थिंकलेजर सेमीकन्डक्टर लेजर मार्किङ मेसिन SC300

ThinkLaser SC300 एक उच्च-अन्त, पूर्ण स्वचालित "सफ्ट मार्किंग" लेजर मार्किङ प्रणाली हो जुन विशेष गरी 300mm वेफरहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो। यसको मुख्य मूल्य वेफरलाई क्षति पुर्‍याउने वा फोहोर उत्पन्न नगरी टिकाउ, अत्यधिक सुवाच्य चिन्हहरू लागू गर्ने क्षमतामा निहित छ - जसले गर्दा फ्रन्ट-एन्ड अर्धचालक प्रशोधन भित्र उपज र ट्रेसेबिलिटीको लागि अत्यन्त कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ।

यो मूल रूपमा वेफरहरू सफा कोठा वातावरणमा प्रवेश गरेपछि प्रदूषण-मुक्त मार्किङको कडा मागलाई पूरा गर्न विकसित गरिएको थियो।

**सञ्चालन सिद्धान्तहरू र मुख्य प्रविधिहरू**

SC300 को सञ्चालन र प्राविधिक फाइदाहरू निम्न तुलना मार्फत राम्रोसँग बुझ्न सकिन्छ:

**मूल प्रविधि** | **सञ्चालन सिद्धान्त** | **मुख्य फाइदाहरू**

**सुपरसफ्टमार्क™ मार्किङ** | पेटेन्ट गरिएको डायोड-पम्प्ड सोलिड-स्टेट (DPSS) लेजर प्रयोग गर्दछ; लेजर ऊर्जालाई सटीक रूपमा नियन्त्रण गरेर, यसले वेफर सतहमा २.५µm जति उथले चिन्हहरू सिर्जना गर्दछ, भौतिक क्षति नगरी सामग्रीको परावर्तन मात्र परिवर्तन गर्दछ। | फोहोर-मुक्त, उच्च सफाई, स्पष्ट चिन्हहरू, र वेफरमा कुनै क्षति छैन।

**पेटेन्ट गरिएको लेजर टेक्नोलोजी** | असाधारण पल्स स्थिरता (<०.५%) भएको १०५३ एनएम एनडी:वाईएलएफ लेजर प्रयोग गर्दछ, जसले प्रत्येक चिन्हित डटको गहिराई एकरूप र राम्रोसँग बनेको सुनिश्चित गर्दछ। | उच्च डट सर्कुलरिटी (प्रमुख-देखि-माइनर अक्ष अनुपात <१.१) को साथ स्थिर मार्किङ गुणस्तर, कडा गुणस्तर मापदण्डहरू पूरा गर्दै।

**उन्नत नियन्त्रण प्रणाली** | प्रणाली-स्तरको बन्द-लूप नियन्त्रण र SECS/GEM इन्टरफेसलाई एकीकृत गर्दछ, जसले गर्दा तथ्याङ्कीय प्रक्रिया नियन्त्रण (SPC) स्तरसम्म सबै लेजर प्रदर्शन डेटाको सटीक रेकर्डिङ सक्षम हुन्छ। | अत्यधिक नियन्त्रणयोग्य र ट्रेसयोग्य प्रक्रिया, कारखाना स्वचालन प्रणालीहरूमा निर्बाध एकीकरण गर्न सक्षम।

**प्राविधिक विशिष्टताहरू**

यसको मुख्य प्रविधिहरूमा आधारित, SC300 मा निम्न प्रमुख प्राविधिक विशिष्टताहरू छन्:

**समर्थित वेफर आकारहरू:** मानक ३०० मिमी (१२-इन्च), २०० मिमी (८-इन्च) वेफरहरूको लागि तलतिर अनुकूलताको साथ।

**मार्किङ कार्यसम्पादन:** प्रति घण्टा १२५ वेफर्स (WPH) सम्मको एकल-क्यारेक्टर मार्किङ गति। प्रत्येक मार्किङ समूहले अधिकतम ८० क्यारेक्टरहरूलाई समर्थन गर्दछ।

