ASM'nin AMICRA NANO'su, en üst düzey, ultra yüksek hassasiyetli bir flip-chip bağlama cihazıdır. Aslında, sadece basit bir flip-chip bağlama cihazı değil, hem yonga bağlama hem de flip-chip bağlama işlevlerini birleştiren ve çeşitli bağlama işlemlerini esnek bir şekilde ele alan bir cihazdır.
AMICRA NANO Temel Özellikleri ve Teknik Özellikleri
Özellikler Ayrıntılı Açıklama
Ekipman Tipi: Ultra Hassas Kalıp Bağlama Makinesi / Flip Chip Bağlama Makinesi
Temel Doğruluk: Yerleştirme/Hizalama Doğruluğu: ±0,2 µm @ 3σ
Bağlama Yöntemleri: Hibrit Bağlama, Ötektik Bağlama, Lazer Bağlama, Termostatik Bağlama (TCB), UV Kürleme
Yapıştırma Basıncı Aralığı: 0,1 N ila 20 N (yaklaşık 10 g ila 2 kg)
Çip Boyutu: Son derece küçük çipleri, örneğin 0,1 mm x 0,1 mm'yi işleyebilir.
Yüzey Boyutu: 300 mm x 300 mm'ye kadar olan yüzeyleri işleyebilir.
Üretim Hızı (UPH): Yaklaşık 200-400 adet cips/saat
İşletim Sistemi: Windows Arayüzü
Ekipman Boyutları: Sadece taban alanı 2,23 x 1,0 m (yaklaşık 7,3 x 3,3 ft)
Yüksek saflıkta temiz oda ortamı sağlayan HEPA filtreleri ve iyon jeneratörü ile donatılmış işlem ortamı.
Daha fazla teknik detay ve benzer modellerle karşılaştırma
İlke
AMICRA NANO'nun olağanüstü hassasiyeti, benzersiz tasarımından kaynaklanmaktadır: dört yüksek çözünürlüklü görüntüleme sistemi doğal granit bir tabana sabitlenmiştir, diğer hareket kontrol sistemleri ise bu sabit kameraların etrafında hareket eder. Aktif titreşim sönümleme ve dinamik hizalama sistemiyle birleştiğinde, bu doğru yerleşimi sağlar.
Uygulama Alanları
Özellikle silikon fotonik, optik cihaz paketleme, çip-yonga ve 2.5D/3D IC entegrasyonunda üstün performans gösteren, son derece yüksek hassasiyet gereksinimlerine sahip gelişmiş paketleme uygulamaları için tasarlanmıştır.
Süreç Avantajları
AMICRA NANO, son derece yüksek yerleştirme doğruluğuna ek olarak, yüksek hızlı AuSn ötektik bağlama işlemlerini de destekler ve yerinde ötektik bağlama yeteneklerine sahiptir; bu da verimliliği ve bağlantı kalitesini etkili bir şekilde artırır.
Diğer Türev Modelleri
NANO'nun yanı sıra, ASMPT AMICRA serisi şunları da içerir:
NOVA Pro: Ayrıca ±1,0 µm doğrulukla flip-chip bağlamayı destekleyerek hız ve doğruluk arasında bir denge sağlar.
AFC Plus: Bu, üst düzey NANO serisini tamamlamak üzere tasarlanmış, ±1,5 µm doğruluğa sahip genel amaçlı bir kalıp bağlama cihazıdır.
Özetle, ASM AMICRA NANO, en zorlu paketleme gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. Verimliliğe öncelik veren ekipmanların aksine, silikon fotonik ve yapay zeka hesaplama gibi en ileri alanlarda Ar-Ge ve yüksek çeşitlilikte, düşük hacimli gelişmiş üretime hizmet ederek ±0,2 µm'lik son derece yüksek bir doğruluk elde etmeye odaklanmıştır.





