Máquina de unión de chips flip-chip ASM AMICRA NANO

La AMICRA NANO de ASM es una máquina de unión flip-chip de última generación y ultraprecisión. De hecho, no se trata de una simple máquina de unión flip-chip, sino de un dispositivo que combina funciones de unión de chips y de unión flip-chip, lo que le permite gestionar con flexibilidad diversos procesos de unión.

Características principales y especificaciones técnicas de AMICRA NANO

Características Descripción detallada

Tipo de equipo: Máquina de unión de chips de ultraprecisión / Máquina de unión de chips flip-chip

Precisión del núcleo: Precisión de colocación/alineación: ±0,2 µm a 3σ

Métodos de unión: Unión híbrida, unión eutéctica, unión láser, unión termostática (TCB), curado UV.

Rango de presión de unión: de 0,1 N a 20 N (aprox. de 10 g a 2 kg)

Tamaño del chip: Admite chips extremadamente pequeños, por ejemplo, de 0,1 mm x 0,1 mm.

Tamaño del sustrato: Admite sustratos de hasta 300 mm x 300 mm.

Tasa de producción (UPH): Aproximadamente 200-400 chips por hora

Sistema operativo: Interfaz de Windows

Dimensiones del equipo: Superficie ocupada: 2,23 x 1,0 m (aprox. 7,3 x 3,3 pies)

Entorno de proceso equipado con filtros HEPA y un generador de iones, lo que garantiza un entorno de sala limpia de alta pureza.

Más detalles técnicos y comparación con modelos similares.

Principio

La extrema precisión del AMICRA NANO se debe a su diseño único: cuatro sistemas de imagen de alta resolución están fijados a una base de granito natural, mientras que otros sistemas de control de movimiento se desplazan alrededor de estas cámaras fijas. Combinado con la amortiguación activa de vibraciones y un sistema de alineación dinámica, esto garantiza una colocación precisa.

Áreas de aplicación

Está diseñado para aplicaciones de encapsulado avanzadas con requisitos de precisión extremadamente altos, destacando especialmente en fotónica de silicio, encapsulado de dispositivos ópticos, integración de chips en obleas y en circuitos integrados 2.5D/3D.

Ventajas del proceso

Además de una precisión de colocación extremadamente alta, el AMICRA NANO también admite procesos de unión eutéctica AuSn de alta velocidad y cuenta con capacidades de unión eutéctica in situ, lo que mejora eficazmente el rendimiento y la calidad de la conexión.

Otros modelos derivados

Además del NANO, la serie ASMPT AMICRA también incluye:

NOVA Pro: También admite la unión flip-chip con una precisión de ±1,0 µm, logrando un equilibrio entre velocidad y precisión.

AFC Plus: Se trata de una máquina de unión de chips de uso general con una precisión de ±1,5 µm, diseñada para complementar la serie NANO de gama alta.

En resumen, la ASM AMICRA NANO está diseñada para satisfacer los requisitos de empaquetado más exigentes. A diferencia de los equipos que priorizan la eficiencia, se centra en lograr una precisión extrema de ±0,2 µm, lo que la hace ideal para I+D y producción avanzada de bajo volumen y alta variedad en campos de vanguardia como la fotónica de silicio y la computación de IA.