Soluție de curățare pentru napolitane TEL CELLESTA™ -i MD

TEL CELLESTA™ -i MD este sistemul emblematic de curățare cu o singură plachetă de 300 mm al companiei Tokyo Electron (TEL) pentru noduri de proces de 10 nm și mai avansate. Este special conceput pentru a aborda provocările principale ale proceselor, cum ar fi susceptibilitatea structurilor micro-modelate la deteriorare în timpul curățării și uscării în procesele avansate și este un dispozitiv cheie care susține randamente îmbunătățite pentru cipuri de înaltă performanță.

Performanță de bază: Analiza tehnologiei și asistență pentru date

Pentru o înțelegere mai intuitivă, principalele sale caracteristici tehnice sunt rezumate mai jos:

Caracteristici cheie Indicatori de performanță și detalii tehnice

Poziționarea procesului. Vizează nodurile de proces de 10 nm și mai avansate, specializată în curățarea nedistructivă și îndepărtarea particulelor de pe suprafețele modelate ale napolitanelor.

Tehnologii de bază: Curățare și uscare Obține o uscare fără colapsul modelului prin controlul atmosferei camerei și optimizarea performanței duzei IPA (alcool izopropilic); poate utiliza soluții chimice precum SC-1 și DHF pentru gravarea umedă; și poate integra funcții de curățare fizică, cum ar fi perierea și pulverizarea cu fluid dual.

Randament ridicat și modularitate: Configurabil cu până la 20 de camere de curățare, atingând o capacitate de până la 1000 de napolitane pe oră (WPH) și suportând extinderea flexibilă a unităților de curățare a bevelului.

Funcționare cu costuri reduse: Sistemul încorporat de reciclare chimică reduce semnificativ costurile de operare (CoO) și economisește eficient consumul de acid sulfuric.

Fiabilitate: Sistemul său de transport a fost supus a 750 de milioane de cicluri de manipulare a plachetelor cu verificare zero erori, asigurând o stabilitate extrem de ridicată a producției de masă.

Aplicații: Datorită tehnologiei sale de vârf și performanței stabile, CELLESTA™ -i MD este utilizat pe scară largă în producția de dispozitive semiconductoare avansate, jucând un rol indispensabil în următoarele domenii:

Cipuri logice: Oferă suprafețe curate ale plachetelor pentru fabricarea de cipuri logice de înaltă performanță, cum ar fi procesoarele CPU, GPU-urile și procesoarele AI.

Cipuri de memorie: utilizate în producția de cipuri de memorie precum DRAM și 3D NAND Flash, asigurând acuratețea și fiabilitatea celulelor de memorie.

Ambalare avansată: Utilizată pe scară largă în etapele de curățare ale proceselor avansate de ambalare, cum ar fi BSI (iluminare din spate), stivuire 3D, alimentare din spate și SoIC (sistem pe cip).

Evaluarea industriei și poziționarea pe piață

Ca model de top din seria CELLESTA, -i MD reprezintă nivelul de top al TEL în curățarea cu un singur wafer. Datorită performanțelor sale superioare de curățare și fiabilității ridicate recunoscute, această serie de platforme, împreună cu SCREEN, deține ferm o poziție de lider pe piața globală a echipamentelor de curățare a semiconductorilor, ceea ce o face un echipament indispensabil care susține producția în masă de cipuri de ultimă generație.