Μηχανή σήμανσης λέιζερ ThinkLaser SigmaDSC

Η βασική τοποθέτηση του ThinkLaser SigmaDSC είναι αυτή ενός πλήρως αυτοματοποιημένου συστήματος σήμανσης λέιζερ "Hard Marking" - ειδικά σχεδιασμένου για πλακίδια 100 mm έως 200 mm (4 έως 8 ιντσών) - που συμμορφώνεται πλήρως με τα πρότυπα καθαρών χώρων Κλάσης 1 (ISO Κλάση 3).

Η βασική του αξία έγκειται στη χρήση τεχνολογίας λέιζερ με προγραμματιζόμενο έλεγχο βάθους για τη δημιουργία μόνιμων, ευανάγνωστων κωδικών αναγνώρισης σε πλακίδια. Αυτοί οι κωδικοί έχουν σχεδιαστεί για να αντέχουν στις δυσκολίες των επακόλουθων διαδικασιών υψηλής έντασης κατασκευής - όπως η αραίωση της πίσω πλευράς, οι επεξεργασίες υψηλής θερμοκρασίας και ο χημικός καθαρισμός - εξασφαλίζοντας έτσι αυστηρή ιχνηλασιμότητα του προϊόντος καθ' όλη τη διάρκεια του κύκλου ζωής του.

**Βασικές Αρχές**

Ο τεχνολογικός πυρήνας του SigmaDSC περιστρέφεται γύρω από την «Σκληρή Σήμανση»:

**Θερμική σήμανση με μήτρα κουκκίδων:** Αυτή η τεχνική χρησιμοποιεί μια εστιασμένη δέσμη λέιζερ υψηλής ενεργειακής πυκνότητας που κατευθύνεται σε συγκεκριμένα σημεία στην επιφάνεια του πλακιδίου. Αυτό προκαλεί την άμεση και τοπική τήξη ή εξάτμιση του υλικού, σχηματίζοντας φυσικές εσοχές (κοιλότητες) με συγκεκριμένο βάθος (έως 110 μικρά).

**Εξαιρετική Σταθερότητα Παλμού:** Το κλειδί για την επίτευξη ομοιόμορφης σκληρής σήμανσης έγκειται στην εξαιρετική σταθερότητα παλμού προς παλμό της πηγής λέιζερ. Το κατοχυρωμένο με δίοδο λέιζερ στερεάς κατάστασης της ThinkLaser ελέγχει τη σταθερότητα παλμού σε επίπεδο <0,5% σε συχνότητα 1 kHz. Αυτό εξασφαλίζει υψηλό βαθμό συνέπειας στο βάθος και την κυκλικότητα κάθε κουκκίδας, χρησιμεύοντας ως ακρογωνιαίος λίθος για την εγγύηση λόγου διαστάσεων (λόγος κύριου προς δευτερεύοντα άξονα) <1,1 και την εξασφάλιση ανώτερης αναγνωσιμότητας.

**Οπτικά Διπλού Σημείου™:** Ένα κρίσιμο χαρακτηριστικό σχεδιασμού που προσφέρει βελτιωμένη ευελιξία, αυτή η τεχνολογία επιτρέπει στους χρήστες να εναλλάσσονται μεταξύ δύο διακριτών μεγεθών σημείου—που κυμαίνονται από 50µm έως 110µm—μέσω ελέγχου λογισμικού εντός του ίδιου συστήματος, καλύπτοντας έτσι μια ποικιλία υλικών σήμανσης και απαιτήσεων εφαρμογής.

**Βασικά πλεονεκτήματα και προδιαγραφές**

Το SigmaDSC έχει σχεδιαστεί για να χειρίζεται ένα ευρύ φάσμα υλικών υποστρώματος (συμπεριλαμβανομένων πυριτίου, καρβιδίου του πυριτίου, αρσενιδίου του γαλλίου, νιτριδίου του γαλλίου, γυαλιού, κεραμικών κ.λπ.) και να αντέχει στα απαιτητικά περιβάλλοντα κατασκευής ημιαγωγών. Οι βασικές παράμετροι απόδοσής του είναι σαφώς καθορισμένες:

**Κατηγορία Χαρακτηριστικών** | **Λεπτομερής Περιγραφή / Συγκεκριμένες Προδιαγραφές**

**Δυνατότητα Σκληρής Σήμανσης** | **Προγραμματιζόμενος Έλεγχος Βάθους:** Ρυθμίζει αυτόματα το βάθος σήμανσης, φτάνοντας έως και τα 110 µm.

**Ακρίβεια βάθους:** ±10%.

**Διακίνηση:** Έως 250 πλακίδια ανά ώρα. Ακρίβεια & Συμβατότητα | Συμβατότητα & Διαδικασία: Συμβατό με πλακίδια 100mm έως 200mm, καθώς και με πάνελ 300mm/310mm.

Ακρίβεια σήμανσης: Εντός μιας περιοχής 50x50 mm μετά την ευθυγράμμιση των πλακιδίων, η επαναληψιμότητα είναι ±0,125 mm.

Ευρεία εφαρμογή: Κατάλληλο για ένα ευρύ φάσμα υλικών, όπως πυρίτιο (Si), καρβίδιο του πυριτίου (SiC), αρσενίδιο του γαλλίου (GaAs), νιτρίδιο του γαλλίου (GaN) και άλλα.

Αυτοματοποίηση & Επικοινωνία | Πλήρως αυτοματοποιημένη λειτουργία: Ελαχιστοποιεί την χειροκίνητη παρέμβαση και υποστηρίζει τον χειρισμό ανοιχτής κασέτας.

