I. Структурни састав и основне помоћне функције
1. Основне додатне функције
Додатна опрема Модел Функција
Двоструки линеарни мотор са Z-осом 03097485-ZM Независно контролише вертикално кретање две млазнице (ход 0-20 мм, резолуција 0,1 μм)
Модул ротације са хармонијским успоравањем 03097485-RT Остварује континуалну ротацију млазнице од 0-360° (тачност ±0,01°, максимална брзина 600 о/мин)
Систем за генерисање вакуума 03097485-VG Двоканална независна контрола (степен вакуума подесив -90kPa~+60kPa)
Јединица за повратну информацију о притиску 03097485-PS Праћење притиска монтаже у реалном времену (0,01-10N, брзина узорковања 1kHz)
Интелигентни дијагностички модул 03097485-DM Интегрисани сензори температуре/вибрација/струје, подржава предвиђање кварова
II. Мере предострожности при употреби
1. Спецификације за инсталацију
Равност површине за постављање је ≤0,005 мм/м, а потребан је обртни одвијач (вијак М6/4,5 Н·м)
Калибрациона вредност синхроног затезања каиша је 40±2Hz (детектовано фреквенцијалним мерачем)
2. Ограничења рада
Параметар Гранична вредност Последице прекорачења границе
Максимално убрзање 15m/s² Може проузроковати ломљење зупчаника хармонијског редуктора
Непрекидна радна температура -10℃~60℃ Демагнетизација перманентног магнета/старење заптивног прстена
Мешање вакуумских канала је забрањено. Унакрсна контаминација узрокује летење делова компоненти.
3. Захтеви за компатибилност
Компатибилно само са ASM SIPLACE TX серијом и новијим моделима
Потребна верзија фирмвера ≥V6.2.1 (стара верзија захтева надоградњу матичне плоче)
III. Уобичајене поруке о грешкама и обрада
Код грешке Значење Обрада у хитним случајевима Основно решење
E9741 Положај Z-осе је ван толеранције. Обуставите употребу абнормалне млазнице. 1. Поново калибришите лењир решетке.
2. Проверите паралелност вођице
E9742 Ненормалан вакуумски притисак Пребаците се на резервни канал 1. Очистите филтер
2. Замените соленоидни вентил
E9743 Квар ротационог енкодера Поново покрените након ручног нулирања 1. Очистите диск енкодера
2. Замените модул енкодера
E9744 Температура прелази 65℃ Аутоматски смањите брзину 1. Проверите вентилатор за хлађење
2. Оптимизујте поступак монтаже
IV. Метод одржавања
1. План периодичног одржавања
Период Ставка Технички стандард
Дневно чишћење млазнице Преостала паста за лемљење ≤0,1 мг (детектовано вагом)
Недељно подмазивање вођица Користите маст Kluber ISOFLEX NBU15
Месечни тест непропусности вакуумског система Тест притиска (пад притиска -80kPa/5min ≤5kPa)
Квартално демонтажа и преглед хармонијског редуктора Трошење зупчаника ≤0,005 мм
2. Процес дубинског одржавања
Корак 1: Раставите ротациони модул
Користите специјални извлакач (ASM P/N: 03090021)
Забележите редослед уградње валовитог заптивача
Корак 2: Замена лежаја
Мора се заменити у пару (NSK P4 угаони контактни лежај)
Преднапрезање подешено на зазор од 0,02-0,03 мм
В. Уобичајене грешке и идеје за одржавање
Случај 1: Двоструко кретање Z-осе није синхронизовано
Феномен: Монтиране компоненте су нагнуте
Дијагностички процес:
Користите микрометар да измерите паралелизам две осе (потребно је подесити >0,01 мм)
Проверите хабање синхроног каиша (деформација зубаца >0,2 мм, замена)
План одржавања:
Поновите механичко нивелисање портала
Ажурирање параметара кретања (потребно је овлашћење ASM инжењера)
Случај 2: Квар вакуумске адсорпције
Стабло анализе узрока:
Графикон
Код
VI. Правац технолошке надоградње
Интелигентно предиктивно одржавање
Анализа вибрационог спектра помоћу вештачке интелигенције биће подржана 2024. године (упозорење о квару лежаја 3 недеље унапред)
Лагана трансформација
Шипка млазнице од угљеничних влакана (смањење тежине од 30%, повећање брзине од 15%)
VII. Предлози за управљање резервним деловима
Кључни резервни делови Однос залиха Време замене
Склоп хармонијског редуктора 1:5 2,5 сата
Модул вакуумског генератора 1:10 0,5 сати
Сензор притиска 1:8 1 сат
ВИИИ. Резиме
TWIN HEAD постиже водећу тачност постављања од ±15μm@3σ у индустрији захваљујући независној контроли са два погона + хармонијском погону. Посебну пажњу треба обратити током одржавања:
Забрањено је мешање млазница са различитим стањима истрошености
Тест динамичке равнотеже мора се обављати сваког месеца
Препоручује се конфигурисање анализатора вибрација за праћење статуса