एएसएम का एएमआईसीआरए नैनो एक अत्याधुनिक, अति-उच्च परिशुद्धता वाला फ्लिप-चिप बॉन्डर है। वास्तव में, यह केवल एक साधारण फ्लिप-चिप बॉन्डर नहीं है, बल्कि एक ऐसा उपकरण है जो डाई बॉन्डिंग और फ्लिप-चिप बॉन्डिंग दोनों कार्यों को संयोजित करता है, जिससे यह विभिन्न बॉन्डिंग प्रक्रियाओं को लचीले ढंग से संभाल सकता है।
AMICRA NANO की मुख्य विशेषताएं और तकनीकी विशिष्टताएँ
विशेषताएं विस्तृत विवरण
उपकरण का प्रकार: अति-सटीक डाई बॉन्डर / फ्लिप चिप बॉन्डर
कोर सटीकता: स्थान निर्धारण/संरेखण सटीकता: ±0.2 µm @ 3σ
बॉन्डिंग विधियाँ: हाइब्रिड बॉन्डिंग, यूटेक्टिक बॉन्डिंग, लेजर बॉन्डिंग, थर्मोस्टैटिक बॉन्डिंग (टीसीबी), यूवी क्यूरिंग
बंधन दाब सीमा: 0.1 N से 20 N (लगभग 10 ग्राम से 2 किलोग्राम)
चिप का आकार: यह अत्यंत छोटे चिप्स को भी संभाल सकता है, जैसे कि 0.1 मिमी x 0.1 मिमी।
सतह का आकार: 300 मिमी x 300 मिमी तक की सतहों को संभाल सकता है
उत्पादन दर (प्रति घंटा): लगभग 200-400 चिप्स
ऑपरेटिंग सिस्टम: विंडोज इंटरफ़ेस
उपकरण के आयाम: केवल आधार क्षेत्र 2.23 x 1.0 मीटर (लगभग 7.3 x 3.3 फीट)
प्रक्रिया वातावरण में हेपा फिल्टर और आयन जनरेटर लगे हुए हैं, जो उच्च शुद्धता वाले क्लीनरूम वातावरण को सुनिश्चित करते हैं।
अधिक तकनीकी विवरण और समान मॉडलों के साथ तुलना
सिद्धांत
AMICRA NANO की असाधारण सटीकता इसके अनूठे डिज़ाइन से उत्पन्न होती है: चार उच्च-रिज़ॉल्यूशन इमेजिंग सिस्टम एक प्राकृतिक ग्रेनाइट आधार पर स्थिर होते हैं, जबकि अन्य गति नियंत्रण सिस्टम इन स्थिर कैमरों के चारों ओर घूमते हैं। सक्रिय कंपन अवमंदन और एक गतिशील संरेखण प्रणाली के संयोजन से, यह सटीक स्थान सुनिश्चित करता है।
अनुप्रयोग क्षेत्र
इसे अत्यधिक उच्च परिशुद्धता आवश्यकताओं वाले उन्नत पैकेजिंग अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किया गया है, विशेष रूप से सिलिकॉन फोटोनिक्स, ऑप्टिकल डिवाइस पैकेजिंग, चिप-टू-वेफर और 2.5डी/3डी आईसी एकीकरण में यह उत्कृष्ट प्रदर्शन करता है।
प्रक्रिया के लाभ
अत्यधिक उच्च प्लेसमेंट सटीकता के अलावा, AMICRA NANO उच्च गति वाली AuSn यूटेक्टिक बॉन्डिंग प्रक्रियाओं का भी समर्थन करता है और इसमें इन-सीटू यूटेक्टिक बॉन्डिंग क्षमताएं हैं, जो प्रभावी रूप से थ्रूपुट और कनेक्शन की गुणवत्ता में सुधार करती हैं।
अन्य व्युत्पन्न मॉडल
NANO के अलावा, ASMPT AMICRA श्रृंखला में निम्नलिखित भी शामिल हैं:
NOVA Pro: यह ±1.0 µm की सटीकता के साथ फ्लिप-चिप बॉन्डिंग का भी समर्थन करता है, जिससे गति और सटीकता के बीच संतुलन प्राप्त होता है।
एएफसी प्लस: यह ±1.5 µm की सटीकता वाला एक सामान्य प्रयोजन वाला डाई बॉन्डर है, जिसे उच्च-स्तरीय नैनो श्रृंखला के पूरक के रूप में डिज़ाइन किया गया है।
संक्षेप में, ASM AMICRA NANO को पैकेजिंग की सबसे कठिन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। दक्षता को प्राथमिकता देने वाले उपकरणों के विपरीत, यह ±0.2 µm की अत्यधिक सटीकता प्राप्त करने पर केंद्रित है, जो सिलिकॉन फोटोनिक्स और AI कंप्यूटिंग जैसे अत्याधुनिक क्षेत्रों में अनुसंधान एवं विकास और उच्च-मिश्रण, कम मात्रा वाले उन्नत उत्पादन में सहायक है।