**मार्किङ शुद्धता:** उच्च स्थिति दोहोरिने क्षमता, ५०×५० मिमी क्षेत्र भित्र ±०.१२५ मिमी प्राप्त गर्दै। भौतिक विशिष्टताहरू: एयर-कूलिंग प्रणाली डिजाइनको विशेषता रहेको छ र CE, SEMI S2, S8, र S14 सहित धेरै अन्तर्राष्ट्रिय सुरक्षा र वातावरणीय मापदण्डहरूको पालना गर्दछ।

आवेदन क्षेत्रहरू

SC300 ले ठूला-स्तरीय अर्धचालक उत्पादन लाइनहरू भित्र कोर ट्रेसेबिलिटी उपकरणको रूपमा काम गर्दछ, मुख्य रूपमा निम्नका लागि प्रयोग गरिन्छ:

फ्रन्ट-एन्ड वेफर निर्माण: उपज विश्लेषण, प्रक्रिया अनुकूलन, र वेफर ट्र्याकिङलाई सहज बनाउन अद्वितीय आईडीहरू सहित वेफरहरूलाई चिन्ह लगाउने।

उन्नत प्याकेजिङ: वेफर-लेभल प्याकेजिङ (WLP) प्रक्रियाहरूको क्रममा पुनर्निर्माण गरिएका वेफर वा प्यानलहरूमा "नरम चिन्हहरू" प्रदान गर्दै, जसले गर्दा अन्त्य-देखि-अन्त प्रक्रिया ट्रेसेबिलिटी सुनिश्चित हुन्छ।

कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टरहरू: विशेष निर्माण प्रक्रियाहरूको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अर्को पुस्ताको अर्धचालक सामग्रीहरू - जस्तै SiC, GaN, र GaAs - लाई सक्षम रूपमा प्रशोधन गर्ने।

पूरक उत्पादनहरू

थिंकलेजरले एक व्यापक वेफर पहिचान समाधान सुइट प्रदान गर्दछ, जस भित्र SC300 ले महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ:

HM300 को पूरक: SC300 "नरम चिन्ह लगाउने" मा विशेषज्ञता राख्छ - शून्य सतह क्षति वा प्रदूषण आवश्यक पर्ने प्रविधि - जबकि HM300 उच्च टिकाउपनको माग गर्ने "कडा चिन्ह लगाउने" अनुप्रयोगहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो।

सिग्माक्लिन/सिग्माडिएससी उत्पादन लाइनको अंश: SC300 ले ३०० मिमी बजारमा ध्यान केन्द्रित गर्दा, सिग्माक्लिन र सिग्माडिएससी प्रणालीहरूले २०० मिमी र साना आकारका वेफरहरूको लागि स्वचालित सफ्ट-मार्किङ समाधानको रूपमा काम गर्छन्; सँगै, यी प्रणालीहरूले वेफर मार्किङ समाधानहरूको लागि पूर्ण उत्पादन म्याट्रिक्स बनाउँछन्।

निष्कर्षमा

निष्कर्षमा, ThinkLaser SC300 एक प्राविधिक रूपमा उन्नत सफ्ट-मार्किङ प्रणाली हो जुन विशेष गरी ठूलो मात्रामा 300mm वेफर निर्माणको लागि ईन्जिनियर गरिएको छ। यसको मुख्य मूल्य यसको स्वामित्वको SuperSoftMark™ प्रविधिमा निहित छ, जसले वेफर सतहलाई कुनै पनि क्षति नगरी कुशल, धुलो-रहित, र उच्च-परिशुद्धता मार्किङ सक्षम बनाउँछ - यसलाई आधुनिक अर्धचालक उत्पादनमा अन्त्य-देखि-अन्त प्रक्रिया ट्रेसेबिलिटी सुनिश्चित गर्न अपरिहार्य उपकरण बनाउँछ।