НОВ ASM SIPLACE двойна глава 03097485

I. Структурен състав и основни спомагателни функции

1. Основни допълнителни функции

Аксесоари Модел Функция

Двоен линеен мотор по Z-ос 03097485-ZM. Независимо контролира вертикалното движение на две дюзи (ход 0-20 мм, резолюция 0,1 μm).

Модул за хармонично забавяне на въртенето 03097485-RT. Осъществява непрекъснато въртене на дюзата от 0 до 360° (точност ±0,01°, максимална скорост 600 об/мин).

Система за генериране на вакуум 03097485-VG Двуканално независимо управление (степен на вакуум -90kPa~+60kPa регулируема)

Устройство за обратна връзка по налягане 03097485-PS Мониторинг на монтажното налягане в реално време (0,01-10N, честота на дискретизация 1kHz)

Интелигентен диагностичен модул 03097485-DM Вградени сензори за температура/вибрации/ток, поддържат прогнозиране на повреди

II. Предпазни мерки при употреба

1. Спецификации за монтаж

Равността на монтажната повърхност е ≤0,005 мм/м и е необходима динамометрична отвертка (винт M6/4,5 N·m).

Калибровъчната стойност на синхронното опъване на ремъка е 40±2Hz (открита от честотомер)

2. Ограничения за експлоатация

Параметър Гранична стойност Последици от превишаване на границата

Максимално ускорение 15m/s² Може да доведе до счупване на зъбното колело на хармоничния редуктор

Непрекъсната работна температура -10℃~60℃ Демагнетизиране на постоянния магнит/стареене на уплътнителния пръстен

Смесването на вакуумни канали е забранено. Кръстосаното замърсяване причинява летящи части от компонентите.

3. Изисквания за съвместимост

Съвместим само с ASM SIPLACE TX серия и по-нови модели

Необходима версия на фърмуера ≥V6.2.1 (старата версия изисква надграждане на дънната платка)

III. Често срещани съобщения за грешки и обработка

Код за грешка Значение Обработка при спешни случаи Основно решение

E9741 Позицията на оста Z е извън допустимото отклонение. Преустановете използването на необичайна дюза. 1. Калибрирайте отново линийката за решетка.

2. Проверете успоредността на водещата релса

E9742 Ненормално вакуумно налягане Превключете към резервен канал 1. Почистете филтъра

2. Сменете електромагнитния клапан

E9743 Повреда на ротационния енкодер Рестартирайте след ръчно нулиране 1. Почистете диска на енкодера

2. Сменете модула на енкодера

E9744 Температурата надвишава 65℃ Автоматично намаляване на скоростта 1. Проверете охлаждащия вентилатор

2. Оптимизирайте процедурата по монтаж

IV. Метод на поддръжка

1. План за периодична поддръжка

Период Позиция Технически стандарт

Ежедневно почистване на дюзата Остатъчна спояваща паста ≤0,1 мг (открита чрез везна)

Седмично смазване на водещата релса Използвайте грес Kluber ISOFLEX NBU15

Месечно Тест за херметичност на вакуумната система Тест за налягане (-80kPa/5min пад на налягане ≤5kPa)

Тримесечно демонтиране и проверка на хармоничния редуктор Износване на зъбното колело ≤0,005 мм

2. Процес на дълбока поддръжка

Стъпка 1: Разглобете ротационния модул

Използвайте специален инструмент за издърпване (ASM P/N: 03090021)

Запишете реда на монтаж на гофрираното уплътнение

Стъпка 2: Подмяна на лагер

Трябва да се сменят по двойки (ъглов контактен лагер NSK клас P4)

Предварителното натоварване е регулирано на хлабина от 0,02-0,03 мм

V. Често срещани повреди и идеи за поддръжка

Случай 1: Движението на двете оси Z не е синхронизирано

Явление: Монтираните компоненти са наклонени

Диагностичен процес:

Използвайте микрометър, за да измерите успоредността на двете оси (необходимо е регулиране >0,01 мм)

Проверете износването на синхронния ремък (деформация на зъба ＞0,2 мм, подмяна)

План за поддръжка:

Повторете механичното нивелиране на портала

Актуализиране на параметрите на движение (изисква се правомощия на ASM инженер)

Случай 2: Неуспех на вакуумната адсорбция

Дърво на анализа на първопричините:

Диаграма

Код

VI. Насока за технологично обновление

Интелигентна прогнозна поддръжка

Анализът на вибрационния спектър с изкуствен интелект ще бъде поддържан през 2024 г. (предупреждение за повреда на лагера 3 седмици предварително)

Лека трансформация

Дюза от въглеродни влакна (намаление на теглото с 30%, увеличение на скоростта с 15%)

VII. Предложения за управление на резервни части

Коефициент на наличност на ключови резервни части Време за подмяна

Сглобяване на хармоничен редуктор 1:5 2,5 часа

Модул на вакуумния генератор 1:10 0,5 часа

Сензор за налягане 1:8 1 час

VIII. Резюме

TWIN HEAD постига водещата в индустрията точност на поставяне от ±15μm@3σ чрез независимо управление с двойно задвижване + хармонично задвижване. Специално внимание трябва да се обърне по време на поддръжка:

Забранено е смесването на дюзови пръти с различни състояния на износване

Тестът за динамичен баланс трябва да се извършва всеки месец

Препоръчително е да се конфигурира вибрационен анализатор за наблюдение на състоянието