НОВЫ ASM SIPLACE з падвойнай галоўкай 03097485

I. Структурны склад і асноўныя дапаможныя функцыі

1. Асноўныя дадатковыя функцыі

Аксесуары Мадэль Функцыя

Двайны лінейны рухавік па восі Z 03097485-ZM Незалежна кіруе вертыкальным рухам двух соплаў (ход 0-20 мм, разрозненне 0,1 мкм)

Модуль кручэння з гарманічным запаволеннем 03097485-RT. Рэалізуе бесперапыннае кручэнне сопла ў дыяпазоне 0-360° (дакладнасць ±0,01°, максімальная хуткасць 600 абаротаў у хвіліну).

Сістэма генерацыі вакууму 03097485-VG Двухканальнае незалежнае кіраванне (ступень вакууму -90 кПа ~ +60 кПа рэгуляваная)

Блок зваротнай сувязі па ціску 03097485-PS Маніторынг мантажнага ціску ў рэжыме рэальнага часу (0,01-10 Н, частата дыскрэтызацыі 1 кГц)

Інтэлектуальны дыягнастычны модуль 03097485-DM Інтэграваныя датчыкі тэмпературы/вібрацыі/току, падтрымлівае прагназаванне няспраўнасцей

II. Меры засцярогі пры ўжыванні

1. Тэхнічныя характарыстыкі ўстаноўкі

Плоскасць паверхні ўстаноўкі ≤0,005 мм/м, патрабуецца дынамаметрычная адвёртка (шруба M6/4,5 Н·м)

Калібровачнае значэнне нацяжэння сінхроннага рамяня складае 40±2 Гц (вызначаецца частатомерам)

2. Абмежаванні на эксплуатацыю

Параметр Гранічнае значэнне Наступствы перавышэння граніцы

Максімальнае паскарэнне 15 м/с² Можа прывесці да паломкі шасцярні рэдуктара гармонік

Бесперапынная рабочая тэмпература -10℃~60℃ Размагнічванне пастаяннага магніта/старэнне ўшчыльняльнага кольца

Змешванне вакуумных каналаў забаронена. Перакрыжаванае забруджванне можа прывесці да разлёту дэталяў кампанентаў.

3. Патрабаванні сумяшчальнасці

Сумяшчальны толькі з мадэлямі серыі ASM SIPLACE TX і вышэй

Патрабуемая версія прашыўкі ≥V6.2.1 (для старой версіі патрабуецца абнаўленне матчынай платы)

III. Тыповыя паведамленні пра памылкі і апрацоўка

Код памылкі Значэнне Апрацоўка ў надзвычайных сітуацыях Асноўнае рашэнне

E9741 Пазіцыя восі Z па-за межамі дапушчальнага значэння. Прыпыніце выкарыстанне анамальнай фарсункі. 1. Перакалібруйце лінейку рашоткі.

2. Праверце паралельнасць накіроўвалай рэйкі

E9742 Ненармальны ціск у вакууме Пераключыцеся на рэзервовы канал 1. Ачысціце фільтр

2. Заменіце электрамагнітны клапан

E9743 Памылка паваротнага энкодэра Перазапусціце пасля ручной устаноўкі на нуль 1. Ачысціце дыск энкодэра

2. Заменіце модуль энкодэра

E9744 Тэмпература перавышае 65℃ Аўтаматычна знізіць хуткасць 1. Праверце вентылятар астуджэння

2. Аптымізацыя працэдуры мантажу

IV. Метад тэхнічнага абслугоўвання

1. План перыядычнага тэхнічнага абслугоўвання

Перыяд Пазіцыя Тэхнічны стандарт

Штодзённая чыстка стрыжня сопла Рэштка паяльнай пасты ≤0,1 мг (вызначаецца вагамі)

Штотыднёвая змазка накіроўвалай рэйкі. Выкарыстоўвайце змазку Kluber ISOFLEX NBU15.

Штомесячная праверка герметычнасці вакуумнай сістэмы. Выпрабаванне ціскам (падзенне ціску -80 кПа/5 хвілін ≤5 кПа).

Штоквартальна Разборка і праверка рэдуктара гарманічных колебанняў Знос шасцярні ≤0,005 мм

2. Працэс глыбокага абслугоўвання

Крок 1: Разбярыце паваротны модуль

Выкарыстоўвайце спецыяльны здымнік (ASM P/N: 03090021)

Запішыце парадак усталёўкі гафрыраванай пракладкі

Крок 2: Замена падшыпніка

Павінны быць заменены парамі (радыяльна-упорны падшыпнік NSK класа P4)

Папярэдні націск адрэгуляваны на зазор 0,02-0,03 мм

V. Тыповыя няспраўнасці і парады па тэхнічным абслугоўванні

Выпадак 1: рух падвойнай восі Z не сінхранізаваны

З'ява: усталяваныя кампаненты нахіленыя

Працэс дыягностыкі:

Выкарыстайце мікраметр для вымярэння паралельнасці дзвюх восяў (неабходна адрэгуляваць больш за 0,01 мм).

Праверце знос сінхроннага рамяня (дэфармацыя зуб'я ＞0,2 мм, замена)

План тэхнічнага абслугоўвання:

Паўтарыць механічнае выраўноўванне партальнага пераходу

Абнаўленне параметраў руху (патрабуюцца паўнамоцтвы інжынера ASM)

Выпадак 2: Збой вакуумнай адсорбцыі

Дрэва аналізу першапрычын:

Дыяграма

Код

VI. Кірунак мадэрнізацыі тэхналогій

Інтэлектуальнае прагнастычнае абслугоўванне

Аналіз вібрацыйнага спектру з дапамогай штучнага інтэлекту будзе падтрымлівацца ў 2024 годзе (папярэджанне аб паломцы падшыпніка за 3 тыдні)

Лёгкая трансфармацыя

Шток фарсункі з вугляроднага валакна (зніжэнне вагі на 30%, павелічэнне хуткасці на 15%)

VII. Рэкамендацыі па кіраванні запаснымі часткамі

Ключавыя запасныя часткі Каэфіцыент наяўнасці Час замены

Зборка рэдуктара гармонік 1:5 2,5 гадзіны

Модуль вакуумнага генератара 1:10 0,5 гадзіны

Датчык ціску 1:8 1 гадзіна

VIII. Рэзюмэ

TWIN HEAD дасягае найлепшай у галіны дакладнасці размяшчэння ±15 мкм пры 3σ дзякуючы незалежнаму кіраванню падвойным прывадам + гарманічным прываду. Падчас тэхнічнага абслугоўвання варта звярнуць асаблівую ўвагу на:

Забараняецца выкарыстоўваць стрыжні фарсунак з розным узроўнем зносу.

Праверка дынамічнай раўнавагі павінна праводзіцца штомесяц

Рэкамендуецца наладзіць аналізатар вібрацыі для маніторынгу стану