ASM flip-chip bonder AMICRA NANO

ASM-i AMICRA NANO on tipptasemel ülitäpne kiibivahetusseade. Tegelikult pole see lihtsalt kiibivahetusseade, vaid seade, mis ühendab endas nii kiibivahetuse kui ka kiibivahetuse funktsioonid, võimaldades paindlikult toime tulla mitmesuguste ühendusprotsessidega.

AMICRA NANO põhifunktsioonid ja tehnilised andmed

Omadused Üksikasjalik kirjeldus

Seadme tüüp: ülitäpne stantsliimimismasin / kiibilõikuri

Südamiku täpsus: paigutuse/joondamise täpsus: ±0,2 µm @ 3σ

Liimimismeetodid: hübriidliimimine, eutektiline liimimine, laserliimimine, termostaatiline liimimine (TCB), UV-kõvendamine

Liimimisrõhu vahemik: 0,1 N kuni 20 N (umbes 10 g kuni 2 kg)

Kiibi suurus: Käsitseb äärmiselt väikeseid kiipe, nt 0,1 mm x 0,1 mm

Aluspinna suurus: Sobib kuni 300 mm x 300 mm suuruste aluspindadega

Tootlikkus (UPH): Ligikaudu 200–400 kiipi tunnis

Operatsioonisüsteem: Windowsi liides

Seadme mõõtmed: Ainult jalajälg 2,23 x 1,0 m (umbes 7,3 x 3,3 jalga)

Protsessikeskkond Varustatud HEPA-filtrite ja ioongeneraatoriga, mis tagavad kõrge puhtusastmega puhasruumi keskkonna.

Rohkem tehnilisi üksikasju ja võrdlus sarnaste mudelitega

Põhimõte

AMICRA NANO äärmine täpsus tuleneb selle ainulaadsest disainist: neli kõrglahutusega pildisüsteemi on kinnitatud looduslikust graniidist alusele, samal ajal kui teised liikumisjuhtimissüsteemid liiguvad nende fikseeritud kaamerate ümber. Koos aktiivse vibratsioonisummutus- ja dünaamilise joondussüsteemiga tagab see täpse paigutuse.

Rakendusvaldkonnad

See on loodud täiustatud pakendamisrakenduste jaoks, millel on äärmiselt kõrged täpsusnõuded, eriti silmapaistev ränifotoonika, optiliste seadmete pakendamise, kiibi ja vahvli vahelise ühendamise ning 2,5D/3D integraallülituste integreerimise valdkonnas.

Protsessi eelised

Lisaks äärmiselt kõrgele paigutustäpsusele toetab AMICRA NANO ka kiireid AuSn eutektilise liimimise protsesse ja omab kohapealse eutektilise liimimise võimalusi, parandades tõhusalt läbilaskevõimet ja ühenduse kvaliteeti.

Muud tuletismudelid

Lisaks NANO-le kuuluvad ASMPT AMICRA seeriasse ka:

NOVA Pro: Toetab ka flip-chip bondingut täpsusega ±1,0 µm, saavutades tasakaalu kiiruse ja täpsuse vahel.

AFC Plus: See on üldotstarbeline stantsliimimisseade täpsusega ±1,5 µm, mis on loodud täiendama tipptasemel NANO-seeriat.

Kokkuvõttes on ASM AMICRA NANO loodud vastama kõige nõudlikumatele pakendamisnõuetele. Erinevalt seadmetest, mis seavad esikohale efektiivsuse, keskendub see äärmise täpsuse saavutamisele ±0,2 µm, teenindades teadus- ja arendustegevust ning laiaulatuslikku ja väikesemahulist täiustatud tootmist tipptasemel valdkondades nagu ränifotoonika ja tehisintellekti andmetöötlus.