en
id
sk
srp
swe
it
pt
ben
may
bel
nl
fra
th
vie
ru
jp
kor
de
arm
aze
bos
bul
bur
cs
dan
div
el
est
fil
fin
gle
glg
grn
heb
hi
hkm
hrv
hu
ice
kan
kin
lao
lav
lit
ltz
lug
mao
mlt
nep
nor
nya
ori
orm
per
pl
rom
san
som
spa
swa
tam
tr
ukr
urd
wel
xho
I. Thành phần cấu trúc và chức năng phụ trợ cốt lõi
1. Chức năng phụ kiện cốt lõi
Phụ kiện Mô hình Chức năng
Động cơ tuyến tính trục Z kép 03097485-ZM Điều khiển độc lập chuyển động thẳng đứng của hai vòi phun (hành trình 0-20mm, độ phân giải 0,1μm)
Mô-đun quay giảm tốc hài hòa 03097485-RT Thực hiện quay liên tục 0-360° của vòi phun (độ chính xác ±0,01°, tốc độ tối đa 600 vòng/phút)
Hệ thống tạo chân không 03097485-VG Điều khiển độc lập hai kênh (độ chân không -90kPa~+60kPa có thể điều chỉnh)
Đơn vị phản hồi áp suất 03097485-PS Giám sát áp suất lắp đặt theo thời gian thực (0,01-10N, tốc độ lấy mẫu 1kHz)
Mô-đun chẩn đoán thông minh 03097485-DM Cảm biến nhiệt độ/rung động/dòng điện tích hợp, hỗ trợ dự đoán lỗi
II. Thận trọng khi sử dụng
1. Thông số kỹ thuật lắp đặt
Độ phẳng của bề mặt lắp đặt là ≤0,005mm/m và cần có tua vít lực (vít M6/4,5N·m)
Giá trị hiệu chuẩn của độ căng đai đồng bộ là 40±2Hz (được phát hiện bởi máy đo tần số)
2. Hạn chế hoạt động
Tham số Giá trị giới hạn Hậu quả của việc vượt quá giới hạn
Gia tốc tối đa 15m/s² Có thể làm hỏng bánh răng của bộ giảm tốc hài
Nhiệt độ hoạt động liên tục -10℃~60℃ Khử từ nam châm vĩnh cửu/lão hóa vòng đệm
Việc trộn lẫn các kênh chân không bị cấm. Nhiễm chéo gây ra các bộ phận bay của thành phần
3. Yêu cầu về khả năng tương thích
Chỉ tương thích với dòng ASM SIPLACE TX trở lên
Phiên bản phần mềm yêu cầu ≥V6.2.1 (phiên bản cũ yêu cầu nâng cấp bo mạch chủ)
III. Các thông báo lỗi thường gặp và cách xử lý
Mã lỗi Ý nghĩa Xử lý khẩn cấp Giải pháp cơ bản
E9741 Vị trí trục Z nằm ngoài dung sai Tạm dừng sử dụng vòi phun bất thường 1. Hiệu chỉnh lại thước đo lưới
2. Kiểm tra độ song song của thanh ray dẫn hướng
E9742 Áp suất chân không bất thường Chuyển sang kênh dự phòng 1. Làm sạch bộ lọc
2. Thay thế van điện từ
E9743 Lỗi bộ mã hóa quay Khởi động lại sau khi đưa về số 0 thủ công 1. Vệ sinh đĩa mã hóa
2. Thay thế mô-đun mã hóa
E9744 Nhiệt độ vượt quá 65℃ Tự động giảm tốc độ 1. Kiểm tra quạt làm mát
2. Tối ưu hóa quy trình lắp đặt
IV. Phương pháp bảo trì
1. Kế hoạch bảo trì định kỳ
Tiêu chuẩn kỹ thuật Mục Thời kỳ
Vệ sinh thanh phun hàng ngày Kem hàn còn lại ≤0,1mg (phát hiện bằng cân)
Bôi trơn ray dẫn hướng hàng tuần Sử dụng mỡ Kluber ISOFLEX NBU15
Kiểm tra độ kín khí của hệ thống chân không hàng tháng Kiểm tra áp suất (-80kPa/5 phút giảm áp suất ≤5kPa)
Tháo rời và kiểm tra bộ giảm tốc Harmonic hàng quý Độ mòn bánh răng ≤0,005mm
2. Quy trình bảo trì sâu
Bước 1: Tháo rời mô-đun quay
Sử dụng dụng cụ kéo chuyên dụng (ASM P/N: 03090021)
Ghi lại thứ tự lắp đặt gioăng sóng
Bước 2: Thay thế vòng bi
Phải thay thế theo cặp (vòng bi tiếp xúc góc cấp NSK P4)
Tải trước được điều chỉnh ở khoảng hở 0,02-0,03mm
V. Các lỗi thường gặp và ý tưởng bảo trì
Trường hợp 1: Chuyển động trục Z kép không đồng bộ
Hiện tượng: Các thành phần được gắn kết bị nghiêng
Quy trình chẩn đoán:
Sử dụng micrômet để đo độ song song của hai trục (cần điều chỉnh ＞0,01mm)
Kiểm tra độ mòn của dây đai đồng bộ (biến dạng răng ＞0,2mm thay thế)
Kế hoạch bảo trì:
Làm lại việc cân bằng cơ học của giàn
Cập nhật các thông số chuyển động (yêu cầu có thẩm quyền của kỹ sư ASM)
Trường hợp 2: Sự cố hấp phụ chân không
Cây phân tích nguyên nhân gốc rễ:
Biểu đồ
Mã số
VI. Hướng nâng cấp công nghệ
Bảo trì dự đoán thông minh
Phân tích AI phổ rung động sẽ được hỗ trợ vào năm 2024 (cảnh báo về sự cố ổ trục trước 3 tuần)
Biến đổi nhẹ
Thanh vòi phun sợi carbon (giảm trọng lượng 30%, tăng tốc độ 15%)
VII. Đề xuất quản lý phụ tùng thay thế
Tỷ lệ tồn kho phụ tùng thay thế chính Thời gian thay thế
Lắp ráp bộ giảm tốc hài hòa 1:5 2,5 giờ
Mô-đun máy phát chân không 1:10 0,5 giờ
Cảm biến áp suất 1:8 1 giờ
VIII. Bản tóm tắt
TWIN HEAD đạt được độ chính xác vị trí ±15μm@3σ hàng đầu trong ngành thông qua điều khiển độc lập ổ đĩa kép + ổ đĩa hài hòa. Cần đặc biệt chú ý trong quá trình bảo trì:
Không được phép trộn lẫn các thanh vòi phun có trạng thái mài mòn khác nhau
Kiểm tra cân bằng động phải được thực hiện hàng tháng
Nên cấu hình máy phân tích rung động để theo dõi trạng thái