Διεπαφή Αυτοματισμού Εργοστασίου: Υποστηρίζει πρωτόκολλα SECS II/GEM για απρόσκοπτη ενσωμάτωση στα εργοστασιακά συστήματα MES.

Ολοκληρωμένη Παρακολούθηση Συστήματος: Καταγράφει με ακρίβεια όλα τα δεδομένα απόδοσης λέιζερ μέχρι το επίπεδο SPC (Στατιστικός Έλεγχος Διαδικασίας).

Προδιαγραφές υλικού | Τύπος λέιζερ: Λέιζερ στερεάς κατάστασης με αντλία διόδου Nd:YLF.

Μήκος κύματος λέιζερ: 1053 nm.

Θέση σήμανσης: Εντός μιας δακτυλιοειδούς ζώνης 25 mm από την άκρη της πλακέτας, επιτρέποντας την τοποθέτηση πολλαπλών ομάδων σημαδιών σε οποιονδήποτε προσανατολισμό.

Λειτουργικό σύστημα: Windows 7 Pro SP1 (32-bit).

Πρότυπα Βιομηχανίας | Πρότυπα SEMI: Πλήρως συμβατό με τα πρότυπα SEMI, υποστηρίζοντας προδιαγραφές σήμανσης όπως T7, M12 και M13.

Διεθνείς Πιστοποιήσεις: Συμμορφώνεται με τα πρότυπα ασφαλείας και περιβάλλοντος, συμπεριλαμβανομένων των CE, SEMI S2, S8 και S14.

Βασικές Λειτουργίες & Εφαρμογές

Το SigmaDSC εφαρμόζεται κυρίως σε περιβάλλοντα κατασκευής ημιαγωγών όπου η διατήρηση υψηλής ιχνηλασιμότητας καθ' όλη τη διάρκεια του κύκλου ζωής του προϊόντος είναι κρίσιμη:

Κατασκευή πλακιδίων ημιαγωγών (wafer) εμπρόσθιας όψης: Αμέσως μόλις εισέλθετε στο καθαρό δωμάτιο, ένα μοναδικό, μόνιμο αναγνωριστικό χαράζεται στο πλακίδιο - ένα αναγνωριστικό σχεδιασμένο να αντέχει στις δυσκολίες όλων των επακόλουθων σκληρών βημάτων επεξεργασίας (όπως η λεπτή λεπτή πλευρά). Αυτό χρησιμεύει ως σανίδα σωτηρίας για την ιχνηλασιμότητα της ποιότητας και τα δεδομένα Στατιστικού Ελέγχου Διεργασιών (SPC) σε ολόκληρη τη ροή εργασίας παραγωγής - που καλύπτει την κατασκευή πλακιδίων πυριτίου, τα χυτήρια και τους κατασκευαστές ολοκληρωμένων συσκευών (IDM).

Προηγμένη Συσκευασία: Παρέχει αξιόπιστη σήμανση αναγνώρισης για ανασυσταθέντα πλακίδια ή πάνελ σε διαδικασίες συσκευασίας σε επίπεδο πλακιδίων Fan-out (Fan-out WLP).

**Σύγκριση Συμπληρωματικού Εξοπλισμού και Σειρών Προϊόντων**

Το SigmaDSC αποτελεί βασικό στοιχείο της ολοκληρωμένης λύσης αναγνώρισης πλακιδίων της ThinkLaser. Το σύστημα SigmaClean που αναφέρατε χρησιμεύει ως ξεχωριστό συμπλήρωμα σε αυτήν:

**Χαρακτηριστικό** | **SigmaDSC (Σκληρή Σήμανση)** | **SigmaClean (Μαλακή Σήμανση)**

**Βασική Διαδικασία** | Σκληρή Σήμανση | Μαλακή Σήμανση

**Βασικά πλεονεκτήματα** | Τα σημάδια διαθέτουν φυσικό βάθος· είναι ικανά να αντέξουν τα πιο αυστηρά στάδια μετεπεξεργασίας, όπως η μηχανική λείανση. | Χωρίς υπολείμματα με εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα· πληρούν τις αυστηρότερες απαιτήσεις καθαρού χώρου.

**Τυπικά Σενάρια Εφαρμογής** | Χρησιμοποιείται για πλακίδια που υποβάλλονται σε «σκληρές» διεργασίες—όπως η λεπτή επεξεργασία από πίσω—για την παροχή μόνιμης ιχνηλασιμότητας. | Χρησιμοποιείται σε περιβάλλοντα κατασκευής πλακιδίων front-end όπου η μηδενική φθορά στην επιφάνεια και η εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα είναι υψίστης σημασίας.

**Περίληψη**

Το ThinkLaser SigmaDSC είναι ένα πλήρως αυτοματοποιημένο σύστημα σήμανσης λέιζερ αφιερωμένο στην παροχή εξαιρετικά ανθεκτικής "σκληρής σήμανσης" για πλακίδια 200 mm. Τα βασικά τεχνολογικά του πλεονεκτήματα έγκεινται στον προγραμματιζόμενο έλεγχο βάθους, την τεχνολογία Dual-Spot Optics™ και τη διεπαφή SECS/GEM για πλήρη αυτοματοποίηση. Αξιοποιώντας ένα σταθερό σύστημα λέιζερ, έλεγχο κλειστού βρόχου και προηγμένα χαρακτηριστικά αυτοματισμού, εξασφαλίζει εξαιρετική ομοιομορφία και κυκλικότητα βάθους σήμανσης σε μια ποικιλία υλικών υποστρώματος. Αντί να εκτελεί εργασίες καθαρισμού ή συναρμολόγησης, εξυπηρετεί την κρίσιμη λειτουργία της παροχής παγκόσμιας επαλήθευσης ταυτότητας για πλακίδια.