Ensambladora de chips ASM AMICRA NANO

A AMICRA NANO de ASM é unha unión de chips invertidos de última xeración e ultraalta precisión. De feito, non é só unha simple unión de chips invertidos, senón un dispositivo que combina as funcións de unión de matrices e de unión de chips invertidos, xestionando con flexibilidade diversos procesos de unión.

Características e especificacións técnicas do núcleo AMICRA NANO

Descrición detallada das características

Tipo de equipo: Unión de troqueles de ultraprecisión / Unión de chips invertidos

Precisión do núcleo: Precisión de colocación/alineación: ±0,2 µm a 3σ

Métodos de unión: unión híbrida, unión eutéctica, unión láser, unión termostática (TCB), curado UV

Rango de presión de unión: de 0,1 N a 20 N (aprox. de 10 g a 2 kg)

Tamaño do chip: Manexa chips extremadamente pequenos, por exemplo, 0,1 mm x 0,1 mm

Tamaño do substrato: Admite substratos de ata 300 mm x 300 mm

Taxa de produción (UPH): Aprox. 200-400 lascas por hora

Sistema operativo: Interface de Windows

Dimensións do equipo: Só pegada 2,23 x 1,0 m (aprox. 7,3 x 3,3 pés)

Ambiente de proceso Equipado con filtros HEPA e un xerador de ións, o que garante un ambiente de sala limpa de alta pureza.

Máis detalles técnicos e comparación con modelos similares

Principio

A extrema precisión da AMICRA NANO provén do seu deseño único: catro sistemas de imaxe de alta resolución están fixados a unha base de granito natural, mentres que outros sistemas de control de movemento móvense arredor destas cámaras fixas. Combinado coa amortiguación activa de vibracións e un sistema de aliñamento dinámico, isto garante unha colocación precisa.

Áreas de aplicación

Está deseñado para aplicacións avanzadas de empaquetado con requisitos de precisión extremadamente altos, destacando especialmente en fotónica de silicio, empaquetado de dispositivos ópticos, integración de chip a oblea e integración de circuítos integrados 2.5D/3D.

Vantaxes do proceso

Ademais dunha precisión de colocación extremadamente alta, o AMICRA NANO tamén admite procesos de unión eutéctica de AuSn de alta velocidade e ten capacidades de unión eutéctica in situ, o que mellora eficazmente o rendemento e a calidade da conexión.

Outros modelos derivados

Ademais do NANO, a serie ASMPT AMICRA tamén inclúe:

NOVA Pro: Tamén admite a unión de chips invertidos cunha precisión de ±1,0 µm, conseguindo un equilibrio entre velocidade e precisión.

AFC Plus: Trátase dunha uniformadora de troqueles de uso xeral cunha precisión de ±1,5 µm, deseñada para complementar a serie NANO de gama alta.

En resumo, o ASM AMICRA NANO está deseñado para cumprir cos requisitos de empaquetado máis esixentes. A diferenza dos equipos que priorizan a eficiencia, céntrase en acadar unha precisión extrema de ±0,2 µm, servindo para I+D e produción avanzada de alta mestura e baixo volume en campos de vangarda como a fotónica de silicio e a computación con IA.