TEL CELLESTA™ -i MD kisafishaji cha wafer

TEL CELLESTA™ -i MD ni mfumo mkuu wa kusafisha wafer moja wa Tokyo Electron (TEL) wa 300mm kwa nodi za mchakato wa 10nm na zilizoendelea zaidi. Imeundwa mahsusi kushughulikia changamoto kuu za mchakato kama vile uwezekano wa miundo yenye muundo mdogo kuharibika wakati wa kusafisha na kukausha katika michakato ya hali ya juu, na ni kifaa muhimu kinachounga mkono mavuno bora ya chipsi za hali ya juu.

Utendaji Mkuu: Uchanganuzi wa Teknolojia na Usaidizi wa Data

Ili kutoa uelewa rahisi zaidi, vipengele vyake muhimu vya kiufundi vimefupishwa hapa chini:

Vipengele Muhimu Viashiria vya Utendaji na Maelezo ya Kiufundi

Uwekaji wa Mchakato Unalenga nodi za mchakato za 10nm na za hali ya juu zaidi, ukibobea katika usafi usioharibu na kuondoa chembe za nyuso za wafer zenye muundo.

Teknolojia Kuu: Kusafisha na Kukausha Hufikia ukaushaji usio na mpangilio kupitia udhibiti wa angahewa ya chumba na uboreshaji wa utendaji wa pua za IPA (isopropili alkoholi); inaweza kutumia myeyusho wa kemikali kama vile SC-1 na DHF kwa ajili ya kung'oa kwa mvua; na inaweza kuunganisha kazi za usafi wa kimwili kama vile kupiga mswaki na kunyunyizia majimaji mawili.

Uzalishaji na moduli zenye ufanisi wa hali ya juu: Inaweza kusanidiwa ikiwa na vyumba vya kusafisha hadi 20, kufikia uwezo wa hadi wafers 1000 kwa saa (WPH), na kusaidia upanuzi unaonyumbulika wa vitengo vya kusafisha bevel.

Uendeshaji wa gharama nafuu: Mfumo wa Kurejesha Kemikali Uliojengewa Ndani hupunguza kwa kiasi kikubwa gharama za uendeshaji (CoO) na huokoa kwa ufanisi matumizi ya asidi ya sulfuriki.

Utegemezi: Mfumo wake wa usafirishaji umepitia mizunguko milioni 750 ya utunzaji wa wafer bila uthibitisho wa makosa, na kuhakikisha uthabiti wa uzalishaji wa wingi wa juu sana.

Matumizi: Shukrani kwa teknolojia yake inayoongoza na utendaji thabiti, CELLESTA™ -i MD hutumika sana katika utengenezaji wa vifaa vya hali ya juu vya semiconductor, ikicheza jukumu muhimu katika maeneo yafuatayo:

Chipu za mantiki: Hutoa nyuso safi za wafer kwa ajili ya utengenezaji wa chipu za mantiki zenye utendaji wa hali ya juu kama vile CPU, GPU, na vichakataji vya AI.

Chipu za kumbukumbu: Hutumika katika utengenezaji wa chipu za kumbukumbu kama vile DRAM na 3D NAND Flash, kuhakikisha usahihi na uaminifu wa seli za kumbukumbu.

Ufungashaji wa hali ya juu: Hutumika sana katika hatua za usafi wa michakato ya ufungashaji wa hali ya juu kama vile BSI (back-lighted), 3D stacking, back-powered, na SoIC (system-on-chip).

Tathmini ya Sekta na Nafasi ya Soko

Kama mfumo wa hali ya juu katika mfululizo wa CELLESTA, -i MD inawakilisha kiwango cha juu cha TEL katika usafi wa kafe moja. Kwa utendaji wake bora wa usafi na uaminifu wa hali ya juu unaotambulika, mfululizo huu wa majukwaa, pamoja na SCREEN, unashikilia nafasi inayoongoza katika soko la kimataifa la vifaa vya usafi vya nusu-semiconductor, na kuifanya kuwa kifaa muhimu kinachounga mkono uzalishaji mkubwa wa chipsi za kisasa.