AMICRA NANO ASM ialah pengikat cip flip berketepatan ultra tinggi yang terunggul. Malah, ia bukan sekadar pengikat cip flip yang mudah, tetapi peranti yang menggabungkan fungsi ikatan acuan dan ikatan cip flip, mengendalikan pelbagai proses ikatan secara fleksibel.
Ciri-ciri Teras AMICRA NANO dan Spesifikasi Teknikal
Ciri-ciri Penerangan Terperinci
Jenis Peralatan: Pengikat Acuan Ultra-ketepatan / Pengikat Cip Balik
Ketepatan Teras: Ketepatan Penempatan/Penjajaran: ±0.2 µm @ 3σ
Kaedah Ikatan: Ikatan Hibrid, Ikatan Eutektik, Ikatan Laser, Ikatan Termostatik (TCB), Pengawetan UV
Julat Tekanan Ikatan: 0.1 N hingga 20 N (lebih kurang 10g hingga 2kg)
Saiz Cip: Mengendalikan cip yang sangat kecil, contohnya, 0.1mm x 0.1mm
Saiz Substrat: Mengendalikan substrat sehingga 300mm x 300mm
Kadar Pengeluaran (UPH): Lebih kurang 200-400 cip sejam
Sistem Pengendalian: Antara Muka Windows
Dimensi Peralatan: Jejak sahaja 2.23 x 1.0 m (lebih kurang 7.3 x 3.3 kaki)
Persekitaran Proses Dilengkapi dengan penapis HEPA dan penjana ion, memastikan persekitaran bilik bersih berketulenan tinggi.
Lebih banyak butiran teknikal dan perbandingan dengan model yang serupa
Prinsip
Ketepatan ekstrem AMICRA NANO berpunca daripada reka bentuknya yang unik: empat sistem pengimejan resolusi tinggi dipasang pada tapak granit semula jadi, manakala sistem kawalan gerakan lain bergerak di sekitar kamera tetap ini. Digabungkan dengan redaman getaran aktif dan sistem penjajaran dinamik, ini memastikan penempatan yang tepat.
Kawasan Aplikasi
Ia direka bentuk untuk aplikasi pembungkusan termaju dengan keperluan ketepatan yang sangat tinggi, terutamanya cemerlang dalam fotonik silikon, pembungkusan peranti optik, cip-ke-wafer dan integrasi IC 2.5D/3D.
Kelebihan Proses
Selain ketepatan penempatan yang sangat tinggi, AMICRA NANO juga menyokong proses ikatan eutektik AuSn berkelajuan tinggi dan mempunyai keupayaan ikatan eutektik in-situ, yang meningkatkan daya pemprosesan dan kualiti sambungan dengan berkesan.
Model Derivatif Lain
Selain NANO, siri ASMPT AMICRA juga merangkumi:
NOVA Pro: Turut menyokong ikatan cip flip dengan ketepatan ±1.0 µm, mencapai keseimbangan antara kelajuan dan ketepatan.
AFC Plus: Ini ialah pengikat acuan tujuan umum dengan ketepatan ±1.5 µm, direka bentuk untuk melengkapi siri NANO mewah.
Secara ringkasnya, ASM AMICRA NANO direka bentuk untuk memenuhi keperluan pembungkusan yang paling mencabar. Tidak seperti peralatan yang mengutamakan kecekapan, ia memberi tumpuan kepada mencapai ketepatan ekstrem ±0.2 µm, memenuhi keperluan R&D dan pengeluaran lanjutan bervolum rendah dan campuran tinggi dalam bidang canggih seperti fotonik silikon dan pengkomputeran AI.





