ThinkLaser poluvodički laserski stroj za označavanje SC300

ThinkLaser SC300 je vrhunski, potpuno automatizirani sustav laserskog označavanja "Soft Marking" dizajniran posebno za pločice od 300 mm. Njegova ključna vrijednost leži u sposobnosti nanošenja trajnih, lako čitljivih oznaka bez oštećenja pločice ili stvaranja ostataka - čime se zadovoljavaju izuzetno strogi zahtjevi za prinos i sljedivost unutar prednje obrade poluvodiča.

Izvorno je razvijen kako bi zadovoljio stroge zahtjeve za označavanjem pločica bez kontaminacije nakon što uđu u okruženje čiste sobe.

**Načela rada i temeljne tehnologije**

Rad i tehničke prednosti SC300 mogu se najbolje razumjeti sljedećom usporedbom:

**Osnovna tehnologija** | **Princip rada** | **Ključne prednosti**

**SuperSoftMark™ označavanje** | Koristi patentirani DPSS (diode-Pumped Solid-State) laser; preciznim kontroliranjem laserske energije stvara oznake debljine samo 2,5 µm na površini pločice, mijenjajući samo reflektivnost materijala bez nanošenja fizičkih oštećenja. | Bez ostataka, visoka čistoća, jasne oznake i bez oštećenja pločice.

**Patentirana laserska tehnologija** | Koristi 1053 nm Nd:YLF laser s iznimnom stabilnošću pulsa (<0,5%), osiguravajući da je dubina svake označene točke konzistentna i dobro oblikovana. | Stabilna kvaliteta označavanja s visokom kružnošću točke (omjer glavne i sporedne osi <1,1), zadovoljavajući stroge standarde kvalitete.

**Napredni sustav upravljanja** | Integrira upravljanje zatvorenom petljom na razini sustava i SECS/GEM sučelje, omogućujući precizno bilježenje svih podataka o performansama lasera do razine statističke kontrole procesa (SPC). | Visoko upravljiv i sljediv proces, sposoban za besprijekornu integraciju u sustave tvorničke automatizacije.

**Tehničke specifikacije**

Na temelju svojih ključnih tehnologija, SC300 ima sljedeće ključne tehničke specifikacije:

**Podržane veličine pločica:** Standardne 300 mm (12 inča), s kompatibilnošću s nižim veličinama pločica od 200 mm (8 inča).

**Performanse označavanja:** Brzina označavanja jednim znakom do 125 pločica na sat (WPH). Svaka grupa za označavanje podržava maksimalno 80 znakova.

**Točnost označavanja:** Visoka ponovljivost pozicioniranja, postižući ±0,125 mm unutar područja 50 × 50 mm. Fizičke specifikacije: Ima dizajn sustava hlađenja zrakom i u skladu je s brojnim međunarodnim sigurnosnim i ekološkim standardima, uključujući CE, SEMI S2, S8 i S14.

Područja primjene

SC300 služi kao uređaj za sljedivost jezgre unutar velikih proizvodnih linija poluvodiča, prvenstveno se koristi za:

Izrada pločica na početku: Označavanje pločica jedinstvenim ID-ovima radi olakšavanja analize prinosa, optimizacije procesa i praćenja pločica.

Napredno pakiranje: Omogućavanje "mekih oznaka" na rekonstruiranim pločicama ili panelima tijekom procesa pakiranja na razini pločice (WLP), čime se osigurava sljedivost procesa od početka do kraja.

Složeni poluvodiči: Sposobni za obradu poluvodičkih materijala sljedeće generacije - poput SiC, GaN i GaAs - kako bi se zadovoljili specifični zahtjevi specijaliziranih procesa izrade.

Komplementarni proizvodi

ThinkLaser nudi sveobuhvatan paket rješenja za identifikaciju pločica, unutar kojeg SC300 igra ključnu ulogu:

Dopuna HM300: SC300 je specijaliziran za "meko označavanje" - tehniku ​​koja ne zahtijeva oštećenje ili kontaminaciju površine - dok je HM300 dizajniran za primjene "tvrdog označavanja" koje zahtijevaju visoku izdržljivost.

Dio linije proizvoda SigmaClean/SigmaDSC: Dok se SC300 fokusira na tržište od 300 mm, sustavi SigmaClean i SigmaDSC služe kao automatizirana rješenja za meko označavanje pločica veličine 200 mm i manje; zajedno, ovi sustavi čine kompletnu matricu proizvoda za rješenja označavanja pločica.

Sažetak

Zaključno, ThinkLaser SC300 je tehnološki napredni sustav za meko označavanje posebno dizajniran za proizvodnju pločica od 300 mm velikih razmjera. Njegova ključna vrijednost leži u vlasničkoj SuperSoftMark™ tehnologiji, koja omogućuje učinkovito, bezprašno i visokoprecizno označavanje bez oštećenja površine pločice - što ga čini nezamjenjivim uređajem za osiguravanje sljedivosti procesa od početka do kraja u modernoj proizvodnji poluvodiča.