திங்க்லேசர் செமிகண்டக்டர் லேசர் மார்க்கிங் மெஷின் SC300

திங்க்லேசர் SC300 என்பது 300 மிமீ வேஃபர்களுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர்தர, முழுமையாகத் தானியங்கு "மென் குறியிடல்" லேசர் குறியிடும் அமைப்பாகும். வேஃபருக்கு சேதம் விளைவிக்காமலும், சிதறல்களை உருவாக்காமலும், நீடித்து நிலைக்கும், மிகத் தெளிவாகப் படிக்கக்கூடிய குறியீடுகளைப் பயன்படுத்தும் அதன் திறனே இதன் முக்கிய மதிப்பாகும். இதன்மூலம், முன்முனை குறைக்கடத்திச் செயலாக்கத்தில் உற்பத்தி அளவு மற்றும் தடமறிதலுக்கான மிகவும் கடுமையான தேவைகளை இது பூர்த்தி செய்கிறது.

தூய்மையான அறைக்குள் நுழைந்தவுடன், வேஃபர்களை மாசுபடாமல் குறியிடுவதற்கான கடுமையான தேவையைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக இது முதலில் உருவாக்கப்பட்டது.

இயக்கக் கொள்கைகள் மற்றும் முக்கிய தொழில்நுட்பங்கள்

SC300-இன் செயல்பாடு மற்றும் தொழில்நுட்ப நன்மைகளை பின்வரும் ஒப்பீட்டின் மூலம் சிறப்பாகப் புரிந்துகொள்ளலாம்:

**முக்கிய தொழில்நுட்பம்** | **செயல்பாட்டுக் கொள்கை** | **முக்கிய நன்மைகள்**

**சூப்பர்சாஃப்ட்மார்க்™ குறியிடுதல்** | காப்புரிமை பெற்ற டையோடு-பம்ப்டு சாலிட்-ஸ்டேட் (DPSS) லேசரைப் பயன்படுத்துகிறது; லேசர் ஆற்றலைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம், இது வேஃபர் மேற்பரப்பில் 2.5µm அளவு ஆழமற்ற குறியீடுகளை உருவாக்குகிறது, மேலும் பொருளின் பிரதிபலிப்புத் தன்மையை மட்டுமே மாற்றி, எந்தவொரு பௌதீக சேதத்தையும் ஏற்படுத்தாது. | குப்பைகள் அற்றது, உயர் தூய்மை, தெளிவான குறியீடுகள், மற்றும் வேஃபருக்கு எந்த சேதமும் இல்லை.

**காப்புரிமை பெற்ற லேசர் தொழில்நுட்பம்** | மிகச்சிறந்த துடிப்பு நிலைத்தன்மையுடன் (<0.5%) கூடிய 1053 nm Nd:YLF லேசரைப் பயன்படுத்துகிறது, இது குறிக்கப்பட்ட ஒவ்வொரு புள்ளியின் ஆழமும் சீராகவும் நேர்த்தியாகவும் இருப்பதை உறுதி செய்கிறது. | கடுமையான தரத் தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில், உயர் புள்ளி வட்டத்தன்மையுடன் (முக்கிய-துணை அச்சு விகிதம் <1.1) கூடிய நிலையான குறிக்கும் தரம்.

**மேம்பட்ட கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு** | அமைப்பு-நிலை மூடிய-சுற்று கட்டுப்பாடு மற்றும் ஒரு SECS/GEM இடைமுகத்தை ஒருங்கிணைத்து, அனைத்து லேசர் செயல்திறன் தரவுகளையும் புள்ளியியல் செயல்முறைக் கட்டுப்பாட்டு (SPC) நிலை வரை துல்லியமாகப் பதிவுசெய்ய உதவுகிறது. | தொழிற்சாலை தானியங்கு அமைப்புகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கக்கூடிய, மிகவும் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய மற்றும் தடமறியக்கூடிய செயல்முறை.

தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகள்

அதன் முக்கிய தொழில்நுட்பங்களின் அடிப்படையில், SC300 பின்வரும் முக்கிய தொழில்நுட்ப விவரக்குறிப்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

ஆதரிக்கப்படும் வேஃபர் அளவுகள்: நிலையான 300மிமீ (12-அங்குலம்), மேலும் 200மிமீ (8-அங்குலம்) வேஃபர்களுக்கும் கீழ்நோக்கிய இணக்கத்தன்மை கொண்டது.

**குறியிடும் செயல்திறன்:** ஒரு மணி நேரத்திற்கு 125 வேஃபர்கள் (WPH) வரை ஒற்றை எழுத்தில் குறியிடும் வேகம். ஒவ்வொரு குறியிடும் குழுவும் அதிகபட்சமாக 80 எழுத்துக்களை ஆதரிக்கிறது.

