TEL CELLESTA™ -i MD হলো টোকিও ইলেকট্রন (TEL)-এর ফ্ল্যাগশিপ ৩০০ মিমি সিঙ্গেল-ওয়েফার ক্লিনিং সিস্টেম, যা ১০ ন্যানোমিটার এবং আরও উন্নত প্রসেস নোডের জন্য ব্যবহৃত হয়। এটি বিশেষভাবে উন্নত প্রসেসে ক্লিনিং ও ড্রাইংয়ের সময় মাইক্রো-প্যাটার্নযুক্ত কাঠামোর ক্ষতির প্রবণতার মতো মূল প্রসেসগত চ্যালেঞ্জগুলো মোকাবেলা করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে এবং এটি হাই-এন্ড চিপের উৎপাদন বৃদ্ধিতে সহায়তাকারী একটি গুরুত্বপূর্ণ ডিভাইস।
মূল কর্মক্ষমতা: প্রযুক্তিগত বিভাজন এবং ডেটা সমর্থন
আরও সহজবোধ্য করার জন্য, এর প্রধান প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্যগুলো নিচে সংক্ষেপে তুলে ধরা হলো:
মূল বৈশিষ্ট্য, কর্মক্ষমতা সূচক এবং প্রযুক্তিগত বিবরণ
১০ ন্যানোমিটার এবং আরও উন্নত প্রসেস নোডকে লক্ষ্য করে প্রসেস পজিশনিং, যা প্যাটার্নযুক্ত ওয়েফার পৃষ্ঠের অবিনাশী পরিচ্ছন্নতা এবং কণা অপসারণে বিশেষায়িত।
মূল প্রযুক্তি: পরিষ্কারকরণ ও শুকানো চেম্বারের বায়ুমণ্ডল নিয়ন্ত্রণ এবং আইপিএ (আইসোপ্রোপাইল অ্যালকোহল) নজলের কর্মক্ষমতা অপ্টিমাইজেশনের মাধ্যমে প্যাটার্ন ধস-মুক্ত শুকানো অর্জন করে; ওয়েট এচিং-এর জন্য এসসি-১ এবং ডিএইচএফ-এর মতো রাসায়নিক দ্রবণ ব্যবহার করতে পারে; এবং ব্রাশ করা ও ডুয়াল-ফ্লুইড স্প্রে করার মতো ভৌত পরিষ্কারকরণ ফাংশনগুলিকে একীভূত করতে পারে।
উচ্চ-দক্ষতা সম্পন্ন আউটপুট এবং মডুলারিটি: ২০টি পর্যন্ত ক্লিনিং চেম্বার দিয়ে কনফিগার করা যায়, যা প্রতি ঘন্টায় ১০০০ ওয়েফার (WPH) পর্যন্ত ক্ষমতা অর্জন করে এবং বেভেল ক্লিনিং ইউনিটের নমনীয় সম্প্রসারণ সমর্থন করে।
স্বল্প খরচে পরিচালনা: অন্তর্নির্মিত রাসায়নিক পুনর্ব্যবহার ব্যবস্থা পরিচালন ব্যয় (CoO) উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস করে এবং কার্যকরভাবে সালফিউরিক অ্যাসিডের ব্যবহার সাশ্রয় করে।
নির্ভরযোগ্যতা: এর পরিবহন ব্যবস্থাটি শূন্য ত্রুটি যাচাইকরণ সহ ৭৫ কোটি ওয়েফার হ্যান্ডলিং চক্র সম্পন্ন করেছে, যা ব্যাপক উৎপাদনে অত্যন্ত উচ্চ স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।
প্রয়োগক্ষেত্র: এর অগ্রণী প্রযুক্তি এবং স্থিতিশীল কর্মক্ষমতার কারণে, CELLESTA™ -i MD উন্নত সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইস উৎপাদনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় এবং নিম্নলিখিত ক্ষেত্রগুলিতে একটি অপরিহার্য ভূমিকা পালন করে:
লজিক চিপ: সিপিইউ, জিপিইউ এবং এআই প্রসেসরের মতো উচ্চ-কর্মক্ষমতাসম্পন্ন লজিক চিপ তৈরির জন্য পরিষ্কার ওয়েফার পৃষ্ঠ প্রদান করে।
মেমরি চিপ: DRAM এবং 3D NAND ফ্ল্যাশের মতো মেমরি চিপ উৎপাদনে ব্যবহৃত হয়, যা মেমরি সেলের নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে।
উন্নত প্যাকেজিং: বিএসআই (ব্যাক-ইলুমিনেটেড), থ্রিডি স্ট্যাকিং, ব্যাক-পাওয়ার্ড এবং এসওআইসি (সিস্টেম-অন-চিপ)-এর মতো উন্নত প্যাকেজিং প্রক্রিয়াগুলির পরিশোধন ধাপে এটি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
শিল্প মূল্যায়ন এবং বাজার অবস্থান
CELLESTA সিরিজের একটি উচ্চ-মানের মডেল হিসেবে, -i MD মডেলটি একক-ওয়েফার পরিষ্কারকরণে TEL-এর সর্বোচ্চ স্তরের প্রতিনিধিত্ব করে। এর উন্নত পরিষ্কারকরণ কর্মক্ষমতা এবং স্বীকৃত উচ্চ নির্ভরযোগ্যতার কারণে, SCREEN-এর পাশাপাশি এই সিরিজের প্ল্যাটফর্মগুলো বিশ্বব্যাপী সেমিকন্ডাক্টর পরিষ্কারকরণ সরঞ্জামের বাজারে একটি শীর্ষস্থান দৃঢ়ভাবে ধরে রেখেছে, যা এটিকে অত্যাধুনিক চিপের ব্যাপক উৎপাদনে সহায়ক একটি অপরিহার্য যন্ত্রে পরিণত করেছে।



