ಥಿಂಕ್‌ಲೇಸರ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಲೇಸರ್ ಗುರುತು ಮಾಡುವ ಯಂತ್ರ SC300

ಥಿಂಕ್‌ಲೇಸರ್ SC300 ಎಂಬುದು 300mm ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗಾಗಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ "ಸಾಫ್ಟ್ ಮಾರ್ಕಿಂಗ್" ಲೇಸರ್ ಮಾರ್ಕಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಮೌಲ್ಯವು ವೇಫರ್‌ಗೆ ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ಅಥವಾ ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸದೆ ಬಾಳಿಕೆ ಬರುವ, ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಪಷ್ಟವಾದ ಗುರುತುಗಳನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯದಲ್ಲಿದೆ - ಇದರಿಂದಾಗಿ ಮುಂಭಾಗದ ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯೊಳಗೆ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಗಾಗಿ ಅತ್ಯಂತ ಕಠಿಣ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.

ವೇಫರ್‌ಗಳು ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿದ ನಂತರ ಮಾಲಿನ್ಯ-ಮುಕ್ತ ಗುರುತು ಹಾಕುವ ಕಠಿಣ ಬೇಡಿಕೆಯನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಇದನ್ನು ಮೂಲತಃ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲಾಯಿತು.

**ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತತ್ವಗಳು ಮತ್ತು ಮೂಲ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳು**

SC300 ನ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ತಾಂತ್ರಿಕ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಹೋಲಿಕೆಯ ಮೂಲಕ ಚೆನ್ನಾಗಿ ಅರ್ಥಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು:

**ಪ್ರಮುಖ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ** | **ಕಾರ್ಯಾಚರಣಾ ತತ್ವ** | **ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲಗಳು**

**ಸೂಪರ್‌ಸಾಫ್ಟ್‌ಮಾರ್ಕ್™ ಮಾರ್ಕಿಂಗ್** | ಪೇಟೆಂಟ್ ಪಡೆದ ಡಯೋಡ್-ಪಂಪ್ಡ್ ಸಾಲಿಡ್-ಸ್ಟೇಟ್ (DPSS) ಲೇಸರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ; ಲೇಸರ್ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಇದು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ 2.5µm ರಷ್ಟು ಆಳವಿಲ್ಲದ ಗುರುತುಗಳನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ, ಭೌತಿಕ ಹಾನಿಯನ್ನುಂಟುಮಾಡದೆ ವಸ್ತುವಿನ ಪ್ರತಿಫಲನವನ್ನು ಮಾತ್ರ ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ. | ಶಿಲಾಖಂಡರಾಶಿ-ಮುಕ್ತ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ವಚ್ಛತೆ, ಸ್ಪಷ್ಟ ಗುರುತುಗಳು ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ಗೆ ಯಾವುದೇ ಹಾನಿ ಇಲ್ಲ.

**ಪೇಟೆಂಟ್ ಪಡೆದ ಲೇಸರ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ** | ಅಸಾಧಾರಣ ಪಲ್ಸ್ ಸ್ಥಿರತೆಯೊಂದಿಗೆ (<0.5%) 1053 nm Nd:YLF ಲೇಸರ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಪ್ರತಿ ಗುರುತಿಸಲಾದ ಚುಕ್ಕೆಯ ಆಳವು ಸ್ಥಿರವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ರೂಪುಗೊಂಡಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. | ಹೆಚ್ಚಿನ ಚುಕ್ಕೆ ವೃತ್ತಾಕಾರದೊಂದಿಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಗುರುತು ಗುಣಮಟ್ಟ (ಮೇಜರ್-ಟು-ಮೈನರ್ ಅಕ್ಷದ ಅನುಪಾತ <1.1), ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ.

**ಸುಧಾರಿತ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ** | ಸಿಸ್ಟಮ್-ಮಟ್ಟದ ಕ್ಲೋಸ್ಡ್-ಲೂಪ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು SECS/GEM ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಅನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಂಖ್ಯಾಶಾಸ್ತ್ರೀಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣ (SPC) ಹಂತದವರೆಗೆ ಎಲ್ಲಾ ಲೇಸರ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಡೇಟಾವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ದಾಖಲಿಸಲು ಅನುವು ಮಾಡಿಕೊಡುತ್ತದೆ. | ಹೆಚ್ಚು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದಾದ ಮತ್ತು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚಬಹುದಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಕಾರ್ಖಾನೆ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಸರಾಗವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

**ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು**

ಅದರ ಪ್ರಮುಖ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ, SC300 ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಮುಖ ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:

**ಬೆಂಬಲಿತ ವೇಫರ್ ಗಾತ್ರಗಳು:** ಪ್ರಮಾಣಿತ 300mm (12-ಇಂಚು), 200mm (8-ಇಂಚು) ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಕೆಳಮುಖ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ.

