АСМ машина за лепљење чипова АМИКРА НАНО

АСМ-ов АМИКРА НАНО је врхунски, ултра-високопрецизни уређај за спајање „флип-чип“ материјала. У ствари, то није само једноставан уређај за спајање „флип-чип“, већ уређај који комбинује функције спајања матрица и „флип-чип“ материјала, флексибилно рукујући различитим процесима спајања.

Основне карактеристике и техничке спецификације AMICRA NANO-а

Детаљан опис карактеристика

Тип опреме: Ултрапрецизни апарат за лепљење матрица / апарат за лепљење преклопљених чипова

Тачност језгра: Тачност постављања/поравнања: ±0,2 µm @ 3σ

Методе лепљења: хибридно лепљење, еутектичко лепљење, ласерско лепљење, термостатско лепљење (TCB), УВ очвршћавање

Распон притиска лепљења: 0,1 N до 20 N (приближно 10 g до 2 kg)

Величина чипа: Рукује изузетно малим чиповима, нпр. 0,1 мм x 0,1 мм

Величина подлоге: Подноси подлоге до 300 мм x 300 мм

Брзина производње (UPH): Приближно 200-400 чипова на сат

Оперативни систем: Windows интерфејс

Димензије опреме: Само простор за опрему 2,23 x 1,0 м (приближно 7,3 x 3,3 стопе)

Процесно окружење Опремљено HEPA филтерима и генератором јона, што обезбеђује високо чисто окружење у чистој просторији.

Више техничких детаља и поређење са сличним моделима

Принцип

Екстремна прецизност AMICRA NANO камере произилази из њеног јединственог дизајна: четири система за снимање високе резолуције су фиксирана на природну гранитну основу, док се други системи за контролу кретања крећу око ових фиксних камера. У комбинацији са активним пригушивањем вибрација и системом динамичког поравнања, ово обезбеђује прецизно постављање.

Области примене

Дизајниран је за напредне примене паковања са изузетно високим захтевима за прецизност, посебно се истиче у силицијумској фотоници, паковању оптичких уређаја, интеграцији чипова са плочицом и 2.5Д/3Д ИЦ интеграцији.

Предности процеса

Поред изузетно високе тачности постављања, AMICRA NANO такође подржава брзе процесе еутектичког везивања AuSn и има могућности еутектичког везивања in situ, ефикасно побољшавајући пропусност и квалитет везе.

Остали деривативни модели

Поред NANO, серија ASMPT AMICRA такође укључује:

НОВА Про: Такође подржава флип-чип лепљење са тачношћу од ±1,0 µм, постижући равнотежу између брзине и тачности.

AFC Plus: Ово је вишенаменски апарат за лепљење матрица са тачношћу од ±1,5 µm, дизајниран да допуни врхунску NANO серију.

Укратко, ASM AMICRA NANO је дизајниран да испуни најзахтевније захтеве за паковање. За разлику од опреме која даје приоритет ефикасности, он се фокусира на постизање екстремне тачности од ±0,2 µm, служећи истраживању и развоју и напредној производњи високог квалитета и малог обима у најсавременијим областима као што су силицијумска фотоника и вештачка интелигенција.