Glantóir vaiféir TEL CELLESTA™ -i MD

Is é an TEL CELLESTA™ -i MD príomhchóras glantacháin aon-shliseáin 300mm de chuid Tokyo Electron (TEL) le haghaidh nóid phróisis 10nm agus níos forbartha. Tá sé deartha go sonrach chun aghaidh a thabhairt ar dhúshláin phróisis lárnacha amhail an so-ghabhálacht atá ag struchtúir micrea-phatrúnacha damáiste a dhéanamh dóibh le linn glanadh agus triomú i bpróisis ardleibhéil, agus is gléas ríthábhachtach é a thacaíonn le táirgeacht fheabhsaithe do sceallóga ardleibhéil.

Feidhmíocht Chroí: Miondealú Teicneolaíochta agus Tacaíocht Sonraí

Chun tuiscint níos iomasach a sholáthar, tá a phríomhghnéithe teicniúla achoimrithe thíos:

Príomhghnéithe Táscairí Feidhmíochta agus Sonraí Teicniúla

Suiteáil Próisis Ag díriú ar nóid phróisis 10nm agus níos airde, ag speisialú i nglanadh neamh-millteach agus i mbaint cáithníní de dhromchlaí vaiféir patrúnacha.

Teicneolaíochtaí Lárnacha: Glanadh agus Triomú Baintear triomú saor ó chliseadh patrún amach trí rialú atmaisféir an tseomra agus uasmhéadú feidhmíochta soic IPA (alcól isopropil); is féidir tuaslagáin cheimiceacha ar nós SC-1 agus DHF a úsáid le haghaidh greanadh fliuch; agus is féidir feidhmeanna glantacháin fhisiciúla ar nós scuabadh agus spraeáil dé-shreabhán a chomhtháthú.

Aschur ardéifeachtúlachta agus modúlacht: Inchumraithe le suas le 20 seomra glantacháin, ag baint amach acmhainne suas le 1000 vaiféar san uair (WPH), agus ag tacú le leathnú solúbtha ar aonaid glantacháin beibhéil.

Oibriú ar chostas íseal: Laghdaíonn córas Athchúrsála Ceimiceach ionsuite costais oibriúcháin (CoO) go suntasach agus sábhálann sé tomhaltas aigéad sulfarach go héifeachtach.

Iontaofacht: Tá 750 milliún timthriall láimhseála vaiféir déanta ar a chóras iompair gan aon fhíorú earráide, rud a chinntíonn cobhsaíocht thar a bheith ard i dtáirgeadh mais.

Feidhmeanna: A bhuíochas dá theicneolaíocht cheannródaíoch agus a fheidhmíocht chobhsaí, úsáidtear CELLESTA™ -i MD go forleathan i dtáirgeadh gléasanna leathsheoltóra chun cinn, agus tá ról fíor-riachtanach aige sna réimsí seo a leanas:

Sceallóga loighce: Soláthraíonn sé dromchlaí vaiféir glana le haghaidh monarú sceallóga loighce ardfheidhmíochta amhail LAPanna, GPUanna, agus próiseálaithe AI.

Sliseanna cuimhne: Úsáidtear iad i dtáirgeadh sliseanna cuimhne amhail DRAM agus 3D NAND Flash, rud a chinntíonn cruinneas agus iontaofacht na gcealla cuimhne.

Pacáistiú ardteicneolaíochta: Úsáidtear go forleathan i gcéimeanna glantacháin próiseas pacáistithe ardteicneolaíochta amhail BSI (soilsithe ar ais), cruachadh 3D, cumhachtú ar ais, agus SoIC (córas ar shliseanna).

Meastóireacht Tionscail agus Seasamh sa Mhargadh

Mar mhúnla ardleibhéil sa tsraith CELLESTA, is ionann an -i MD agus leibhéal barr TEL i nglanadh aon-shliseáin. Leis an bhfeidhmíocht ghlantacháin den scoth agus an iontaofacht ard aitheanta atá aige, tá seasamh ceannródaíoch daingean ag an tsraith ardán seo, mar aon le SCREEN, i margadh domhanda trealaimh ghlantacháin leathsheoltóra, rud a fhágann gur píosa trealaimh riachtanach é a thacaíonn le olltáirgeadh sceallóga ceannródaíocha.