Верстат для склеювання стружки ASM AMICRA NANO

AMICRA NANO від ASM — це першокласний надвисокоточний пристрій для склеювання кристалів методом фліп-чіп. Фактично, це не просто пристрій для склеювання кристалів методом фліп-чіп, а пристрій, який поєднує в собі функції склеювання кристалів та фліп-чіп, гнучко керуючи різноманітними процесами склеювання.

Основні характеристики та технічні характеристики AMICRA NANO

Детальний опис функцій

Тип обладнання: Ультраточний штампувальний верстат / верстат для з'єднання стружки

Точність стрижня: Точність розміщення/вирівнювання: ±0,2 мкм при 3σ

Методи склеювання: гібридне склеювання, евтектичне склеювання, лазерне склеювання, термостатичне склеювання (TCB), УФ-затвердіння

Діапазон тиску склеювання: від 0,1 Н до 20 Н (приблизно від 10 г до 2 кг)

Розмір чіпа: обробляє надзвичайно малі чіпи, наприклад, 0,1 мм x 0,1 мм

Розмір основи: підходить для поверхонь розміром до 300 мм x 300 мм

Продуктивність (у год): приблизно 200-400 стружок на годину

Операційна система: інтерфейс Windows

Розміри обладнання: лише площа основи 2,23 x 1,0 м (приблизно 7,3 x 3,3 фута)

Процесне середовище Оснащено HEPA-фільтрами та генератором іонів, що забезпечує високу чистоту чистого середовища.

Більше технічних деталей та порівняння з аналогічними моделями

Принцип

Надзвичайна точність AMICRA NANO випливає з її унікальної конструкції: чотири системи візуалізації високої роздільної здатності закріплені на основі з натурального граніту, тоді як інші системи керування рухом рухаються навколо цих фіксованих камер. У поєднанні з активним гасінням вібрацій та системою динамічного вирівнювання це забезпечує точне розміщення.

Галузі застосування

Він розроблений для передових застосувань упаковки з надзвичайно високими вимогами до точності, особливо для кремнієвої фотоніки, упаковки оптичних пристроїв, перетворення мікросхем на пластину та інтеграції 2,5D/3D ІС.

Переваги процесу

Окрім надзвичайно високої точності розміщення, AMICRA NANO також підтримує високошвидкісні процеси евтектичного з'єднання AuSn та має можливості евтектичного з'єднання in situ, що ефективно покращує пропускну здатність та якість з'єднання.

Інші похідні моделі

Окрім NANO, серія ASMPT AMICRA також включає:

NOVA Pro: Також підтримує фліп-чіп-бондинг з точністю ±1,0 мкм, досягаючи балансу між швидкістю та точністю.

AFC Plus: Це універсальний штампувальний пристрій для склеювання з точністю ±1,5 мкм, розроблений як доповнення до високоякісної серії NANO.

Таким чином, ASM AMICRA NANO розроблена для задоволення найвимогливіших вимог до упаковки. На відміну від обладнання, яке надає пріоритет ефективності, вона зосереджена на досягненні надзвичайної точності ±0,2 мкм, обслуговуючи дослідження та розробки, а також високотехнологічне, малосерійне передове виробництво у передових галузях, таких як кремнієва фотоніка та штучний інтелект.