НОВИЙ ASM SIPLACE з двома головками 03097485

I. Структурний склад та основні допоміжні функції

1. Основні допоміжні функції

Аксесуари Модель Функція

Двохосьовий лінійний двигун Z 03097485-ZM. Незалежно керує вертикальним рухом двох сопел (хід 0-20 мм, роздільна здатність 0,1 мкм).

Модуль обертання з гармонійним уповільненням 03097485-RT. Здійснює безперервне обертання сопла на 0-360° (точність ±0,01°, максимальна швидкість 600 об/хв).

Система генерації вакууму 03097485-VG Двоканальне незалежне керування (ступінь вакууму -90 кПа ~ +60 кПа регульований)

Блок зворотного зв'язку за тиском 03097485-PS Моніторинг монтажного тиску в режимі реального часу (0,01-10 Н, частота дискретизації 1 кГц)

Інтелектуальний діагностичний модуль 03097485-DM Інтегровані датчики температури/вібрації/струму, підтримують прогнозування несправностей

II. Застереження щодо використання

1. Специфікації встановлення

Плоскість монтажної поверхні ≤0,005 мм/м, потрібна динамометрична викрутка (гвинт M6/4,5 Н·м)

Калібрувальне значення натягу синхронного ременя становить 40±2 Гц (визначається частотоміром)

2. Обмеження експлуатації

Параметр Граничне значення Наслідки перевищення ліміту

Максимальне прискорення 15 м/с². Може призвести до поломки шестерні гармонійного редуктора.

Безперервна робоча температура -10℃~60℃ Розмагнічування/старіння ущільнювального кільця постійного магніту

Змішування вакуумних каналів заборонено. Перехресне забруднення призводить до відльоту деталей компонентів.

3. Вимоги сумісності

Сумісний лише з моделями ASM SIPLACE серії TX та вище

Необхідна версія прошивки ≥V6.2.1 (стара версія вимагає оновлення материнської плати)

III. Поширені повідомлення про помилки та їх обробка

Код помилки Значення Аварійна обробка Базове рішення

E9741 Положення осі Z поза межами допуску Призупинити використання ненормального сопла 1. Перекалібрувати лінійку решітки

2. Перевірте паралельність напрямної рейки

E9742 Ненормальний вакуумний тиск Переключіться на резервний канал 1. Очистіть фільтр

2. Замініть електромагнітний клапан

E9743 Збій обертового енкодера Перезапустіть після ручного обнулення 1. Очистіть диск енкодера

2. Замініть модуль енкодера

E9744 Температура перевищує 65℃ Автоматичне зниження швидкості 1. Перевірте вентилятор охолодження

2. Оптимізуйте процедуру монтажу

IV. Метод технічного обслуговування

1. План періодичного технічного обслуговування

Період Найменування Технічний стандарт

Щоденне очищення стрижня сопла Залишки паяльної пасти ≤0,1 мг (визначається вагами)

Щотижневе змащування напрямної рейки. Використовуйте мастило Kluber ISOFLEX NBU15.

Щомісячне випробування на герметичність вакуумної системи. Випробування тиском (-80 кПа/5 хв. падіння тиску ≤5 кПа).

Щоквартальне розбирання та перевірка редуктора гармонік Знос шестерні ≤0,005 мм

2. Процес глибокого технічного обслуговування

Крок 1: Розберіть поворотний модуль

Використовуйте спеціальний знімач (ASM P/N: 03090021)

Запишіть порядок встановлення гофрованої прокладки

Крок 2: Заміна підшипника

Потрібно замінювати парами (радіально-упорний підшипник NSK класу P4)

Попередній натяг відрегульовано на зазор 0,02-0,03 мм

V. Поширені несправності та ідеї щодо обслуговування

Випадок 1: Рух двох осей Z не синхронізований

Явище: Встановлені компоненти нахилені

Процес діагностики:

Використовуйте мікрометр для вимірювання паралельності двох осей (потрібно відрегулювати >0,01 мм)

Перевірте знос синхронного ременя (деформація зубців ＞0,2 мм, заміна)

План технічного обслуговування:

Повторіть механічне вирівнювання порталу

Оновити параметри руху (потрібні повноваження інженера ASM)

Випадок 2: Збій вакуумної адсорбції

Дерево аналізу першопричин:

Діаграма

Код

VI. Напрямок оновлення технологій

Інтелектуальне прогнозне обслуговування

Аналіз спектру вібрації за допомогою штучного інтелекту буде підтримуватися у 2024 році (попередження про вихід підшипника з ладу за 3 тижні)

Легка трансформація

Шток сопла з вуглецевого волокна (зменшення ваги на 30%, збільшення швидкості на 15%)

VII. Пропозиції щодо управління запасними частинами

Коефіцієнт запасів ключових запасних частин Час заміни

Збірка гармонійного редуктора 1:5 2,5 години

Модуль вакуумного генератора 1:10 0,5 години

Датчик тиску 1:8 1 година

VIII. Резюме

TWIN HEAD досягає провідної в галузі точності розміщення ±15 мкм@3σ завдяки незалежному керуванню подвійним приводом + гармонічному приводу. Під час технічного обслуговування слід звертати особливу увагу:

Забороняється змішувати стрижні форсунок з різним ступенем зносу

Перевірку динамічної рівноваги необхідно проводити щомісяця

Рекомендується налаштувати аналізатор вібрації для моніторингу стану