I. Структурный состав и основные вспомогательные функции
1. Основные вспомогательные функции
Аксессуары Модель Функция
Двойной линейный двигатель оси Z 03097485-ZM Независимо управляет вертикальным движением двух сопел (ход 0-20 мм, разрешение 0,1 мкм)
Модуль вращения с гармоническим замедлением 03097485-RT Осуществляет непрерывное вращение сопла в диапазоне 0–360° (точность ±0,01°, максимальная скорость 600 об/мин)
Система создания вакуума 03097485-VG Двухканальное независимое управление (регулируемая степень вакуума -90 кПа~+60 кПа)
Блок обратной связи по давлению 03097485-PS Мониторинг давления монтажа в реальном времени (0,01-10 Н, частота дискретизации 1 кГц)
Модуль интеллектуальной диагностики 03097485-DM Интегрированные датчики температуры/вибрации/тока, поддерживают прогнозирование неисправностей
II. Меры предосторожности при использовании
1. Технические условия установки
Плоскостность монтажной поверхности составляет ≤0,005 мм/м, требуется динамометрическая отвертка (винт М6/4,5 Н·м).
Калибровочное значение натяжения синхронного ремня составляет 40±2 Гц (определяется частотомером).
2. Ограничения по эксплуатации
Параметр Предельное значение Последствия превышения лимита
Максимальное ускорение 15 м/с² Может привести к поломке шестерни волнового редуктора.
Непрерывная рабочая температура -10℃~60℃ Размагничивание постоянного магнита/старение уплотнительного кольца
Смешивание вакуумных каналов запрещено. Перекрестное загрязнение приводит к разлетанию деталей.
3. Требования совместимости
Совместимо только с моделями серии ASM SIPLACE TX и выше.
Требуемая версия прошивки ≥V6.2.1 (старая версия требует обновления материнской платы)
III. Распространенные сообщения об ошибках и их обработка
Код ошибки Значение Аварийная обработка Фундаментальное решение
E9741 Положение оси Z вне допуска Приостановите использование нештатной насадки 1. Повторно откалибруйте линейку решетки
2. Проверьте параллельность направляющей.
E9742 Ненормальное вакуумное давление Переключитесь на резервный канал 1. Очистите фильтр
2. Заменить электромагнитный клапан.
E9743 Неисправность вращающегося энкодера Перезапустите после ручного обнуления 1. Очистите диск энкодера
2. Заменить модуль кодировщика.
E9744 Температура превышает 65℃ Автоматически снизить скорость 1. Проверьте вентилятор охлаждения
2. Оптимизируйте процедуру монтажа.
IV. Метод обслуживания
1. План периодического обслуживания
Период Пункт Технический стандарт
Ежедневная очистка стержня сопла Остатки паяльной пасты ≤0,1 мг (определяется весами)
Еженедельная смазка направляющих Используйте смазку Kluber ISOFLEX NBU15
Ежемесячное испытание герметичности вакуумной системы Испытание давлением (падение давления -80 кПа/5 мин ≤5 кПа)
Разборка и осмотр редуктора гармонических колебаний ежеквартально. Износ шестерен ≤0,005 мм
2. Процесс глубокого обслуживания
Шаг 1: Разберите поворотный модуль.
Используйте специальный съемник (ASM P/N: 03090021)
Запишите порядок установки гофрированной прокладки.
Шаг 2: Замена подшипника
Необходимо заменять парами (радиально-упорные подшипники класса NSK P4)
Предварительная нагрузка отрегулирована до зазора 0,02–0,03 мм.
V. Распространенные неисправности и идеи по техническому обслуживанию
Случай 1: Двойное движение по оси Z не синхронизировано
Явление: установленные компоненты наклонены
Процесс диагностики:
Используйте микрометр для измерения параллельности двух осей (необходима регулировка >0,01 мм)
Проверьте износ зубчатого ремня (деформация зубьев >0,2 мм, замена)
План обслуживания:
Повторить механическое выравнивание портала.
Обновление параметров движения (требуются полномочия инженера ASM)
Случай 2: Неисправность вакуумной адсорбции
Дерево анализа первопричин:
Диаграмма
Код
VI. Направление модернизации технологий
Интеллектуальное предиктивное обслуживание
Анализ спектра вибрации с помощью ИИ будет поддерживаться в 2024 году (предупреждение о выходе подшипника из строя за 3 недели)
Легкая трансформация
Шток форсунки из углеродного волокна (снижение веса на 30%, увеличение скорости на 15%)
VII. Предложения по управлению запасными частями
Основные запасные части Коэффициент запаса Время замены
Сборка редуктора гармоник 1:5 2,5 часа
Модуль вакуумного генератора 1:10 0,5 часа
Датчик давления 1:8 1 час
VIII. Краткое содержание
TWIN HEAD достигает ведущей в отрасли точности размещения ±15μm@3σ благодаря независимому управлению двойным приводом + гармоническому приводу. Особое внимание следует уделять во время обслуживания:
Запрещается смешивать стержни форсунок с разной степенью износа.
Тест на динамическую балансировку необходимо проводить каждый месяц.
Рекомендуется настроить виброанализатор для мониторинга состояния.