ASMPT
NEW ASM SIPLACE twin head 03097485

NOUVEAU ASM SIPLACE double tête 03097485

TWIN HEAD atteint une précision de placement de pointe de ±15 μm@3σ grâce à un contrôle indépendant à double entraînement + un entraînement harmonique

Détails

I. Composition structurale et fonctions accessoires du noyau

1. Fonctions accessoires de base

Accessoires Modèle Fonction

Moteur linéaire double axe Z 03097485-ZM Contrôle indépendamment le mouvement vertical de deux buses (course 0-20 mm, résolution 0,1 μm)

Module de rotation à décélération harmonique 03097485-RT Réalise une rotation continue de la buse de 0 à 360° (précision de ± 0,01°, vitesse maximale de 600 tr/min)

Système de génération de vide 03097485-VG Contrôle indépendant à deux canaux (degré de vide -90 kPa ~ + 60 kPa réglable)

Unité de rétroaction de pression 03097485-PS Surveillance en temps réel de la pression de montage (0,01-10 N, fréquence d'échantillonnage 1 kHz)

Module de diagnostic intelligent 03097485-DM Capteurs de température/vibration/courant intégrés, prend en charge la prédiction des défauts

II. Précautions d'emploi

1. Spécifications d'installation

La planéité de la surface d'installation est ≤ 0,005 mm/m et un tournevis dynamométrique (vis M6/4,5 N·m) est requis.

La valeur d'étalonnage de la tension de la courroie synchrone est de 40 ± 2 Hz (détectée par un fréquencemètre)

2. Restrictions d'exploitation

Paramètre Valeur limite Conséquences du dépassement de la limite

Accélération maximale 15 m/s² Peut provoquer la rupture de l'engrenage du réducteur d'harmoniques

Température de fonctionnement continu -10℃~60℃ Démagnétisation de l'aimant permanent/vieillissement de la bague d'étanchéité

Le mélange des canaux de vide est interdit. La contamination croisée provoque la projection de pièces de composants.

3. Exigences de compatibilité

Compatible uniquement avec les séries ASM SIPLACE TX et les modèles supérieurs

Version du firmware requise ≥V6.2.1 (l'ancienne version nécessite une mise à niveau de la carte mère)

III. Messages d'erreur courants et traitement

Code d'erreur Signification Traitement d'urgence Solution fondamentale

E9741 Position de l'axe Z hors tolérance Suspendre l'utilisation de la buse anormale 1. Recalibrer la règle de réseau

2. Vérifiez le parallélisme du rail de guidage

E9742 Pression de vide anormale Passer au canal de secours 1. Nettoyer le filtre

2. Remplacer l'électrovanne

E9743 Défaillance du codeur rotatif Redémarrage après remise à zéro manuelle 1. Nettoyer le disque du codeur

2. Remplacez le module codeur

E9744 La température dépasse 65℃ Réduire automatiquement la vitesse 1. Vérifiez le ventilateur de refroidissement

2. Optimiser la procédure de montage

IV. Méthode d'entretien

1. Plan d'entretien périodique

Période Article Norme technique

Nettoyage quotidien de la tige de buse Pâte à souder résiduelle ≤ 0,1 mg (détectée par la balance)

Lubrification hebdomadaire du rail de guidage Utiliser la graisse Kluber ISOFLEX NBU15

Test mensuel d'étanchéité à l'air du système à vide Test de pression (chute de pression de -80 kPa/5 min ≤ 5 kPa)

Démontage et inspection trimestriels du réducteur harmonique Usure des engrenages ≤ 0,005 mm

2. Processus de maintenance en profondeur

Étape 1 : Démonter le module rotatif

Utiliser un extracteur spécial (ASM P/N : 03090021)

Enregistrer l'ordre d'installation du joint ondulé

Étape 2 : Remplacement du roulement

Doit être remplacé par paire (roulement à contact oblique de qualité NSK P4)

Précharge ajustée à un jeu de 0,02-0,03 mm

V. Défauts courants et idées de maintenance

Cas 1 : Le mouvement du double axe Z n'est pas synchronisé

Phénomène : les composants montés sont inclinés

Processus de diagnostic :

Utilisez un micromètre pour mesurer le parallélisme des deux axes (>0,01 mm doit être ajusté)

Vérifier l'usure de la courroie synchrone (déformation des dents >0,2 mm remplacement)

Plan de maintenance :

Refaire le nivellement mécanique du portique

Mettre à jour les paramètres de mouvement (autorisation d'ingénieur ASM requise)

Cas 2 : Échec de l'adsorption sous vide

Arbre d'analyse des causes profondes :

Graphique

Code

VI. Orientation de la mise à niveau technologique

Maintenance prédictive intelligente

L'analyse du spectre vibratoire par IA sera prise en charge en 2024 (avertissement de défaillance du roulement 3 semaines à l'avance)

Transformation légère

Tige de buse en fibre de carbone (réduction de poids de 30 %, augmentation de vitesse de 15 %)

VII. Suggestions de gestion des pièces de rechange

Pièces de rechange clés Ratio d'inventaire Temps de remplacement

Montage réducteur d'harmoniques 1:5 2,5 heures

Module générateur de vide 1:10 0,5 heure

Capteur de pression 1:8 1 heure

VIII. Résumé

La tête double atteint une précision de placement de ±15 μm à 3σ, la meilleure du marché, grâce à un double contrôle indépendant et un entraînement harmonique. Une attention particulière doit être portée lors de la maintenance :

Il est interdit de mélanger des tiges de buse avec des états d'usure différents

Le test d'équilibre dynamique doit être effectué tous les mois

Il est recommandé de configurer un analyseur de vibrations pour la surveillance de l'état


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