TEL CELLESTA™ -i MD kiekkojen puhdistusaine

TEL CELLESTA™ -i MD on Tokyo Electronin (TEL) lippulaivamallisto, jossa käytetään 300 mm:n yksittäisten kiekkojen puhdistusjärjestelmiä 10 nm:n ja sitä kehittyneemmille prosessisolmuille. Se on erityisesti suunniteltu ratkaisemaan ydinprosessien haasteita, kuten mikrokuvioitujen rakenteiden alttiutta vaurioitua puhdistuksen ja kuivauksen aikana edistyneissä prosesseissa, ja se on keskeinen laite, joka tukee korkealaatuisten sirujen parannettua saantoa.

Ydinsuorituskyky: Teknologian erittely ja datatuki

Jotta ymmärrys olisi intuitiivisempi, sen tärkeimmät tekniset ominaisuudet on tiivistetty alla:

Keskeiset ominaisuudet, suorituskykyindikaattorit ja tekniset tiedot

Prosessin asemointi Kohdistettuna 10 nm:n ja sitä kehittyneempiin prosessisolmuihin, erikoistuen kuvioitujen kiekkojen pintojen rikkomattomaan puhdistukseen ja hiukkasten poistoon.

Ydinteknologiat: Puhdistus ja kuivaus Saavuttaa kuvion romahtamattoman kuivauksen kammioilmakehän säädön ja IPA-suuttimien (isopropyylialkoholi) suorituskyvyn optimoinnin avulla; voi käyttää kemiallisia liuoksia, kuten SC-1:tä ja DHF:ää, märkäetsaukseen; ja voi integroida fyysisiä puhdistustoimintoja, kuten siveltimen ja kaksoisnesteruiskutuksen.

Tehokas tuotanto ja modulaarisuus: Konfiguroitavissa jopa 20 puhdistuskammiolla, jolloin saavutetaan jopa 1000 kiekon tunnissa (WPH) kapasiteetti ja viistepuhdistusyksiköiden joustava laajennusmahdollisuus.

Edullinen käyttö: Sisäänrakennettu kemikaalien kierrätysjärjestelmä vähentää merkittävästi käyttökustannuksia (CoO) ja säästää tehokkaasti rikkihapon kulutusta.

Luotettavuus: Sen kuljetusjärjestelmä on käynyt läpi 750 miljoonaa kiekkojen käsittelysykliä ilman virheitä todentamisessa, mikä varmistaa erittäin korkean massatuotannon vakauden.

Käyttökohteet: Johtavan teknologiansa ja vakaan suorituskykynsä ansiosta CELLESTA™-i MD:tä käytetään laajalti edistyneiden puolijohdelaitteiden valmistuksessa, ja sillä on korvaamaton rooli seuraavilla aloilla:

Logiikkapiirit: Tarjoaa puhtaat kiekkopinnat tehokkaiden logiikkapiirien, kuten suorittimien, näytönohjainten ja tekoälyprosessoreiden, valmistukseen.

Muistisirut: Käytetään muistisirujen, kuten DRAM- ja 3D NAND Flash -muistien, tuotannossa, mikä varmistaa muistisolujen tarkkuuden ja luotettavuuden.

Edistyksellinen pakkaus: Käytetään laajalti edistyneiden pakkausprosessien, kuten BSI:n (taustavalaistu), 3D-pinoamisen, taustavirralla toimivan ja SoIC:n (järjestelmä sirulla), puhdistusvaiheissa.

Toimiala-arviointi ja markkina-asema

CELLESTA-sarjan huippumallina -i MD edustaa TEL:n huipputasoa yksittäisten kiekkojen puhdistuksessa. Ylivertaisen puhdistustehonsa ja tunnustetun korkean luotettavuutensa ansiosta tämä alustasarja yhdessä SCREENin kanssa on vankasti johtavassa asemassa maailmanlaajuisilla puolijohteiden puhdistuslaitteiden markkinoilla, mikä tekee siitä välttämättömän laitteen huippuluokan sirujen massatuotantoa varten.