**குறியிடும் துல்லியம்:** 50×50 மிமீ பரப்பளவிற்குள் ±0.125 மிமீ துல்லியத்துடன், உயர் நிலைப்படுத்தல் மீண்டும் மீண்டும் நிகழும் தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. பௌதீக விவரக்குறிப்புகள்: காற்று குளிரூட்டும் அமைப்பு வடிவமைப்பைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் CE, SEMI S2, S8, மற்றும் S14 உள்ளிட்ட பல சர்வதேச பாதுகாப்பு மற்றும் சுற்றுச்சூழல் தரநிலைகளுக்கு இணங்குகிறது.

பயன்பாட்டுப் பகுதிகள்

SC300 ஆனது பெரிய அளவிலான குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தொடர்களில் ஒரு முக்கிய தடமறியும் சாதனமாகச் செயல்படுகிறது, இது முதன்மையாகப் பின்வருவனவற்றிற்காகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

முன்முனை வேஃபர் உருவாக்கம்: உற்பத்திப் பகுப்பாய்வு, செயல்முறை மேம்படுத்தல் மற்றும் வேஃபர் கண்காணிப்பை எளிதாக்குவதற்காக, வேஃபர்களில் தனித்துவமான அடையாள எண்களைக் குறியிடுதல்.

மேம்பட்ட பேக்கேஜிங்: வேஃபர்-லெவல் பேக்கேஜிங் (WLP) செயல்முறைகளின் போது, ​​மறுசீரமைக்கப்பட்ட வேஃபர்கள் அல்லது பேனல்களில் "மென்மையான அடையாளங்களை" வழங்குவதன் மூலம், செயல்முறையின் தொடக்கம் முதல் இறுதி வரையிலான தடமறிதலை உறுதி செய்தல்.

கூட்டு குறைக்கடத்திகள்: சிறப்பு உற்பத்தி செயல்முறைகளின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில், SiC, GaN மற்றும் GaAs போன்ற அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்திப் பொருட்களைத் திறமையாகப் பதப்படுத்துதல்.

நிரப்பு தயாரிப்புகள்

திங்க்லேசர் ஒரு விரிவான வேஃபர் அடையாளத் தீர்வுத் தொகுப்பை வழங்குகிறது, அதில் SC300 ஒரு முக்கியப் பங்கை வகிக்கிறது:

HM300-க்கு துணையாக: SC300 ஆனது, மேற்பரப்பில் எந்தவித சேதமோ அல்லது மாசுபடுதலோ தேவைப்படாத 'மென்மையான குறியிடுதல்' (soft marking) நுட்பத்தில் சிறந்து விளங்குகிறது. அதேசமயம், HM300 ஆனது அதிக நீடித்துழைக்கும் தன்மையைக் கோரும் 'கடினமான குறியிடுதல்' (hard marking) பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

சிக்மாக்ளீன்/சிக்மாடிஎஸ்சி தயாரிப்பு வரிசையின் ஒரு பகுதி: SC300 ஆனது 300மிமீ சந்தையில் கவனம் செலுத்தும் அதே வேளையில், சிக்மாக்ளீன் மற்றும் சிக்மாடிஎஸ்சி அமைப்புகள் 200மிமீ மற்றும் அதற்கும் சிறிய அளவிலான வேஃபர்களுக்கான தானியங்கு மென்-குறியிடல் தீர்வுகளாகச் செயல்படுகின்றன; இந்த அமைப்புகள் இணைந்து, வேஃபர் குறியிடல் தீர்வுகளுக்கான ஒரு முழுமையான தயாரிப்புத் தொகுப்பை உருவாக்குகின்றன.

சுருக்கம்

முடிவாக, திங்க்லேசர் SC300 என்பது பெரிய அளவிலான 300மிமீ வேஃபர் உற்பத்திக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு தொழில்நுட்ப ரீதியாக மேம்பட்ட மென்-குறியிடும் அமைப்பாகும். இதன் முக்கிய மதிப்பு, இதன் தனியுரிமமான சூப்பர்சாஃப்ட்மார்க்™ தொழில்நுட்பத்தில் அடங்கியுள்ளது. இது வேஃபர் மேற்பரப்பிற்கு எந்த சேதத்தையும் ஏற்படுத்தாமல், திறமையான, தூசியற்ற மற்றும் உயர்-துல்லியமான குறியிடுதலைச் சாத்தியமாக்குகிறது. இதனால், நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முழுமையான செயல்முறைத் தடமறிதலை உறுதி செய்வதற்கு இது ஒரு இன்றியமையாத சாதனமாக விளங்குகிறது.