบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในด้านซิลิคอนโฟโตนิกส์ การบรรจุอุปกรณ์ทางแสง การส่งชิปไปยังเวเฟอร์ และการรวมวงจร IC แบบ 2.5D/3D

ข้อดีของกระบวนการ

นอกจากความแม่นยำในการวางตำแหน่งที่สูงมากแล้ว AMICRA NANO ยังรองรับกระบวนการเชื่อมประสานยูเทคติก AuSn ความเร็วสูง และมีความสามารถในการเชื่อมประสานยูเทคติกแบบในสถานที่ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานและคุณภาพการเชื่อมต่อได้อย่างมีประสิทธิผล

แบบจำลองอนุพันธ์อื่นๆ

นอกจากรุ่น NANO แล้ว ซีรี่ส์ ASMPT AMICRA ยังประกอบด้วย:

NOVA Pro: รองรับการเชื่อมต่อแบบฟลิปชิปด้วยความแม่นยำ ±1.0 µm ทำให้ได้สมดุลระหว่างความเร็วและความแม่นยำ

AFC Plus: นี่คือเครื่องเชื่อมชิปอเนกประสงค์ที่มีความแม่นยำ ±1.5 µm ออกแบบมาเพื่อเสริมการทำงานของซีรี่ส์ NANO ระดับไฮเอนด์

โดยสรุปแล้ว ASM AMICRA NANO ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการด้านบรรจุภัณฑ์ที่เข้มงวดที่สุด แตกต่างจากอุปกรณ์ที่เน้นประสิทธิภาพเป็นหลัก โดยมุ่งเน้นไปที่การบรรลุความแม่นยำสูงถึง ±0.2 µm ซึ่งเหมาะสำหรับงานวิจัยและพัฒนา และการผลิตขั้นสูงที่มีความหลากหลายสูงและปริมาณน้อยในสาขาที่ล้ำสมัย เช่น ซิลิคอนโฟโตนิกส์และการประมวลผล AI