ASM flip chip bonder AMICRA NANO

ASMs AMICRA NANO er ​​en toppmoderne flip-chip-bonder med ultrahøy presisjon. Faktisk er det ikke bare en enkel flip-chip-bonder, men en enhet som kombinerer både die-bonding og flip-chip-bonding, og håndterer fleksibelt ulike bondingprosesser.

AMICRA NANO Kjernefunksjoner og tekniske spesifikasjoner

Funksjoner Detaljert beskrivelse

Utstyrstype: Ultrapresisjonsformbinder / Flip Chip Bonder

Kjernenøyaktighet: Plasserings-/justeringsnøyaktighet: ±0,2 µm @ 3σ

Bindingsmetoder: Hybridbinding, eutektisk binding, laserbinding, termostatisk binding (TCB), UV-herding

Limtrykkområde: 0,1 N til 20 N (ca. 10 g til 2 kg)

Brikkestørrelse: Håndterer ekstremt små brikker, f.eks. 0,1 mm x 0,1 mm

Underlagsstørrelse: Håndterer underlag opptil 300 mm x 300 mm

Produksjonshastighet (UPH): Ca. 200–400 flis per time

Operativsystem: Windows-grensesnitt

Utstyrsmål: Kun fotavtrykk 2,23 x 1,0 m (ca. 7,3 x 3,3 fot)

Prosessmiljø Utstyrt med HEPA-filtre og en iongenerator, som sikrer et renromsmiljø med høy renhet.

Flere tekniske detaljer og sammenligning med lignende modeller

Prinsipp

AMICRA NANOs ekstreme presisjon stammer fra dens unike design: fire høyoppløselige bildesystemer er festet til en naturlig granittbase, mens andre bevegelseskontrollsystemer beveger seg rundt disse faste kameraene. Kombinert med aktiv vibrasjonsdemping og et dynamisk justeringssystem sikrer dette nøyaktig plassering.

Bruksområder

Den er designet for avanserte pakkeapplikasjoner med ekstremt høye presisjonskrav, spesielt innen silisiumfotonikk, pakking av optiske enheter, chip-to-wafer og 2,5D/3D IC-integrasjon.

Prosessfordeler

I tillegg til ekstremt høy plasseringsnøyaktighet støtter AMICRA NANO også høyhastighets eutektiske bindingsprosesser for AuSn og har in situ eutektiske bindingsmuligheter, noe som effektivt forbedrer gjennomstrømning og tilkoblingskvalitet.

Andre derivatmodeller

I tillegg til NANO inkluderer ASMPT AMICRA-serien også:

NOVA Pro: Støtter også flip-chip-binding med en nøyaktighet på ±1,0 µm, noe som oppnår en balanse mellom hastighet og nøyaktighet.

AFC Plus: Dette er en universal limemaskin med en nøyaktighet på ±1,5 µm, designet for å utfylle den avanserte NANO-serien.

Kort sagt er ASM AMICRA NANO designet for å møte de mest krevende emballasjekravene. I motsetning til utstyr som prioriterer effektivitet, fokuserer den på å oppnå en ekstrem nøyaktighet på ±0,2 µm, og brukes til forskning og utvikling samt avansert produksjon med høy miks og lavt volum innen banebrytende felt som silisiumfotonikk og AI-databehandling.