TEL CELLESTA™ -i MD plokštelių valiklis

„TEL CELLESTA™ -i MD“ yra „Tokyo Electron“ (TEL) pavyzdinė 300 mm vienos plokštelės valymo sistema, skirta 10 nm ir pažangesniems procesų mazgams. Ji specialiai sukurta spręsti pagrindinius procesų iššūkius, tokius kaip mikrostruktūrinių struktūrų jautrumas pažeidimams valymo ir džiovinimo metu pažangiuose procesuose, ir yra pagrindinis įrenginys, užtikrinantis didesnį aukštos klasės lustų našumą.

Pagrindinis našumas: technologijų suskirstymas ir duomenų palaikymas

Siekiant aiškiau suprasti, toliau pateikiamos pagrindinės techninės savybės:

Pagrindinės savybės, veiklos rodikliai ir techninės detalės

Proceso pozicionavimas. Orientacija į 10 nm ir pažangesnius procesų mazgus, specializuojasi neardomajame raštuotų plokštelių paviršių valyme ir dalelių šalinime.

Pagrindinės technologijos: valymas ir džiovinimas. Užtikrina džiovinimą be rašto subliūškimo, naudojant kameros atmosferos valdymą ir IPA (izopropilo alkoholio) purkštukų našumo optimizavimą; šlapiam ėsdinimui galima naudoti cheminius tirpalus, tokius kaip SC-1 ir DHF; ir galima integruoti fizinio valymo funkcijas, tokias kaip valymas teptuku ir dviejų skysčių purškimas.

Didelio efektyvumo našumas ir moduliškumas: galima konfigūruoti iki 20 valymo kamerų, pasiekiant iki 1000 plokštelių per valandą (WPH) našumą ir palaikant lankstų kūginių valymo įrenginių išplėtimą.

Mažos eksploatavimo išlaidos: įmontuota cheminio perdirbimo sistema žymiai sumažina eksploatavimo išlaidas (CoO) ir efektyviai taupo sieros rūgšties sunaudojimą.

Patikimumas: Jos transportavimo sistema atlaikė 750 milijonų plokštelių apdorojimo ciklų be jokios patikros klaidos, taip užtikrinant itin didelį masinės gamybos stabilumą.

Pritaikymas: Dėl savo pirmaujančios technologijos ir stabilaus veikimo, CELLESTA™-i MD yra plačiai naudojamas pažangių puslaidininkinių įtaisų gamyboje ir atlieka nepakeičiamą vaidmenį šiose srityse:

Loginiai lustai: Užtikrina švarius plokštelių paviršius didelio našumo loginių lustų, tokių kaip procesoriai, grafikos procesoriai ir dirbtinio intelekto procesoriai, gamybai.

Atminties lustai: naudojami atminties lustų, tokių kaip DRAM ir 3D NAND Flash, gamyboje, užtikrinant atminties elementų tikslumą ir patikimumą.

Pažangus pakavimas: plačiai naudojamas pažangių pakavimo procesų, tokių kaip BSI (su foniniu apšvietimu), 3D steking, su išankstiniu maitinimu ir SoIC (sistema ant lusto), valymo etapuose.

Pramonės vertinimas ir rinkos padėtis

„-i MD“, kaip aukščiausios klasės „CELLESTA“ serijos modelis, atstovauja aukščiausią „TEL“ lygį vienos plokštelės valymo srityje. Dėl išskirtinio valymo našumo ir pripažinto didelio patikimumo ši platformų serija kartu su „SCREEN“ tvirtai užima lyderio pozicijas pasaulinėje puslaidininkių valymo įrangos rinkoje, todėl yra nepakeičiama įranga, palaikanti masinę pažangiausių lustų gamybą.