**ಗುರುತಿಸುವಿಕೆಯ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ:** ಗಂಟೆಗೆ 125 ವೇಫರ್‌ಗಳವರೆಗೆ ಏಕ-ಅಕ್ಷರ ಗುರುತು ವೇಗ (WPH). ಪ್ರತಿ ಗುರುತು ಗುಂಪು ಗರಿಷ್ಠ 80 ಅಕ್ಷರಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ.

**ಗುರುತು ನಿಖರತೆ:** ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಾನೀಕರಣ ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆ, 50×50mm ಪ್ರದೇಶದೊಳಗೆ ±0.125mm ಸಾಧಿಸುವುದು. ಭೌತಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು: ಗಾಳಿ-ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು CE, SEMI S2, S8, ಮತ್ತು S14 ಸೇರಿದಂತೆ ಹಲವಾರು ಅಂತರರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಸುರಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಪರಿಸರ ಮಾನದಂಡಗಳನ್ನು ಅನುಸರಿಸುತ್ತದೆ.

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಪ್ರದೇಶಗಳು

SC300 ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆ ಸಾಧನವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಇದಕ್ಕಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:

ಫ್ರಂಟ್-ಎಂಡ್ ವೇಫರ್ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್: ಇಳುವರಿ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ ಟ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸುಲಭಗೊಳಿಸಲು ಅನನ್ಯ ಐಡಿಗಳೊಂದಿಗೆ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಗುರುತಿಸುವುದು.

ಸುಧಾರಿತ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್: ವೇಫರ್-ಲೆವೆಲ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ (WLP) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪುನರ್ನಿರ್ಮಿಸಿದ ವೇಫರ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ಪ್ಯಾನೆಲ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ "ಮೃದು ಗುರುತುಗಳನ್ನು" ಒದಗಿಸುವುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಅಂತ್ಯದಿಂದ ಅಂತ್ಯದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

ಸಂಯುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕಗಳು: ವಿಶೇಷ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಮುಂದಿನ ಪೀಳಿಗೆಯ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು - SiC, GaN ಮತ್ತು GaA ಗಳನ್ನು - ಸಮರ್ಥವಾಗಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ.

ಪೂರಕ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು

ಥಿಂಕ್‌ಲೇಸರ್ ಸಮಗ್ರ ವೇಫರ್ ಗುರುತಿನ ಪರಿಹಾರ ಸೂಟ್ ಅನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ SC300 ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ:

HM300 ಗೆ ಪೂರಕ: SC300 "ಸಾಫ್ಟ್ ಮಾರ್ಕಿಂಗ್" ನಲ್ಲಿ ಪರಿಣತಿ ಹೊಂದಿದೆ - ಶೂನ್ಯ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ತಂತ್ರ - ಆದರೆ HM300 ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಳಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ "ಹಾರ್ಡ್ ಮಾರ್ಕಿಂಗ್" ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.

ಸಿಗ್ಮಾಕ್ಲೀನ್/ಸಿಗ್ಮಾಡಿಎಸ್‌ಸಿ ಉತ್ಪನ್ನ ಸಾಲಿನ ಭಾಗ: SC300 300mm ಮಾರುಕಟ್ಟೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸಿದರೆ, ಸಿಗ್ಮಾಕ್ಲೀನ್ ಮತ್ತು ಸಿಗ್ಮಾಡಿಎಸ್‌ಸಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು 200mm ಮತ್ತು ಅದಕ್ಕಿಂತ ಚಿಕ್ಕ ಗಾತ್ರದ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಮೃದು-ಗುರುತು ಪರಿಹಾರಗಳಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ; ಒಟ್ಟಾಗಿ, ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ವೇಫರ್ ಗುರುತು ಪರಿಹಾರಗಳಿಗಾಗಿ ಸಂಪೂರ್ಣ ಉತ್ಪನ್ನ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.

ಸಾರಾಂಶ

ಕೊನೆಯಲ್ಲಿ, ಥಿಂಕ್‌ಲೇಸರ್ SC300 ಎಂಬುದು ತಾಂತ್ರಿಕವಾಗಿ ಮುಂದುವರಿದ ಸಾಫ್ಟ್-ಮಾರ್ಕಿಂಗ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದ್ದು, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ 300mm ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ. ಇದರ ಪ್ರಮುಖ ಮೌಲ್ಯವು ಅದರ ಸ್ವಾಮ್ಯದ ಸೂಪರ್‌ಸಾಫ್ಟ್‌ಮಾರ್ಕ್™ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಯಾವುದೇ ಹಾನಿಯಾಗದಂತೆ ದಕ್ಷ, ಧೂಳು-ಮುಕ್ತ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರವಾದ ಗುರುತು ಮಾಡುವಿಕೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ - ಇದು ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಅಂತ್ಯದಿಂದ ಅಂತ್ಯದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುವಿಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಅನಿವಾರ್ಯ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ.